fast atom beamとは 意味・読み方・使い方

FAST ATOM RADIATION SOURCE AND FAST ATOMIC BEAM DISCHARGING METHOD AND SURFACE REFORMING DEVICE例文帳に追加

高速原子線源および高速原子線放出方法ならびに表面改質装置 - 特許庁

The apparatus for restoring the shape of the via hole of a wafer having an imperfect via hole includes a defect detection part for detecting the imperfect via hole, and an etching part for etching the imperfect via hole with a fast atom beam.例文帳に追加

また、不完全なビアホールを有するウェーハのビアホールの形状を修復する装置であって、不完全なビアホールを検出する欠陥検査部、不完全なビアホールを高速原子線によりエッチングするエッチング部、を備えたことを特徴とする形状修復装置を用いる。 - 特許庁