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magnetron ion etchingとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 マグネトロンイオンエッチング
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該当件数 : 1件
A magnetron reactive ion etching device 1 is equipped with a unit composed of electrodes which are opposed to each other sandwiching a semiconductor device 3 between them, a high-frequency power supply 9 which generates an electronic field on the unit of electrodes, a dipole ring magnet 23, and a switching mechanism 25.例文帳に追加
マグネトロン反応性イオンエッチング装置１は、半導体装置３を挟んで対向する電極ユニットと、電極ユニットに電界を形成する高周波電源９と、ダイポールリング磁石２３と、切換機構２５とを備えている。 - 特許庁
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1
マグネトロンイオンエッチング
JST科学技術用語日英対訳辞書
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