Only one UR-type plasma gun is grounded, and the other UR-type plasma guns can be set at the floating potentials. 一つのUR式プラズマガンのみを接地し、他のUR式プラズマガンをフローティング電位にしてもよい。 - 特許庁
At least the potential of the one UR-type plasma gun is set at a floating potential. 少なくとも1つのUR式プラズマガンの電位をフローティング電位にする。 - 特許庁
To stably form a film having uniform film thickness and film quality in a plasma treatment apparatus having a plurality of UR-type plasma guns including reflected electron return electrodes. 反射電子帰還電極を含むUR式プラズマガンを複数有するプラズマ処理装置において、膜厚及び膜質の均一な膜を安定的に成膜できるようにする - 特許庁