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三角光路干渉計の英語
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光源に低コヒーレンス光源を用いた三角光路干渉計を用い、その光路中にブロックゲージ５と透明基板６を配置する。例文帳に追加
A triangle path interferometer using a low-coherence light source as a light source is used, and the block gage 5 and a transparent substrate 6 are arranged in the optical path. - 特許庁
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1
triangle path interferometer
機械工学英和和英辞典
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