atom-sizedとは 意味・読み方・使い方

During the plasm process, carbon atoms C and/or nitrogen atom N collides with a plurality of exposed surfaces of the nano-sized features 12, and infiltrates from the exposed surfaces to react with the silicon Si, thereby forming the hardened shell 20 made of the silicon carbide, the silicon nitride, or charring silicon nitride.例文帳に追加

プラズマ処理中は炭素原子Ｃ及び／又は窒素原子Ｎが極小形状部12の複数の露出面に衝突してそれらが露出面から浸透し、シリコン（Ｓｉ）と反応して炭化ケイ素、窒化ケイ素または炭化窒化ケイ素からなる硬化外殻20が形成される。 - 特許庁