「working method」を含む例文一覧(7133)
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ベースにおける処理操作全体の作用時間を実質的に減少させることにより、ベースの表面をプラズマ処理するための方法および装置を提供し、それによって、ベースの表面に塗布されるコーティングの高い品質を損なうことなく、その処理量を実質的に増加させる。 - 特許庁 - To provide a gold plating liquid which does not comprise toxic cyanide or the like having problems in a working environment and waste liquid treatment, has excellent chemical stability, is easily treatable, and can efficiently form a gold plating film of high quality, and to provide a gold plating method using the gold plating liquid.
作業環境や廃液処理に問題を有する毒性の強いシアン等を含まず、化学的安定性に優れ、容易に取り扱うことができ、良好な膜質の金メッキ膜を効率的に形成することができる金メッキ液と、この金メッキ液を用いる金メッキ方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a temperature abnormality warning method of a plug capable of executing accident prevention by avoiding danger such as ignition of a wire by covering a plug surface with temperature-sensitive discoloration ink to cause discoloration in the temperature-sensitive discoloration ink to form warning action when the working temperature of the plug is set abnormally high.
プラグ表面を感温変色インクで覆い、プラグの作業温度が異常に高くなると、感温変色インクに変色が起こって警告作用を形成し、電線の着火などの危険を回避し、防災を行うことができるプラグの温度異常警告方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a remote maintenance system and a remote maintenance method of system devices, wherein working hours of a person in charge of maintenance can be shortened without causing a system update failure due to a determination error and a confirmation omission of the person in charge of maintenance after updating an application program.
アプリケーション・プログラム更新後に保守担当者の判断ミスや確認漏れに起因するシステム更新上の不具合が発生することがなく、また保守担当者の作業時間の短縮化が図れるリモートメンテナンスシステム及びシステム機器のリモートメンテナンス方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method of machining a workpiece in a machine tool capable of securing working accuracy by surely preventing warmup operation from being performed more than necessary and starting the machining of the workpiece after thermal deformation is surely stabilized without relying upon a worker and also provide a behavior measuring device.
必要以上に暖機運転を行うことを確実に防止するとともに、作業者によらず熱変位が確実に安定した状態でワークの加工を開始して加工精度を確保することが可能な工作機械のワーク加工方法及び挙動計測装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a protecting film of a lens preventing adhesion of chips of the protecting film onto the surface of the lens and improving working efficiency, process yields and quality when the lens with the surface covered with the protecting film is processed in a lens shape, and a manufacturing method of the protecting film of the lens.
表面を保護膜で被覆した被加工レンズを玉型形状に加工する際に、保護膜の切り子がレンズの表面に付着することを防止し、作業性、歩留まり、及び品質を向上させることができるレンズ保護膜とレンズ保護膜の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a pitting-resistant copper or copper alloy tube and its manufacturing method which unnecessitate the introducing of large-sized equipment or the change of reduction working stage, also whose running cost is low and by which the leakage from a tube caused by corrosion caused by residual carbon and residual oil in the tube is prevented.
大型設備の導入又は抽伸工程の変更が不要であると共に、ランニングコストが低く、管内の残留炭素及び残留油分により生じる腐食による管のリークを未然に防止することができる耐孔食性銅又は銅合金管及びその製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a polysulfide bonded with hydroxypolyalkyleneoxy groups instead of alkoxy groups or the like in bis(trialkoxysilylalkyl)polysulfide or the like, a method for producing the same, a rubber additive for tires being free from the problem in the working environment caused by hydrolyzed products of the alkoxysilyl groups during mixing the additive, and a rubber composition for tires.
ビス（トリアルコキシシリルアルキル）ポリスルフィド等中のアルコキシ基等の代わりにヒドロキシポリアルキレンオキシ基が結合したポリスルフィドおよびその製造方法、混合時にアルコキシシリル基の加水分解物に起因する作業環境上の問題がないタイヤ用ゴム添加剤、タイヤ用ゴム組成物を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for producing a solid acid, by which the solid acid having high performance, high proton conductivity, excellent heat resistance, excellent ion exchange capacity, excellent catalyst performance, and the like can easily be produced in high working safety, high yield, high molecule design freedom and good repeatability, and to provide a solid acid.
