To clean a needlepoint of a probe and remove a foreign substance attached to the neelepoint of the probe regardless of the kind of the foreign substance in a device and method for inspecting a semiconductor device in a chip region formed on a wafer 20. ウェハ20に形成されるチップ領域の半導体装置を検査するウェハ検査装置およびその検査方法において、ウェハ交換時にプロ−ブの針先のクリ−ニングできるとともにプロ−ブの針先に付着する異物の種類かかわらず異物を除去できるようにする。 - 特許庁
To provide an apparatus and a method for processing a substrate which can supply a cleaning liquid only to a required region of the substrate, without scattering the liquid, can thereby maintain clean atmosphere in a chamber and can reduce the amount of the cleaning liquid used. 洗浄液を飛散させることなく基板の所要領域にのみ供給することができ、これにより、チャンバー内の清浄雰囲気を維持することができると共に、洗浄液の使用量を減少させることができる基板処理装置及び基板処理方法を提供する。 - 特許庁
To provide a cattle house ventilating device for improving cattle breeding environment while keeping a cattle house always clean by driving a plurality of blowers and a ventilator set up in the cattle house at the same time or driving only the blowers depending on a temperature in the cattle house. 畜舎内に設定した複数の送風装置と換気装置とを畜舎温度に応じて同時に駆動したり送風装置のみを駆動することによって、畜舎内を常に清浄に維持して家畜の飼育環境を向上させるようにした畜舎用換気装置を提供する。 - 特許庁
To provide an apparatus consisting of a methodological and technical machine such as a mill or classifier which deals with all demands in the clean room operation, glovebox operation, SIP operation or CIP operation and combination with these and has not a rotation penetration part between a product room and surroundings. ミル又は分級機のような方法技術的な機械から成る装置であって、クリーンルーム運転、グローブボックス運転、SIP運転又はCIP運転及びこれらの組合せにおけるすべての要求に対応し、製品室と周囲との間に回転貫通部を有していない装置を提供する。 - 特許庁
To provide an extension tube for vacuum cleaner which enhances convenience for a user by reducing fatigue of the user in cleaning by enabling the user to easily clean even the corners of furniture without laying the extension tube on a floor or stooping by making the extension tube foldable at a prescribed angle. 延長管が所定の角度に折り畳まれ得るように構成することにより、延長管を底面に横たえたり、腰を屈せずにも家具の隅々まで容易に掃除できるようにすることで掃除時の疲れを減らし、ユーザの便宜を図るようにした真空掃除機の延長管を提供する。 - 特許庁
A low pressure area created by the fan is used to assist in drawing the cooling exhaust airflow through the compartment 38, to thus form the closed loop cooling air recirculation system using only clean, filtered exhaust airflow to maintain the beater brush motor 40 at the low temperature during use. ファンによって生じた低圧領域は、コンパートメント38を通る冷却用排出空気流を吸い込む補助をするために使用され、清浄な濾過された排出空気流のみを用いて閉ループ冷却用空気再循環システムを形成し、使用の際に攪拌ブラシモータ40を低温に維持する。 - 特許庁
In this area, the rough surface portion of the pressure attaching part is put in electric contact with the clean surface of the core wire, so that it is possible to establish electric connection while the oxide coating film is broken efficiently at the same time as connection of the terminal with the core wire of the aluminum electric wire. そしてその部分において圧着部の粗面部と露出されたアルミ芯線部の清浄面とが電気的に接触するため、アルミ電線のアルミ芯線部に電線接続端子を接続すると同時に酸化被膜を効率良く破壊しつつ電気的に接続することが可能となる。 - 特許庁
