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nitrous oxide sourceとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 亜酸化窒素源
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該当件数 : 1件
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Before forming the oxynitride silicon film 3, pretreatment with plasma is done by using nitrous oxide (N2O) gas, which is a source gas of the oxynitride silicon film.例文帳に追加
酸化窒化珪素膜３を成膜する前に、酸化窒化珪素膜のソースガスである亜酸化窒素（N_2O）ガスを用いてプラズマ前処理した。 - 特許庁
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