高性能で、プロトン伝導性が高く、耐熱性に優れ、且つイオン交換容量、触媒性能などにも優れた固体酸を作業安全性、収率、分子設計の自由度が高く、再現性がよく、且つ容易に製造できる方法および固体酸を提供する。 - 特許庁 - To obtain a release inspection method and device of a fire hydrant device and a fire hydrant device equipped with the release inspection device that helps facilitate restoration work after release inspection work, and reduce working time used therefor.
消火栓装置において、その放出点検作業後の復旧作業を容易にすることができるとともに、それに要する作業時間を短くすることができる、消火栓装置の放出点検方法及び放出点検装置、さらにはその放出点検装置を備えた消火栓装置を得ること。 - 特許庁 - To provide a message transmitting method capable of transmitting plural intentions through one mail to plural addresses, and reducing the generation of the deterioration of working efficiency or the misunderstanding of the transmission of information in an electronic mail system used in an Internet or an entrepreneur.
インターネットや企業内で用いる電子メールシステムにおいて、複数の宛先に対して一通のメールで複数の意志を伝達することが可能であり、作業効率の低下や情報伝達の行き違いを生ずることが少ないメッセージ伝達方法を提供することを目的とする。 - 特許庁 - This working method of an inner peripheral surface or an outer peripheral surface of the optical communication part composed of a cylindrical body having a through-hole in the shaft direction, polishes the inner peripheral surface or the outer peripheral surface of the cylindrical body by slurry using alcohol or ester having two or more of hydrophilic groups as a solvent.
軸方向に貫通孔を有する筒状体からなる光通信用部品の内周面もしくは外周面の加工方法において、前記円筒体の内周面もしくは外周面を親水基を２つ以上有するアルコール又はエステルを溶媒としたスラリーによって研磨する。 - 特許庁 - The method for heating the steel slab before hot working it, is characterized by heating the steel slab at a surface-temperature rising rate of 4°C/m or lower, when elevating at least the surface temperature of the steel slab to 900°C from 500°C.
鋼材の熱間加工に先立つ鋼片の加熱方法において、少なくとも鋼片の表面温度が５００℃から９００℃まで昇温する際の、鋼片の表面温度上昇速度が４℃／分以下となるように鋼片を加熱することを特徴とする鋼片の加熱方法。 - 特許庁 - To provide a method which enables the making of a sample for a transmission electron microscope simply and in a shorter time without damaging it by eliminating any troublesome preliminary working for a material with a metal thin film or a chemical thin film formed on at least one end face of a glass base material.
ガラス基材の少なくとも片端面に金属薄膜あるいは化合物薄膜を成膜した材料について、面倒な前加工を施すことなく簡便、かつ短時間に、試料損傷を与えずに透過電子顕微鏡用試料を作製できる方法の提供。 - 特許庁 - To provide an economical method for removing asbestos, which enables the asbestos sprayed on a building structure, to be easily cut and removed using an extremely small quantity of high-pressure water, and which can shorten a working time by reducing the scattering of asbestos dust so as to extend a treatment area per unit time.
建築構造体上に吹き付けられたアスベストを、極めて少量の高圧水で容易に切削除去できると共に、アスベスト粉じんの飛散を少なくし、単位時間あたりの処理面積が広くなって作業時間を短縮することができる経済的なアスベスト除去方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method of a fiber reinforcing plastic pipe body requiring no special correction working for a support member of the pipe body, forming no spiral narrow groove, fine but becoming visible after coating, and not increasing the raw material cost and manufacturing cost, and a polishing device thereof.
管体の支持部材に格別の補正作業を必要とせずに、管体表面に微細ではあるが塗装後に顕在化する螺旋状の細溝が形成されず、且つ原料及び製作コスト増につながらない繊維強化プラスチック製管体の製造方法とその研磨装置とを提供する。 - 特許庁 - To provide a friction stir welding system which can simply control a force applied to a workpiece during friction stir welding using a conventional working machine without providing an expensive dedicated machine, and further to provide a friction stir welding assembly, a control unit, and a method for executing such a friction stir welding operation.
