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material provisioningとは 意味・読み方・使い方
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The exposure device 2 is equipped with a supply 31 to supply the container 2 with a material for repairing the capping layer, and a provisioning portion to provide electromagnetic wave to the optical element 22e.例文帳に追加
露光装置２は、キャッピング層を補修するための材料を容器２内に供給する供給部３１と、光学素子２２ｅに電磁波を提供する提供部とを備えている。 - 特許庁
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