VARIABLESLIT DEVICE, ILLUMINATION OPTICAL DEVICE, ALIGNER, AND METHOD OF EXPOSURE 可変スリット装置、照明光学装置、露光装置、及び露光方法 - 特許庁
VARIABLESLIT ARRANGEMENT, ILLUMINATION DEVICE, ALIGNER, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE 可変スリット装置、照明装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 - 特許庁
VARIABLESLIT APPARATUS, LIGHTING DEVICE, EXPOSURE SYSTEM, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICES 可変スリット装置、照明装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 - 特許庁
VARIABLESLIT DEVICE, LIGHTING DEVICE, ALIGNER, EXPOSURE METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE 可変スリット装置、照明装置、露光装置、露光方法及びデバイスの製造方法 - 特許庁
To easily obtain an arbitrary opening angle without replacing a solar slit device by a method wherein the opening angle of the solar slit device is made continuously variable. ソーラースリット装置の開き角を連続的に可変にして、ソーラースリット装置を交換することなく任意の開き角を容易に得る。 - 特許庁