「system integrator」を含む例文一覧(195)
1 2 3 4 次へ＞- INTEGRATOR OF OPTICAL SYSTEM
光学系の積分器 - 特許庁 - LIGHT INTEGRATOR AND LIGHT INTEGRATING SYSTEM
光積分器および光積分システム - 特許庁 - GLOBAL-POSITIONING-SYSTEM DATA INTEGRATOR AND DISTRIBUTION SYSTEM
衛星利用測位システム・データ・インテグレータおよび配信システム - 特許庁 - POSITIONING SYSTEM DATA INTEGRATOR USING SATELLITE AND DISTRIBUTION SYSTEM
衛星利用測位システム・データ・インテグレータおよび配信システム - 特許庁 - POLARIZATION PHASE MODULATION ELEMENT AND INTEGRATOR OPTICAL SYSTEM
偏光位相変調素子とインテグレータ光学系 - 特許庁 - METHOD OF MONITORING OPTICAL INTEGRATOR OF PHOTO-LITHOGRAPHY SYSTEM
ホトリソグラフィ・システムの光インテグレータをモニタする方法 - 特許庁 - ROD INTEGRATOR AND LIGHTING OPTICAL SYSTEM USING THE SAME
ロッドインテグレータおよびこれを用いた照明光学系 - 特許庁 - To bridge the gap between a system integrator and completed software.
システムインテグレータと完成ソフトウェアとのギャップを埋める。 - 特許庁 - INTEGRATOR ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM AND PROJECTOR EQUIPPED THEREWITH
インテグレータ照明光学系およびこれを備えたプロジェクタ - 特許庁 - To easily improve the light utilization of an illuminating optical system using an integrator optical system constituted of a rod integrator.
ロッドインテグレータによるインテグレータ光学系を用いた照明光学系の光の利用効率を容易に向上させる。 - 特許庁 - OPTICAL INTEGRATOR FOR ILLUMINATION SYSTEM OF MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
マイクロリソグラフ投影露光装置の照明系用光インテグレータ - 特許庁 - The optical system includes a light integrator 11' and a collimator 12.
光学システムは、光インテグレータ１１’およびコリメータ１２を備える。 - 特許庁 - INTEGRATOR, ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM AND PROJECTION TYPE IMAGE DISPLAY DEVICE
インテグレータ、照明光学系および投写型画像表示装置 - 特許庁 - ROD INTEGRATOR, AND ILLUMINATION SYSTEM AND PROJECTION APPARATUS EACH HAVING THE SAME
ロッドインテグレータ、及びそれを備えた照明系及び投影装置 - 特許庁 - The position control system of the magnetic head is provided with two integrators; a 1st integrator 43 and a 2nd integrator 45.
磁気ヘッドの位置制御系に、第１積分器４３および第２積分器４５と２つの積分器を設ける。 - 特許庁 - OPTICAL INTEGRATOR, ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE DEVICE, AND EXPOSURE METHOD
オプティカルインテグレータ、照明光学装置、露光装置および露光方法 - 特許庁 - OPTICAL INTEGRATOR FOR ILLUMINATION SYSTEM OF MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム用の光結合器 - 特許庁 - MANUFACTURING METHOD FOR CYLINDER LENS, GRAY SCALE MASK, MANUFACTURING METHOD FOR INTEGRATOR, INTEGRATOR, ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM AND PROJECTION ALIGNER
柱面レンズの製造方法、グレースケールマスク、インテグレータの製造方法、インテグレータ、照明光学系、及び投影露光装置 - 特許庁 - HYBRID INTEGRATOR, ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, AND PROJECTION TYPE PICTURE DISPLAY DEVICE
ハイブリッドインテグレータ、照明光学系および投写型画像表示装置 - 特許庁 - OPTICAL INTEGRATOR, ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
オプティカルインテグレータ、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 - 特許庁 - OPTICAL INTEGRATOR, ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE DEVICE, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE
オプティカルインテグレータ、照明光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法 - 特許庁 - The user terminal 2 accesses the system integrator server 3 via a network 5.
