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「タングステンハロゲンランプ」を含む例文一覧
該当件数 : 3件
タングステンハロゲンランプ2でシリコン基板の表面を約700℃に維持し、かつ、キャリアガスとして水素ガスを供給しながら、シリコン原料ガスとしてジクロルシランと、ゲルマニウム原料ガスとしてゲルマンと、炭素原料ガスとしてアセチレンとを、それぞれマスフローコントローラー18,19,20を介して反応室に供給する。例文帳に追加
The silicon substrate is maintained at about 700°C on its surface with a tungsten-halogen lamp 2. - 特許庁
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