高価な専用機械を設けることなく、従来の加工機を用いて、摩擦攪拌溶接中に被加工品に付加される力を簡単に制御することができる摩擦攪拌溶接システム、摩擦攪拌溶接アセンブリ、制御装置、およびそのような摩擦攪拌溶接作業を行なう方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a hot forging method for a cylindrical metal ingot capable of improving working efficiency better than before and improving a shape in a longitudinal direction as well as a shape in a widthwise direction and manufacturing a required rectangular interim product at a high yield.
本発明は、従来より作業効率を良くすると共に、幅方向ばかりでなく長手方向の形状をも改善し、所望する矩形状の中間製品を歩留り高く製造可能な円柱状金属塊の熱間鍛造方法を提供することを目的としている。 - 特許庁 - The manufacturing method for the inner packaging material comprises laminating the low-density paper containing the foamed particle in the pulp fibrous layer on the support, then applying a recording layer on the low-density paper, drying it, forming an irregularity pattern by profiling working, and recording the image.
また、パルプ繊維層に発泡体粒子を含有する低密度紙と、支持体とを貼り合せ、次に、低密度紙上に記録層を塗布乾燥して設け、型付け加工により凹凸模様を形成した後、画像の記録を行なうことを特徴とする内装材の製造方法である。 - 特許庁 - To provide a miscellaneous seaweeds removing device and removing method capable of evenly removing miscellaneous seaweeds or the like by using a wide sliding chain net with a surface extension, excellent in working efficiently, and high in reliability without accident such as a failure because of the simple structure.
面状に広がりのある摺動チェーン網を用いることにより、むら無く雑海藻等を除去できるし作業効率に優れており、また、構成が簡単なので故障等の事故がない信頼性の高い雑海藻等の除去装置、及び除去方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a resin composition for electric insulation in which working environment is superior, softening of a varnish film can be made, and superior electric insulation characteristics, curing characteristics, and stability which are equal to or more than those of a liquid type resin composition in the prior art, and to provide a method of manufacturing electric equipment.
作業環境が良好で、ワニス皮膜を柔軟化でき、かつ従来の液状タイプの樹脂組成物と同等以上の良好な電気絶縁性、硬化物特性及び良好な安定性を示すことができる電気絶縁用樹脂組成物、及び電気機器の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To safely and rapidly demolish a building while dispensing with installation and replacement of strong steel supports for supporting floor slabs below a story where a demolishing heavy machine is working in a demolition method of the building of lifting the demolishing heavy machine to the uppermost floor to sequentially demolish from the upper floor to the lower floor.
解体重機を最上階に揚重し、上階から下階へと順次解体して行く建物の解体方法において、解体重機が作業する階から下の床スラブを支持する鋼製強力サポートの設置・盛り替えを不要にして、安全且つ迅速に解体できるようにする。 - 特許庁 - To provide a ground improvement method superior in working efficiency while efficiently and sufficiently agitating and mixing the whole quantity of injected solidifying liquid with excavating sediment, and restraining a phenomenon of discharging the solidifying liquid injected into a drilled hole upward from an outer peripheral part of the excavating sediment.
削孔内に注入した固化液が掘削土砂の外周部分等から上方へ排出される現象を抑止して、注入された固化液全量を無駄なく掘削土砂と十分に撹拌混合し、しかも作業能率の良好な地盤改良工法を提供する。 - 特許庁 - To provide a sheet metal roofing, capable of securing safe working environment when adhering a sheet metal to a damping sheet, of providing a simple adhering work in a short period of time, of offering a high initial and final bonding strength and superior soundproofness due to the damping for the sheet metal roofing, and the manufacturing method.
金属板と制振シートとを接着させる際に、安全な作業環境が確保でき、しかも接着作業が簡単で時間がかからず、高い初期及び最終の接着強度を有し、制振作用による防音性が優れた金属板板屋根及びその製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a cement admixture containing silica fume selected by a characteristic evaluation method where fluidity can be judged whether it is good or bad when mixed in cement concrete and to provide high strength cement concrete using a cement composition, being excellent in fluidity, not causing working defects and being excellent in durability.