ユーザ端末２は、ネットワーク５を介してＳＩ業者サーバ３に接続する。 - 特許庁 - INTEGRATOR, LIGHTING SYSTEM HAVING THE SAME, AND MICROSCOPE APPARATUS HAVING THE LIGHTING SYSTEM
インテグレータ、このインテグレータを有する照明装置、及び、この照明装置を有する顕微鏡装置 - 特許庁 - OPTICAL INTEGRATOR SYSTEM, ILLUMINATION OPTICAL APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
オプティカルインテグレータ系、照明光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法 - 特許庁 - INTEGRATOR SYSTEM AND METHOD FOR RAPIDLY DETERMINING EFFECTIVENESS OF GERMICIDAL TREATMENT
殺菌処理の有効性を迅速に決定するためのインテグレーターシステムおよび方法 - 特許庁 - INTEGRATOR OF GAS FLOW RATE, GAS METER, HANDY TERMINAL, GAS CONTROL CENTER AND GAS CONTROL SYSTEM
ガス流量の積算装置、ガスメータ、ハンディターミナル、ガス管理センタ、及びガス管理システム - 特許庁 - Further, the external shape size of an input part of the integrator optical system 11 can be made as large as the size of the window 2 and then the integrator optical system 11 is made small-sized.
また、インテグレータ光学系１１の入力部の外形サイズを窓２のサイズと同じにすることができ、インテグレータ光学系１１の小型化を図ることができる。 - 特許庁 - OPTICAL-INTEGRATOR, METHOD OF MANUFACTURING SAME, ILLUMINATING OPTICAL SYSTEM, AND PROJECTIVE EXPOSURE APPARATUS
オプティカルインテグレータの製造方法、オプティカルインテグレータ、照明光学系、及び投影露光装置。 - 特許庁 - HOLDING MECHANISM FOR ROD INTEGRATOR, ADJUSTING MECHANISM FOR ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, AND PROJECTOR USING THEM
ロッドインテグレータの保持機構、照明光学系の調整機構およびこれを用いたプロジェクタ - 特許庁 - A servo is controlled by using a back-step control system that does not have an integrator.
積分器を持たないバックステッピング制御系を用いてサーボ制御を行うこととした。 - 特許庁 - This equipment control system 10 has an air conditioner system 14, a refrigerator system 16, a showcase system 18, and a central integrator 12.
本発明の機器制御システム１０は、空調機システム１４、冷凍機システム１６、およびショーケースシステム１８と、中央統合器１２とを有する。 - 特許庁 - To provide a rod integrator or the like having the high utilization efficiency of light and suitable for a color recapturing system.
光利用効率が高く、カラーリキャプチャ方式に好適なロッドインテグレータ等を提供すること。 - 特許庁 - To provide an integrator to increase optical efficiency in an optical system using a color drum.
カラードラムを使用する光学系において、光効率を向上させる積分器を提供すること。 - 特許庁 - To improve the use efficiency of light of an integrator optical system and an illumination optical system including a polarized light generating element.
インテグレータ光学系および偏光発生素子を含む照明光学系の光の利用効率を向上させる。 - 特許庁 - The illumination optical device comprises a first axicon system (7) which is disposed in an optical path between a light source means (1) and an optical integrator (10) and a second axicon system (8) which is disposed in an optical path between the first axicon system and the optical integrator.
光源手段（１）とオプティカルインテグレータ（１０）との間の光路中に配置された第１アキシコン系（７）と、第１アキシコン系とオプティカルインテグレータとの間の光路中に配置された第２アキシコン系（８）とを備えている。 - 特許庁 - This optical integrator system is provided with a first optical integrator (110) having a plurality of first wavefront division elements (111) two-dimensionally disposed side by side, and a second optical integrator system (120) having a plurality of second wavefront division elements (121) two-dimensionally disposed side by side.
