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"MULTIPLE-REFLECTION"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 201件
例文
When the composition is applied on a chemically amplified photoresist film to form an antireflection film, multiple reflection in the photoresist film can be reduced by the antireflection function of the antireflection film, an amount of reduction in film thickness of the photoresist film is increased in development with an alkali developer after exposure and a rectangular resist pattern is formed.例文帳に追加
この組成物を化学増幅型フォトレジスト膜上に塗布し、反射防止膜とすることにより、反射防止機能によりフォトレジスト膜内の多重反射が防止できるとともに、露光後アルカリ現像液により現像する際フォトレジスト膜の膜減り量が増大し、矩形状のレジストパターンが形成される。 - 特許庁
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