セメントコンクリートに混和したときの流動性の良否を判定できる特性評価方法により選定したシリカフュームを含有するセメント混和材、セメント組成物を用いて、流動性に優れ、施工欠陥を生じず、耐久性に優れた高強度のセメントコンクリートを提供する。 - 特許庁 - To provide a method of manufacturing an optical waveguide by which an optical waveguide having high shape accuracy and a superior transmission characteristic can be formed inexpensively and in a short period of time without involving a complicated step, and a working environment can be satisfactorily kept.
形状の精度が高く、伝送特性が良好な光導波路を、煩雑な工程を含むことなく、低コストかつ短時間で形成することができ、また、作業環境も良好に保持することができる光導波路の製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁 - The method for manufacturing the copper alloy conductor for the train wire comprises hot-rolling a copper alloy material into a wire rod and cold-working the wire rod, wherein the final rolling in the above hot rolling is performed at a rolling temperature of not higher than 600°C but higher than 500°C.
銅合金材に熱間圧延加工を施して荒引線にし、その荒引線に冷間加工を施して電車線用銅合金導体を製造する方法において、上記熱間圧延加工の最終圧延を、５００℃を超え６００℃以下の圧延温度で行う製造方法である。 - 特許庁 - In the method to form the through hole in the work by the laser abrasion process, the laser beam is emitted such that a colloidal solution of a high polymer, a solution of a high polymer, or polyol is made to contact the laser beam outgoing side of the working object.
加工対象物に貫通孔を形成するレーザアブレーション加工法による貫通孔形成方法において、レーザ光に対して加工対象物の出射面に高分子物質のコロイド溶液、高分子物質の溶液、または、ポリオールを接触させた状態で前記レーザ光を照射する。 - 特許庁 - To provide a micropattern working device preferably used for forming a nest disposed in a metal mold and having a micropattern, and a method of manufacturing optical part using the device, whereby the nest having the micropattern is formed with high accuracy and efficiently.
本発明は金型内に配設されると共に微細パターンを有した入れ子の形成に用いて好適な微細パターン加工装置及びこれを用いた光学部品の製造方法に関し、微細パターンを有した入れ子を高精度にかつ効率よく形成することを課題とする。 - 特許庁 - To improve an yield due to variations in film thicknesses and film qualities among wafers by enabling measurement of surface roughness of the wafer with a pattern having fine irregular patterns in a midway of wafer working, in a method for obtaining roughness of a substrate and a device for obtaining the roughness of the substrate.
基板の粗さを得る方法、及び基板の粗さを得るための装置において、ウェハ加工途中の微細な凹凸のパターンを有するパターン付きウェハの表面粗さを測定することを可能にすることで、ウェハ間の膜厚や膜質のばらつきによる歩留まりを向上させることを目的とする。 - 特許庁 - Line like irregularities obliquely crossing a tracking direction for recording information at ≥45° angle are formed on a non-magnetic substrate of the perpendicular magnetic recording medium by a texture working method or the like and the soft magnetic backing layer is film-deposited while a magnetic field parallel to a direction nearly orthogonal to the track direction is applied.
垂直磁気記録媒体の非磁性基体上に、情報を記録するトラック方向と４５度以上の角度で斜交する筋状の凹凸をテクスチャ加工法等により形成し、トラック方向と略直交する方向に平行な磁場を印加しながら軟磁性裏打ち層を成膜する。 - 特許庁 - The gear working simulating method has a gear model generating procedure for generating a gear model from a blank model by gear cutting simulation on the basis of the blank model, a cutter model and a gearing cutter model for regulating relative positional relation between the blank model and the cutter model.
ブランクモデルと、カッターモデルと、前記ブランクモデルと前記カッターモデルとの相対的位置関係を規定する歯切り盤モデルとに基づいて、歯切りのシミュレーションにより、前記ブランクモデルから歯車モデルを生成する歯車モデル生成手順を有することにより上記課題を解決する。 - 特許庁 - The working method comprises: a first stage where a liquid is arranged on the object; and a second stage where a gas is dissolved in the liquid to alter the liquid, and the object is worked with the liquid after the alternation.
本発明は、加工対象物上に、液体を配置する第１工程と、前記液体に気体を溶解させ、当該液体を変質させて、前記加工対象物を当該変質後の液体により加工する第２工程とを含む加工方法により、上記課題を解決する。 - 特許庁 - To provide a method for producing a tailored blank press formed article which is excellent in formability and controllability of work hardening caused by press working, thus hardly causes defect in the forming, facilitates quality control compared with the conventional case, and of which the quality can be improved at a relatively low cost.