本発明のオプティカルインテグレータ系は、二次元的に並列配置された複数の第１波面分割要素（１１１）を有する第１オプティカルインテグレータ（１１０）と、二次元的に並列配置された複数の第２波面分割要素（１２１）を有する第２オプティカルインテグレータ（１２０）とを備えている。 - 特許庁 - This illumination optical system is constituted so that a polarizing beam splitter 4 is incorporated into a rod integrator 2.
本発明は、ロッドインテグレータ２内部に偏光ビームスプリッター４が組み込まれた照明光学系である。 - 特許庁 - An illumination system for a microlithographic projection exposure apparatus comprises a light source (30) and an optical integrator (56).
マイクロリソグラフィ投影露光装置のための照明システムは、光源（３０）及び光結合器（５６）を含む。 - 特許庁 - A lithography projection apparatus includes an illumination system having a reflection type integrator with rectangular cross section.
リソグラフィ投影装置は、長方形の断面を持つ反射型インテグレータを有する照明装置を含む。 - 特許庁 - The illumination optical system unit 120 includes a light source, a dichroic prism, a rod integrator, and a support.
筐体は、照明光学系ユニット１２０は、光源と、ダイクロイックプリズムと、ロッドインテグレータと、支持体とを含む。 - 特許庁 - The SCR type projector is constituted of a light source, the rod integrator, a color wheel, a relay optical system, a DMD and a projection optical system or the like.
ＳＣＲ方式のプロジェクタは、光源、ロッドインテグレータ、カラーホイール、リレー光学系、ＤＭＤ、投写光学系等により構成される。 - 特許庁 - In an illumination optical system 40, a rod integrator 41 tapered widened toward a rod projection outlet 43 side.
照明光学系４０において、ロッドインテグレータ４１がロッド射出口４３側に向かって広がるテーパ状である。 - 特許庁 - The PI regulator includes an integrator having an initial value based on the torque output of the drive system and a copper loss term.
ＰＩレギュレータは、駆動システムのトルク出力および銅損項に基づく初期値を有する積分器を含む。 - 特許庁 - The system of sampling the photodetector comprises: a multi- integrator circuit (14) which is coupled between a photodetector output node (36) and a readout node.
マルチ積分回路（１４）は、光検出器出力ノード（３６）と読み出しノードの間に結合されている。 - 特許庁 - To improve light transfer efficiency of a lighting optical system having an optical integrator and a polarized light conversion element.
オプティカルインテグレータと偏光変換素子とを有する照明光学系の光転送効率を向上させる。 - 特許庁 - The condenser optical system 6 throws the flux of light from an optical integrator onto the surface of the masking blade in Koehler illumination.
コンデンサー光学系６は、オプティカルインテグレータ３からの光束を、マスキングブレード７面にケーラー照明している。 - 特許庁 - OPTICAL INTEGRATOR, COLOR SEPARATING AND SYNTHESIZING OPTICAL SYSTEM USING THE SAME, ILLUMINATING DEVICE AND LIQUID CRYSTAL PROJECTOR
光学インテグレータ並びに光学インテグレータを用いた色分離合成光学系、照明装置及び液晶投写装置 - 特許庁 - To provide a rod integrator and an illuminator whose utilization efficiency of light is high and which are suitable for a color recapturing system.
光利用効率が高く、カラーリキャプチャ方式に好適なロッドインテグレータ及び照明装置を提供すること。 - 特許庁 - To provide a simple design method for deciding the optical parameter of an illumination optical system equipped with an integrator optical system in a short period of time.
インテグレータ光学系を備えた照明光学系の光学パラメータを短時間で決定することのできる簡易な設計方法を提供する。 - 特許庁 - In this apparatus, a light soured 31, a first optical system 32 for condensing light from the light source, a rod type optical integrator 22, a second optical system 23 for condensing light from the rod type optical integrator, and bundle type random light guide 24 are arranged in order.
光源３１と、光源からの光を集光する第１光学系３２と、ロッド型オプティカルインテグレータ２２と、ロッド型オプティカルインテグレータからの光を集光する第２光学系２３と、バンドル型ランダムライトガイド２４とを順に配置する。 - 特許庁
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