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surface potential sensor with vibratorとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 振動型電位センサー
「surface potential sensor with vibrator」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
The potential sensor 10 includes a base member 11 comprising a semiconductor substrate, a vibrator 12 formed overhung-beam-likely with respect to the base material 11 by a semiconductor manufacturing technique, a detecting electrode 13 formed on a tip part surface of the vibrator 12 by the semiconductor manufacturing technique, and piezoelectric elements 14, 15 formed on a surface of the vibrator 12 by the semiconductor manufacturing technique.例文帳に追加
本発明に係る電位センサ１０は、半導体基板から成るベース部材１１と、ベース部材１１に対して半導体製造技術により片持ち梁状に形成された振動体１２と、振動体１２の先端部表面に半導体製造技術により形成された検知電極１３と、振動体１２の表面に半導体製造技術により形成された圧電素子１４，１５とを備えていることを特徴とする。 - 特許庁
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