incremental strainとは 意味・読み方・使い方

To realize a structure; in which the difference in the incremental resistance between center gauges and side gauges receiving thermal stress is equalized, as much as possible, even a different thermal stress is imparted on the center gauges and the side gauges, in a semiconductor pressure sensor provided with a diaphragm and strain gauge resistances on a semiconductor substrate of (110) face.例文帳に追加

主表面が（１１０）面である半導体基板にダイアフラムおよび歪みゲージ抵抗とを形成してなる半導体圧力センサにおいて、センターゲージとサイドゲージに加わる熱応力に差があっても、両者の抵抗変化量が極力等しくなるゲージ構造を実現する。 - 特許庁