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plasma CVD

プラズマCVD
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plasma CVD

プラズマＣＶＤ

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plasma CVD

プラズマCVD

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プラズマCVD
プラズマCVD（plasma CVD, plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD）は、プラズマを援用する型式の化学気相成長(CVD)の一種である。
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