「tft array prober」を含む例文一覧(14)
- PROBER FRAME AND TFT ARRAY INSPECTING DEVICE
プローバフレーム、およびＴＦＴアレイ検査装置 - 特許庁 - The TFT array inspection device is provided with a prober frame 3 to be electrically connected to a TFT array substrate 2.
ＴＦＴアレイ基板２と電気的に接続するプローバフレーム３を備える。 - 特許庁 - PROBER CHANGEABLE FOR TFT-LCD ARRAY TEST
ＴＦＴ−ＬＣＤアレイテスト用の変更可能なプローバ - 特許庁 - The prober frame 3 is provided with prober pins to be brought into contact with array inspecting electrodes to be connected to respective driving electrode terminals formed on each TFT array of the TFT array substrate 2 through respective wires, and the pin positions of the prober pins are set common to the layouts of respective TFT arrays.
プローバフレーム３は、ＴＦＴアレイ基板２の各ＴＦＴアレイに設けられた各駆動電極端子と各配線を介して接続されるアレイ検査用電極と接触するプローバピンを備え、このプローバピンのピン位置を各ＴＦＴアレイ基板のレイアウトに対して共通とする。 - 特許庁 - To determine whether the contact between each electrode of a prober frame electrode assembly and each electrode of a TFT array substrate is conforming.
プローバフレーム電極とＴＦＴアレイ基板の電極との接触の良否判定を行うこと。 - 特許庁 - In the TFT array inspection apparatus 1 for inspecting a TFT array by detecting a signal obtained by impressing driving voltage to a TFT substrate, the upper surface part is provided with a terminal (prober pin 3a).
ＴＦＴ基板に駆動電圧を印加して得られる信号を検出することによってＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置１において、上面部に端子（プローバピン３ａ）を備える。 - 特許庁 - Since the pin positions of the prober pins are constituted so as to be always the same positions, a single prober frame can deal with TFT array substrates having different layouts.
プローバピンのピン位置を常に同じ位置とする構成とすることにより、単一のプローバフレームでレイアウトが異なるＴＦＴアレイ基板に対応することができる。 - 特許庁 - A TFT array inspection device 1 which inspects the TFT array substrate by bringing the electrodes of the prober frame electrode assembly 3 into contact with the electrodes of the TFT array substrate, is provided with light emitting means (LED4) for irradiating the TFT array substrate with light, and leakage current detection means for detecting leakage currents generated from the TFT array substrate by these irradiation with light.
プローバフレーム電極３をＴＦＴアレイ基板の電極に接触させてＴＦＴアレイ基板の検査を行うＴＦＴアレイ検査装置１において、ＴＦＴアレイ基板を光照射する発光手段（ＬＥＤ４）と、この光照射によりＴＦＴアレイ基板から発生する漏れ電流を検出する漏れ電流検出手段とを備える。 - 特許庁 - A substrate inspecting apparatus comprises a main chamber for inspecting a TFT array substrate in a vacuum state; a load lock chamber for bringing the TFT array substrate in and out of an atmospheric side and the main chamber; and the prober frame stocker for storing the prober frame, whilst a contact pin arrangement position changing unit for changing the arrangement position of the contact pin of the prober frame is included in the prober frame stocker.
真空状態でＴＦＴアレイ基板の検査を行うメインチャンバと、大気側との間及びメインチャンバとの間でＴＦＴアレイ基板の搬出入を行うロードロックチャンバと、プローバフレームを格納するプローバフレームストッカとを備え、プローバフレームストッカ内にプローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更するコンタクトピン配置位置変更部を備える。 - 特許庁 - To provide a prober frame and a TFT array inspecting device capable of checking contact location of a probe pin without using a tape for observing contact locations.
コンタクト位置観察用テープを用いることなくプローブピンの接触位置が確認できるプローバフレームおよびＴＦＴアレイ検査装置を提供する。 - 特許庁 - A TFT array inspecting device 1 is equipped with a TFT drive digital circuit portion 3, which outputs digital serial data of a TFT drive pattern outside the prover 2 and a plurality of TFT drive analog circuit portions 4 which output analog inspection signals of the TFT drive patterns inside the prober 2, and both the circuits are connected by serial communication 20.
ＴＦＴアレイ検査装置１は、ＴＦＴ駆動パターンのデジタルシリアルデータを出力するＴＦＴ駆動デジタル回路部３をプローバ２の外部に備え、ＴＦＴ駆動パターンのアナログ検査信号を出力する複数のＴＦＴ駆動アナログ回路部４をプローバ２の内部に備え、両回路間をシリアル通信２０で接続する。 - 特許庁 - The prober frame is equipped with a frame bar constituting a frame body of the prober frame and the imaging means juxtaposed on at least one probe pin array, consisting of a plurality of probe pins for coming into contact with an electrode prepared on a TFT substrate, and at least one probe pin array both on a opposed surface facing the TFT substrate 6 in the frame bar.
プローバフレームは、プローバフレームの枠体を構成するフレーム材と、フレーム材においてＴＦＴ基板６と対向する対向面上に、ＴＦＴ基板上に設けられた電極と接触するための複数のプローブピンからなる少なくも一つのプローブピン配列、および、少なくとも一つのプローブピン配列に並置された撮像手段を備える。 - 特許庁 - Since the substrate 2 is arranged on the upper part of the TFT array inspection apparatus 1, electric contact defect between a signal electrode terminal 2c of the substrate 2 and the terminal (prober pin 3a) of the inspection apparatus side can be reduced.
基板２をＴＦＴアレイ検査装置１の上部に配置することによって、基板２の信号電極端子２ｃと検査装置側の端子（プローバピン３ａ）との電気的な接触不良を低減する。 - 特許庁 - Each current detection means detects a leakage current caused to flow when the TFT substrate is irradiated with light by each emitting means (LED4), and inspection of the contact between each electrode of the prober frame electrode assembly and each electrode of the TFT array substrate is performed by the detection of this leakage current.
漏れ電流検出手段は、発光手段（ＬＥＤ４）によりＴＦＴ基板を光照射した際の漏れ電流を検出し、この漏れ電流の検出によりプローバフレーム電極とＴＦＴアレイ基板の電極との接触検査を行う。 - 特許庁
- 特許庁
- Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved.
