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グロー放電蒸着の英語
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英訳・英語 glow discharge evaporation
「グロー放電蒸着」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
酸素導入Al薄膜12aは、純Alターゲットを用い、グロー放電を利用した物理蒸着法を用い、その成膜雰囲気において希ガス流量に対して酸素流量を制御することにより成膜される。例文帳に追加
The oxygen introduced Al thin film 12a is deposited by using a physical vapor deposition method utilizing glow discharge using a pure Al target, and controlling an oxygen flow rate with respect to a rare gas flow rate in its deposition atmosphere. - 特許庁
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glow discharge evaporation
JST科学技術用語日英対訳辞書
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