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意味・対訳 電子損失過程
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By applying a dielectric constant measuring method using electron energy loss spectroscopy to a semiconductor device in the middle of a process, the dielectric constant in a localized region is evaluated.例文帳に追加
工程途中の半導体装置に対して、電子エネルギ損失分光法を用いた誘電率計測法を適用することで、局所領域での誘電率を評価する。 - 特許庁
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