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repetitive featuresとは 意味・読み方・使い方
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The best pattern for projection can be generated by simulating a space to be output by the pattern, comparing the simulation with an expected pattern and using a repetitive processing process adjusting the OPC features.例文帳に追加
パターンにより出力されるであろう空間像をシミュレートし、シミュレーションを所望のパターンと比較し、ＯＰＣフィーチャを調整する反復処理工程を使用して、投影に最適なパターンを生成することができる。 - 特許庁
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