プレス成形品の成形性やプレス加工による加工硬化の制御性に優れていて成形不良が生じにくく、従来よりも品質管理が容易であり、しかも比較的安価に品質向上を図ることが可能なテーラードブランクプレス成形品の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a construction method for coping concrete to a revetment steel pipe sheet pile and a coping concrete block capable of eliminating assembly and disassembly working of a form in a construction site of a steel pipe sheet pile, curtailing a construction period of time without being required of using any ship and reducing costs.
鋼管矢板の敷設現場での型枠の組立、解体作業が不要となり、舟を使う必要がなく、工期の短縮が可能となり、しかもコストを安くすることが可能な護岸用鋼管矢板への笠コンクリートの構築方法および笠コンクリートブロックを提供する。 - 特許庁 - The construction information is connected with the risk rate according to the working method by each unit work included in the construction, a risk level with respect to construction for a single day is calculated based on the collating result of the risk rate and this is connected with the construction to be managed comprehensively.
工事情報は、その工事に含まれる単位作業ごとにその作業方法に応じたリスク度合いが関連付けられ、さらにそれらリスク度合いの集計結果に基づいて１日分の工事に対するリスクレベルが演算され、これがその工事に関連付けられて、統括的に管理される。 - 特許庁 - To provide an apparatus and a method for controlling and/or adjusting the pressure level of at least one receptor whose capacity is variable of a pneumatic system, especially a pneumatic system for a seat of an automobile, permitting control and/or adjustment of the pressure level without loss of a working fluid.
圧力レベルの制御および／または調整が作業流体の損失なしに可能である、ニューマチックシステム、特に自動車のシートのためのニューマチックシステムの容積可変な少なくとも１つの受容器の圧力レベルを制御および／または調整するための装置および方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a drug handling management method and its management system capable of speedily and certainly carrying out drug handling business in a medicine handling enterprise represented by a medical organization, for example, including a hospital etc., without increasing a working burden of a drug handling person.
例えば病院等を含む医療機関に代表される医薬品取扱事業体での薬剤取扱業務を薬剤取扱者の作業負担を増大することなく迅速確実に行うことができる薬剤の取扱管理方法及びその管理システムを提供する。 - 特許庁 - To provide a heat insulation steel sheet which can be used for production of metallic vacuum double containers or for application for working accompanied by tension deformation, is excellent in heat insulation properties and workability, and to provide a method for manufacturing the same, and to provide metallic vacuum double containers having the excellent heat insulation properties.
金属製真空二重容器の製造に用いることのできる、又は、引っ張り変形を伴う加工用途に用いることのできる、断熱性に優れかつ加工性に優れる断熱鋼板及びその製造方法、断熱性に優れる金属製真空二重容器を提供する。 - 特許庁 - To provide a weather strip and its mounting structure capable of precisely positioning a double-coated tape at the time of adhesion, continuously adhering the long double-faced tape with good accuracy, and adhering the double-coated tape without hindrance by a mechanical method with good working efficiency.
両面テープを貼着するにあたり位置決めが確実になされ、精度良く長尺の両面テープを連続的に貼着可能とする共に、両面テープの貼着を作業効率の良い機械的方法により支障無く行えるウェザーストリップとその取付構造を提供する。 - 特許庁 - To provide an information distribution system and server, terminal device, information distribution method, information output program and information distribution program, which provide information related to work methods corresponding to needs of a user and perform time control in each work schedule based on the working speed of the user.
ユーザのニーズに対応した作業方法に係る情報を提供し、ユーザの作業速度に応じた各作業工程における時間管理を行う情報配信システム、情報配信サーバ、端末装置、情報配信方法、情報出力プログラムおよび情報配信プログラムを提供する。 - 特許庁 - To provide a treatment method of wastewater and waste oil which can efficiently decompose engine oil, cutting oil, and oils in a grease trap by using the remarkable working effect of a photocatalyst exhibited when used in treatment of the engine oil, the cutting oil, and the oils in a grease trap.
