Hollingとは 意味・読み方・使い方

The resist liquid is sent to a supply nozzle 6 by a bellows pump 8, the resist liquid is discharged onto a surface of a wafer W held almost horizontally by a wafer holling part 2 thus from the supply nozzle 6, and a film of the resist liquid is formed on the surface of the wafer W.例文帳に追加

ベローズポンプ８により供給ノズル６にレジスト液を送液し、こうして供給ノズル６からウエハ保持部２に略水平に保持されたウエハＷの表面にレジスト液を吐出し、このウエハＷ表面にレジスト液の液膜を形成する。 - 特許庁