To provide a semiconductor element having an understep gate in which inclination of a gate and occurrence of "not open fail" of a landing plug contact is prevented, and to provide a method for manufacturing it. ゲートの傾き及びランディングプラグコンタクトのnot open failの発生を防止できるアンダー段差ゲートを有する半導体素子及びその製造方法を提供すること。 - 特許庁