光触媒をエンジンオイル、切削油、グリーストラップにおけるオイル類の処理に用いた場合に顕著な作用効果を奏することを見出したもので、エンジンオイル、切削油、グリーストラップにおけるオイルを効率的に分解することができる排水及び廃油の処理方法を提供しようとするものである。 - 特許庁 - To provide a shaping method for grinding/polishing tool and a grinding tool for shaping, capable of making the working surface of an optical element grinding/polishing tool into a predetermined radius of curvature, sphericity, or flatness with high precision by means of grinding process.
光学素子の研削・研磨工具の加工面を摺り合わせ加工により所定の曲率半径や真球度または平面度に精度よく製作することができる研削・研磨工具の形状製作方法およびその形状製作に用いる摺り合わせ工具を提供する。 - 特許庁 - To provide a gold plating liquid which does not comprise toxic cyanide or the like having problems in a working environment and waste liquid treatment, has excellent chemical stability, easily treatable, and can efficiently form a gold plating film of high quality, and to provide a gold plating method using the gold plating liquid.
作業環境や廃液処理に問題を有する毒性の強いシアン等を含まず、化学的安定性に優れ、容易に取り扱うことができ、良好な膜質の金メッキ膜を効率的に形成することができる金メッキ液と、この金メッキ液を用いる金メッキ方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a spiral anchor and its installation method capable of increasing working efficiency while reducing the production cost of a steel pipe by facilitating the positioning thereof in installation and completely reinforcing a soft ground by steel pipe piles improved in a facilitated and secure operating state.
施工時における位置決めを容易にすると共に、簡易かつ確実な稼動状態に改善された鋼管パイプ杭によって軟弱地盤の補強を完全にして、鋼管パイプの製造コストを低減しながら作業効率を向上させるスパイラルアンカー杭とその施工法を提供する。 - 特許庁 - To provide services required by an user and appropriate services via the Internet or the like, for example, by applying to a downloading service of an application program and also by effectively avoiding complicated working at an user side and appropriate services, regarding a service supply system and method.
本発明は、サービス提供装置及びサービス提供方法に関し、例えばアプリケーションプログラムのダウンロードのサービスに適用して、ユーザー側の煩雑な作業を有効に回避して、ユーザーが所望するサービス、および適切なサービスをインターネット等を介して提供することができるようにする。 - 特許庁 - A method for controlling a robot locus cooperate-controls a plurality of robots so that a position and a stance in a tool coordinate system 3 set to a working tool 2 attached to a leading robot 1 traces a desired locus on a tool coordinate system 5 set to work 4 held by a following robot 6.
先導ロボット１に取り付けた作業ツール２に対して設定したツール座標系３の位置及び姿勢が、追従ロボット６の把持するワーク４に対して設定したツール座標系５の上で所望の軌跡を描くように、複数台のロボットを協調制御する。 - 特許庁 - To provide a video photographing recorder, a photographing data classification method, and a storage medium, by which data are automatically grouped on the basis of photographing of an object by a user on the basis of position information, relieving a load of contents management of the user and enhanced working efficiency.
ユーザによる被写体の撮影に基づくデータに対して位置情報によるグルーピングを自動で行うことにより、ユーザがコンテンツ管理を行う手間を軽減し、作業効率の改善を可能とした映像撮影記録装置、撮影データ分類方法、及び記憶媒体を提供する。 - 特許庁 - To provide an apparatus and a method for controlling the meandering of a strip in a tandem mill by which the meandering of a strip is effectively prevented without being affected by working environment such as fume and coolant for rolling and without generating the deformation of the base material of the strip.
ヒューム、圧延クーラント等の使用環境の影響を受けることなく、かつ、ストリップ母材の変形を発生させることなく、ストリップの蛇行を効果的に防止することができる、タンデム圧延機におけるストリップの蛇行制御装置及び蛇行制御方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method of a semiconductor device for realizing stable manufacture of a precise device, by measuring a plurality of points on a sample simultaneously for realizing speedy three-dimensional shape measurement, before reflecting for the setting of working process conditions, in a semiconductor manufacturing process.
試料上の複数の点を同時に計測して高速な立体形状計測を実現し、半導体製造工程の加工プロセス条件の設定に反映させて、高精度なデバイスの安定な製造を実現することができる半導体デバイスの製造技術を提供する。 - 特許庁
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