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inhomogeneous bodyとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 不均質物体
「inhomogeneous body」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
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A polishing pad 10 is equipped with a pad body 10a contacting with the surface of a wafer S when chemical and mechanical polishing is performed for the wafer S, and a coefficient of thermal conductivity in a plane contacting with the wafer S of the pad body 10a is made to be inhomogeneous.例文帳に追加
本発明は、ウェハＳに対して化学的および機械的な研磨を行う際、ウェハＳの表面と接触するパッド本体１０ａを備えた研磨パッド１０において、パッド本体１０ａのウェハＳと接触する面内における熱伝導率を不均一にしたものである。 - 特許庁
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