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Buffered oxide etch
バッファード
オキサイド
エッチ
液
バッファード・オキサイド・エッチ
液
(
Buffered
oxide
etch
,
BOE
)は、バッファードフッ
酸
または
BHF(
Buffered
Hydrogen Fluoride
)とも
呼ばれ
、
半導体
微細加工
に
用いられる
湿式
エッチング液
である
。
Weblio英和対訳辞書はプログラムで機械的に意味や英語表現を生成しているため、不適切な項目が含まれていることもあります。ご了承くださいませ。
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