「triplex system」を含む例文一覧(2)
- The exposure system includes a substrate stage 7 which mounts and moves a photosensitive substrate, and the alignment scope 6 of the triplex or more lens.
感光基板を搭載して移動する基板ステージ７と、３眼以上のアライメントスコープ６とをそなえる。 - 特許庁 - To provide a boiler combustion control system capable of improving reliability by using a small number of installed supersonic type gas flowmeters, and attaining a triplex logic.
設置台数の少ない超音波式のガス流量計を用いて３重化ロジックを実現して信頼性の向上を図ることができるボイラ燃焼制御システムを提供する。 - 特許庁
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