A machining portion, a waste water tank storing machining liquid (waste water) including machining chips and the like, a pump sucking the machining liquid from the waste water tank, a filter receiving a supply of the machining liquid from the pump, a clean water tank temporarily storing purified machining liquid are disposed along a machining liquid circulation passage. 加工液循環路に沿って、加工部、加工屑等を含んだ加工液(汚水)を貯留する汚水槽、汚水槽から加工液を吸引するポンプ、同ポンプから加工液の供給を受けるフィルタ、浄化された加工液を一時貯留する清水槽が配置される。 - 特許庁
This cleaning device is designed to efficiently clean things that are used as part of human body, such as a false tooth, contact lens, etc., by using ultrasonic waves mainly around 70 KHz or 100 KHz, infrasonic waves mainly around 80 Hz or 180 Hz, and enzymes, mainly such as lipase, protease, and amylase. 主に70KHzないし100KHz前後の超音波と、主に80Hzないし180Hzの超低周波と、主にリパーゼ及びプロテアーゼ及びアミラーゼなどの酵素を用いて、入れ歯やコンタクトレンズなど人体の一部として使用する物品の、効率の良い洗浄器を得る。 - 特許庁
The fixed guide rails 21 includes traveling spaces 34 for traveling a slider 35 provided on the edges of the traveling guide rail 22, a side surface opening 31, and a sucking perforated passage 49 for sucking the dusts suspended in the air inside the traveling spaces 34 to discharge them outside the clean room. 固定ガイドレール21は、走行ガイドレール22の端部に設けたスライダ35を走行させるための走行用空間34と、側面開口31と、前記走行用空間34内の塵埃を吸引してクリーンルームの外部へ排出するための吸引貫通路49とを備えている。 - 特許庁
To provide a LNG vaporizer which is usable in an area where no clean sea water is obtained or cold drain causes environmental problems, which is more safely handled than in the case of intermediate medium such as propane or butane, which is easy of operation and maintenance, and which can prevent internal local freezing. 清浄な海水が得られないところ、あるいは冷排水が環境上問題となるところでも使用でき、プロパン、ブタン等の中間媒体に比べ安全に取り扱え、運転、保守が容易であり、かつ内部での局部的凍結を防止することができるLNGベーパライザを提供する。 - 特許庁
To provide an oxidation ditch that makes an advanced treatment capable of obtaining clean treated water containing no solid simply performable by using an existing facility in an oxidation ditch for biologically treating foul water such as sewage containing organic matter by using activated sludge. 有機物を含む下水等の汚水を活性汚泥により、生物学的に処理するようにしたオキシデーションディッチにおいて、固形物を含まない清澄な処理水を得られるようにした高度処理を、既設の施設を利用して簡単にできるようにしたオキシデーションディッチを提供すること。 - 特許庁
To provide a steel sheet cleaning device which can effectively remove stain (foreign matter) stuck to the front surface and back face of a steel sheet by the injection pressure of cleaning water, and also can secure a clean peripheral environment and achieve the reduction of cost. 鋼板を洗浄する鋼板洗浄装置において、鋼板の表裏面に付着した汚れ(異物)を洗浄水の噴射圧力により効果的に取り除くことができ、且つ、清潔な周辺環境の確保及びコスト低減を実現することのできる鋼板洗浄装置を提供する。 - 特許庁
To provide a toner for electrostatic latent image development capable of uniformly forming a thin toner layer on a developing sleeve regardless of deterioration with age and environmental variation, and capable of printing high-quality images over a prolonged period of time by keeping a photoreceptor surface clean, and to provide an image forming method. 経時変化や環境変化にかかわらず現像スリーブ上のトナー薄層を均一に形成することができるとともに、感光体の表面をクリーンに保つことによって、長期間に渡って、高品質の画像が印字できる静電潜像現像用トナー及び画像形成方法を提供する。 - 特許庁
When the carrier is washed, sewage is sucked up from the water suction port 30a by the air lift pump to generate water level difference between the biological filter tank D and the treated water tank E and clean treated water is introduced into the filter tank portion 24 by the water level difference to form an ascending flow to wash the carrier (n). そして、担体洗浄時は、エアリフトポンプで吸水口30aから汚水を吸い上げて生物濾過槽Dと処理水槽Eとの間で水位差を生じさせ、その水位差によりきれいな処理水を濾過槽部24内に導入して上向きの流れをつくり、担体nを洗浄する。 - 特許庁
If the operation before receiving the inner clean operation signal is cooling operation or dry operation, the control advances from step ST2 to ST3 and an electric heater section is turned on and then the indoor fan is rotated for a specified time (steps ST4 and ST5) to dry the interior of the indoor unit. また、内部クリーン運転信号を受信する前の運転が冷房運転あるいはドライ運転であった場合には、ステップST2からST3に進み、電気ヒータ部をオン制御し、しかる後、上記室内ファンを所定時間だけ回転し(ステップST4,ST5)、室内機内部を乾燥させる。 - 特許庁
In the gas generation apparatus 13, a part of an emission gas containing the formaldehyde gas discharged from the inner part receiving space 30A to the discharge side passage 35 is passed through the circulation passage 38 to be mixed with a clean air and is introduced from the introduction side passage 31 to the inner part receiving space 30A. ガス発生装置13では、内部収容空間30Aから排出側流路35に排出されたホルムアルデヒドガスを含む放出ガスの一部が、循環用流路38を通って清浄空気と混合し導入側流路31から内部収容空間30Aに導入される。 - 特許庁
To provide a resin coating apparatus in which a continuous membrane defect does not arise on a resin film periodically with foreign matter which is adhered and intruded into a surface of a roll without necessity of frequently stopping the apparatus to clean the surface of the roll adhered and intruded by the foreign matter and which has high productivity. ロール表面に付着して食い込んだ異物によって周期的に連続した皮膜欠陥が樹脂フィルムに生じず、かつ異物が付着して食い込んだロール表面を清拭するために装置をしばしば停止する必要のない、生産性の高い樹脂被覆装置を提供する。 - 特許庁
One embodiment of the present invention includes a step of arranging a target 107 between an exhaust port 104a and a burner 103, and a step of feeding glass microparticles to the target 107 and depositing the glass microparticles while forming a flow of a clean air directing to the exhaust port 104a. 本発明の一実施形態では、排気口104aとバーナ103との間にターゲット107を配置する工程と、排気口104aに向うクリーンエアの流れを形成しながら、ターゲット107にガラス微粒子を供給して該ガラス微粒子を堆積させる工程とを有する。 - 特許庁
Based on the detection result of the pH sensor 20, a control apparatus 14 simultaneously controls a two-way valve 13 of a water supply pipe 12 and a two-way valve 18 of a general water supplementary pipe and during the pH adjustment by water supply of general water, supply of the clean absorption solution is stopped. pHセンサ20の検出結果に基づいて、制御装置14が給水配管12の二方弁13と一般水補給配管の二方弁18の開閉とを同時に制御し,一般水の給水によるpH調整中は,清浄な吸収液の補給を停止する。 - 特許庁
A cleaning tool 102 to clean the chip holding surface 21 of the bonding tool 13 is provided on the third side face 101 of the rotary head 68 so that shavings on the chip holding surface 21 can be removed by brush fiber by vertically moving the chip holding surface 21 of the bonding tool 13 against the cleaning tool 102. ロータリーヘッド68の第三側面101にボンディングツール13のチップ保持面21を清掃する清掃ツール102を設け、ボンディングツール13のチップ保持面21を清掃ツール102に対して上下移動してチップ保持面21の削り滓をブラシ繊維で落とせるように構成する。 - 特許庁
When a cleaning start operation part for starting to clean in the car with water, the car is moved to a specific floor provided with a drainage device connected with the drainpipe by a moving means and a car door is opened by a car door opening means and the electromagnetically operated valve is opened by a valve opening means. 乗りかご内の水洗い清掃を開始する清掃開始操作部を操作すると、乗りかごは、移動手段によって排水管が接続される排水装置を備えた特定階に移動され、かごドア開放手段によってかごドアが開放され、開弁手段により電磁弁が開弁される。 - 特許庁
To provide an antifouling agent for a press roll, having low foaming tendency, keeping the press roll in a clean state in a papermaking pressing step, causing little adhesion of a wet paper to the press roll to enable easy release from the roll and capable of reducing the abrasion of a doctor blade, and to provide an antifouling method to use the agent. 抄紙プレス工程において、プレスロールを清浄な状態に保ち、湿紙がプレスロールに付着し難く、プレスロールから容易に剥離され、かつドクターブレードの磨耗を軽減できる、低発泡性の、プレスロールの汚れ防止剤、及びこれを用いた汚れ防止方法を提供することを課題としている。 - 特許庁
In addition, a control means 9 to introduce rain to the toilet bowl cleaning passage 11 if the detected value of the water pressure detecting means S is not less than a specified value, and to introduce clean water to the toilet bowl cleaning passage 11 if the detected value is lower than the specified value, is provided. さらに、前記水圧検出手段Sの検出値が所定値以上であれば雨水を便器洗浄流路11へ導入し、検出値が所定値を下回る場合は、上水を便器洗浄流路11へ導入するように制御する制御手段9を設けた。 - 特許庁
To provide a sterilization resistant cloth excellent in dust-preventing property, hydrolytic decomposition resistance on its sterilizing wash-treating, also without lowering its tearing strength, and capable of preventing the splashed body fluid such as blood, etc., from penetrating, and medical articles suitable for a clean room wear such as a surgical gown, etc., consisting of the sterilization resistant cloth. 防塵性に優れ、滅菌洗濯処理時の耐加水分解性に優れると共に引き裂き強度が低下せず、飛散する血液等体液等の浸透を防ぐことができる耐滅菌布帛と、その耐滅菌布帛からなる手術衣等クリーンルームウェア用に好適な医療用品を提供する。 - 特許庁
To provide a method by which a semiconductor is sealed, in a short sealing cycle with small amount of cured wastage and few fine voids in a cured sealing material and a device usable for putting the method into practice and which is small in height and is easily installed in a conventional clean room. 成形サイクルが短く、硬化廃棄物の量が少なく、硬化した封止材料中の微小ボイドが少ない半導体封止成形方法、及び、該成形方法の実施に有用であり、全高が低く在来のクリーンルーム内への設置が容易な半導体封止成形装置を提供する。 - 特許庁
A reverse osmosis film is taken as a filtration film, and the boundary between a raw solution passage for running a filtering object and a filtration passage which filtered clean water enters is partitioned by the filtration film, and the pressurized water to be treated is caused to flow into the raw solution passage by a drain pump 53 according to a crossflow filtration system to be filtered. 逆浸透膜を濾過膜とし、濾過対象を流す原液流路と濾過済みの浄化水が入る濾過流路との境界を濾過膜で仕切り、ドレンポンプ53により原液流路に対し加圧状態の被処理水をクロスフロー濾過方式で流して濾過処理する。 - 特許庁
To provide a pure window material which hardly emits water, organic matters, metal, or the like and which is suitable for a window of a clean room such as a precision substrate stocker for storing semiconductor wafers, etc. and a vacuum chamber of a wafer cutter, or a room for handling pure liquids, such as a wafer washer. 半導体ウエハなどを保管する精密基板ストッカーやウエハ切断装置の真空チャンバなどの清浄な部屋や、ウエハ洗浄器などの清浄な液体を取り扱う部屋に設置する窓に好適な、水分、有機物、金属などをほとんど放出しない清浄な窓材を提供すること。 - 特許庁
The paste-making apparatus 10 is equipped with a viscosity detector 19 and also a washing system to wash the detector 19 with hot water or water to be supplied or supplied to the paste-making apparatus 10 for use in paste-making, keeping the detector always a clean state and enabling it to make measurement accurately. 製糊装置10に粘度検出器19を設けるとともに、その粘度検出器19を製糊装置10に供給されるもしくは供給された製糊用の温水や水で洗浄する洗浄手段を設けて常に清浄な状態に保ち正しい計測を可能にする。 - 特許庁
In the suction tool 1 for a vacuum cleaner, by setting a housing 2 into a basic attitude and moving the housing 2 while the main suction port 11 of a bottom surface 5 is opposite to the floor surface B, dust on the floor surface B is taken into the housing 2 from the main suction port 11 to clean the floor surface B. 電気掃除機用吸込具1では、ハウジング2を基本姿勢にして、底面5の主吸込口11が床面Bに対向した状態でハウジング2を移動させることで、床面Bの塵埃が主吸込口11からハウジング2内に取り込まれることとなり、床面Bを掃除できる。 - 特許庁
To provide an aerosol agent for cleaning a drainage outlet and for cleaning a laundry sink, which contains a fatty acid soap as a main cleaning component, is prepared into a form suitable to clean the drainage outlet and the laundry sink of a washing machine, and gives low environmental load. 脂肪酸セッケンを主たる洗浄料成分とし、上記の排水口や洗濯機の洗濯槽を洗浄するのに好適な形態に調製され、しかも、環境に対する負荷が小さい排水口洗浄用および洗濯槽洗浄用のエアゾール剤を提供すること。 - 特許庁
The gas measuring instrument is constituted such that a volatile substance is supplied into a third container 19 from a first outlet 3, because the temperature inside a first container 1 is controlled to a predetermined temperature to keep on supplying and chemically measurable stable clean air in the third container 19. 第1容器1内部が所定温度に制御され、安定した清浄空気が連続供給されるので、被測定物からの揮発性物質が第1出口3より第3容器19に供給され、第3容器19内での化学測定が可能な気体測定用装置ができる。 - 特許庁
When an opening part 18 of the chassis 50 is in contact with a cleaning target and closed, a negative pressure is generated in the chassis 50 by a suction unit, and a fast air flow enters through an inlet 24 to generate a circulating air flow, thereby flying the cleaning media 5 to clean. 筐体50の開口部18が洗浄対象物に当てられて塞がれると、吸気手段によって筐体50内が負圧化され、インレット24から高速気流が流入して旋回空気流が生じ、これによって洗浄媒体5が飛翔して洗浄がなされる。 - 特許庁
To enhance the water pressure resistance of a filter tank and to prevent the elution of metal from the outer housing of the filter tank, in a water cleaning apparatus wherein a metal hydrate is formed by the electrolysis of aluminum and flocs of a suspended substance in water are formed by the flocculation action of the metal hydrate to clean water. アルミニウムの電気分解により金属水和物を生成し、この金属水和物のもつ凝集作用により懸濁物質の凝集フロックを形成して浄化する水浄化装置において、濾過槽耐水圧性を向上するとともに濾過槽外筐の金属溶出を防止する。 - 特許庁
This air flow control system for the clean room comprising one or a plurality of productive devices and the plurality of air cleaners, further comprises an air cleaner control means for controlling the air flow by every air cleaner on the basis of the information on the operation of the productive device. 1個又は複数個の生産装置と、複数個の空気清浄器とを備えたクリーンルームの風量制御システムであって、生産装置の稼動情報に基づいて、空気清浄器毎に風量を制御する空気清浄器制御手段を備えていることを特徴とする。 - 特許庁
To suppress the occurrence of putrefaction of fish excreta, leftovers of a feed and foreign materials such as refuges in filtration equipment of an aquarium for ornamental fishes or ornamental ponds and growth of noxious bacteria, prevent fouling of water, diseases of fishes by pathogenic bacteria and keep water in the aquarium for the ornamental fishes or ornamental ponds clean over a long period. 観賞魚用水槽や観賞池のろ過装置内の魚糞、餌の食べ残し、ゴミなどの異物の腐敗と有害細菌の発生を抑制し、水の汚れと、病原菌による魚の病気の防止と、観賞魚用水槽や観賞池の水を長期間きれいに保つことである。 - 特許庁
The cleansing sheet package article 2 of a care set 1 is provided with a cleansing sheet 21 impregnated with a liquid cleansing agent and brought into contact with the skin of a user to clean the skin of the user and a cleansing sheet package body 22 for housing the cleansing sheet 21 while being shielded from outside air. ケアセット1の洗浄シート包装物品2は、液状の洗浄剤が含浸されるとともに使用者の皮膚に接触して使用者の皮膚を洗浄する洗浄シート21、および、洗浄シート21を外気から遮断しつつ収容する洗浄シート包装体22を備える。 - 特許庁
The clock disk 41 which obtains the clock signal at the time of writing the servo signal in a flexible disk 21 and a cover 45 which covers a timing detecting means 4 by the clock head 42 are installed, clean air passing through a rotating means 3 is sent within the cover 45, and adhesion of the dirt on the clock disk 41 is prevented. フレキシブルディスク21にサーボ信号を書き込む際のクロック信号を得るクロックディスク41とクロックヘッド42によるタイミング検出手段4を覆うカバー45を設置し、カバー45内に回転駆動手段3を経たクリーンエアを送給し、クロックディスク41への塵埃の付着を阻止する。 - 特許庁
To make it possible to visually confirm whether the wiping out face of the wiping out member received in the receiving portion of a case is a stained face with sticking oily ink waste or a clean face from outside to prevent characters and figures drawn on a whiteboard from not being erased due to the stain of the wiping out face while erasing the same. ホワイトボードに書き込まれた文字や図形を消去中に、払拭面の汚れによる消去ができなくなるのを防ぐために、ケースの収容部に収容された払拭部材の払拭面が、油性インク滓が付着して汚れた面か清浄な面かを外部より視認できるようにする。 - 特許庁
To provide a coater allowing easy and clean separation of the handle and the coloring material holding section and wide use of the separated handle for a variety of coloring material holding sections and a coater set which allows a wide variety of application by combining the handle for the coater and a coloring material holding section. 柄部と着色材保持部を容易にきれいに剥がすことができ、剥がした柄部を多くの着色材保持部に使用することができる塗布具、および塗布具用柄部と着色材保持部を組み合わせて多様に使用することができる塗布具セットを提供する。 - 特許庁
To provide a door assembly with an improved structure, which can efficiently prevent the leakage of electron waves irradiated to a cooking chamber of a microwave oven to the outside and has the same optimum shield frequency irrespective of incident angles of microwaves, and, in addition, is easy to clean. 電子レンジの調理室に照射される電子波が外部に漏洩することを効果的に防止できると共に、マイクロ波の入射角に関係なく同一の最適遮蔽周波数を有するだけでなく、ドアの掃除がしやすい、改善された構造のドアアセンブリを提供すること。 - 特許庁
The ionizer 2 is constituted so that an ionizing source 22 is received in a tubular chamber 21 and air or non-reactive gas is supplied into the chamber 21 through a clean air supplying port 23 provided at one end of the chamber 21, while ionized air can be blown out of a blow-out port 24 provided at the other end of the chamber 21. イオナイザー2は、筒状のチャンバ21内にイオン化源22を収納し、チャンバ21の一端に設けたクリーンエア供給口23から空気又は非反応性ガスをチャンバ21内に供給し、他端に設けた吹出口24からイオン化エアを吹き出すことができるように構成する。 - 特許庁
To provide a polypropylene film which is suitably used in a field needing a clean packaging material, a container, etc., for food, medical treatment, an electronic material, or the like, suppresses the elution or the migration of odors, additives, and degraded substances and the occurrence of a fish eye, and is excellent in heat sealability and its production method. 食品、医療、電子材料などのクリーンな包装材、容器等が要求される分野において好適に使用される臭気および添加物や劣化物の溶出や移行性の少なく、かつフィッシュアイの少ないヒートシール性に優れたポリプロピレン系フィルムおよびその製造方法。 - 特許庁
This air conditioner has a main air current blowoff port for blowing off conditioning air as the main air current into a room; an auxiliary air current blowoff port 3 for blowing off the auxiliary air current such as ventilating supply air, clean air and circulating air; and a display device 4 for displaying an operating state. 本発明の空気調和機は、調和空気を主気流として室内に吹出すための主気流吹出し口と、換気給気、清浄空気、循環用空気などの副気流を室内に吹出すための副気流吹出し口3と、運転状態を表示する表示装置4とを有する。 - 特許庁
To provide a conductive rolling bearing with low dust generation which is suitable for a conductive rolling bearing for a clean room used for a semiconductor manufacturing facility or for forming a film in a liquid crystal manufacturing process and stable in conductivity either in the atmospheric pressure or vacuum all the time. 半導体製造設備や液晶製造工程の成膜時に使用される清浄室内用導電性転がり軸受に適用であり、大気圧および真空下の何れでも導電性が常に安定して良好であり、しかも低発塵性の導電性転がり軸受にすることである。 - 特許庁
When recording sheet for image formation is retained in the fixing device, a recording sheet to clean the surface of a fixing roll 1 or a press roll 2 is fed between the fixing roll 1 and the press roll 2 by a transporting mechanism 5 after the recording sheet is removed from the fixing device. 画像形成のための記録シートが定着装置内で滞留した場合、該記録シートが該定着装置から除去された後に、定着ローラ1又は加圧ローラ2の表面を清掃するための記録シートを定着ローラ1と加圧ローラ2との間に搬送機構5が供給するよう構成する。 - 特許庁
To timely change the position of an opening provided in a separator for separating the interior of an operating room into a clean field and an unclean field according to a patient or layout of devices in the interior of the operating room; to easily execute sterilization treatment or the like of the separator. 手術室内を清潔野と不潔野とに分離する分離板に設けられる開口の位置を、手術室内の患者や機器類の配置などに応じて適宜変更できるようにするとともに、その分離板の滅菌処理なども容易に行うことができるようにする。 - 特許庁
To provide a cleaning method of a semiconductor substrate which is capable of cleaning the semiconductor substrate in the optimum clean state, while improving the cleaning efficiency of the semiconductor substrate in spite of the number of semiconductor substrates to be cleaned and the kind, concentration or the like of chemical solution employed for the cleaning. 洗浄すべき半導体基板の枚数や洗浄に用いられる薬液の種類および濃度等に拘らず、半導体基板の洗浄効率を向上させつつ半導体基板を適正な清浄な状態に洗浄できる半導体基板の洗浄方法を提供する。 - 特許庁
The elevator car 1 includes a cage 10 having a car floor 23, and a wheel chair cleaning device 11 which is installed on the car floor 23 to clean the wheels of a wheel chair of the wheel chair user after the user gets on the cage 10 and before the cage is arrived at a destination floor and the user gets off the cage. エレベータかご1は、かご床23を有するかご室10と、かご床23の上に設置され、車椅子利用者がかご室10に乗り込んでから目的階に到着して降りるまでの間に車椅子利用者の車椅子の車輪を清掃する車椅子清掃装置11とを備える。 - 特許庁
To obtain a method for cleaning a substrate, a cleaner and dryer, and a semiconductor wafer in which characteristics and the yield of a semiconductor device can be enhanced by controlling the adhesion of metallic impurities, particles or impurities in pure water to the surface of an article being cleaned thereby ensuring cleancleaning. 被洗浄物表面に金属不純物やパーティクルあるいは純水中の不純物が付着するのを抑制し、清浄な洗浄を行うことで、半導体装置の特性や歩留りを向上できる基板洗浄方法および洗浄乾燥装置並びに半導体ウエハを得る。 - 特許庁