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軸対称球プラズマの英語
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反射波が有っても、マイクロ波の円偏波化が行える円偏波発生器を用いてプラズマ処理の軸対称性を高めるため、円矩形変換器４０２の円形導波管４０５側にスタブ４０３および４０４を設け、スタブ４０３および４０４は円柱状で先端部は半球状とした。例文帳に追加
For enhancing axisymmetry of plasma processing using a circularly polarized wave generator for conducting a circularly polarized wave processing of microwaves regardless of reflection waves, stubs 403, 404 are provided at a side of a circular waveguide 405 in a circle/rectangle converter 402 and the stubs 403, 404 are made cylindrical and the tip is made semicircular. - 特許庁
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