「vacancy diffusion」を含む例文一覧(3)

  • METHOD OF LIMITING VACANCY DIFFUSION IN HETEROSTRUCTURE
    ヘテロ構造内で空孔拡散を制限する方法 - 特許庁
  • A first insulating film including a vacancy forming material and comprising a low permittivity material is formed on a diffusion protective film 2 formed on a lower layer interconnection 1.
    下層配線１上に形成された拡散防止膜２の上に、空孔形成材を含み低誘電率材料からなる第１の絶縁膜を形成する。 - 特許庁
  • The method includes a step (S2) of enriching interstitial defects (105a) of the first layer (102), in order to limit the elements of the first layer from vacancy diffusion.
    本発明の方法は、前記第１の層の元素が空孔拡散するのを制限するために、第１の層（１０２）を格子間欠陥（１０５ａ）で富化させるためのステップ（Ｓ２）を含む。 - 特許庁

例文データの著作権について

  • 特許庁
    Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved.