「Cleanness」を含む例文一覧(302)
＜前へ 1 2 3 4 5 6 7 次へ＞- To realize a clean room, a local cleaning system, its use method and a clean room security system, capable of easily constructing a local clean area having necessary cleanness in a necessary area of a clean room in a short time.
クリーンルーム内の必要な領域に必要なクリーン度を有する局所的なクリーン化領域を簡便に短時間で構築することができるクリーンルーム、局所クリーン化システム、その使用方法及びクリーンルームセキュリティシステムを実現することができるようにする。 - 特許庁 - A vertical-directional upper side of the patient is opened by moving only the upper detector 2a, the operation is allowed thereby without moving the patient, not only cleanness is thereby secured easily, but also the operation time is shortened thereby.
上側検出装置２ａのみが移動することで、患者４の鉛直方向上側が開放されるため、患者を移動させることなく手術が可能となり、清潔の確保が容易となるだけでなく、手術時間の短縮が可能となる。 - 特許庁 - To provide an optical measuring method capable of reducing the accumulation of a contaminant substance in a measuring cell caused by a sample, to the utmost, and capable of maintaining cleanness for keeping long-time optical measurement, and the optical measuring cell used for the measuring method.
試料による測定セル内の汚染物質の蓄積をできるだけ少なくし、長時間の光学測定に耐え得る清浄性を保つことができる光学測定方法及び同測定方法に用いられる光学測定セルを提供すること。 - 特許庁 - To provide a method for easily manufacturing a fluorine-containing resin independent thin film which is homogeneous in engineering, un-scratched and un-stretched on a surface and excellent in cleanness as well as transparency, without passing through the process such as a water-steeping separation at separating a film from a substrate.
工学的に均質で、表面に傷や伸びなく、清浄且つ透明性に優れた含フッ素樹脂独立薄膜を、基体からの膜の剥離に際して水浸漬剥離工程等を経ることなく簡易に製造する方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a tool for squeezing out the content of a flat bag to use the content by a safe and simple procedure from opening to squeezing out while easily maintaining hygienic cleanness without the risk of causing a burn by heat and also without waste regardless of whether the amount of the content is large or small.
扁平状袋の内容物を使用するにあたり、開封から絞出しまでを、熱さからの火傷などの危険がなく、安全簡単で容易に衛生的で綺麗に内容物の大小にかかわらず無駄なく出来ることとする。 - 特許庁 - To maintain improved appearance and cleanness by suppressing the deposition of rubbish or the like at the step between the surface of a touch panel at a display part and that of a body case when a liquid display and the touch panel are used for the display part.
表示部に液晶表示器とタッチパネルとを用いた電子秤において、上記表示部におけるタッチパネルの表面と本体ケースの表面との間の段差へのごみ等の堆積を抑制し、良好な美観と清潔さとが維持されるようにする。 - 特許庁 - To provide a fluid feeding device which keeps high cleanness of a fluid without stopping feeding the fluid such as a liquid even if miniaturized, and also to provide cleaning equipment, and cleaning method using the fluid.
装置が小型であっても、液体などの流体の供給を止めることなく、流体の清浄度を高く保つことができる流体供給装置、その流体を用いた洗浄装置および洗浄方法を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide a gasoline composition improving the octane number of gasoline and improving cleanness and operability of a suction valve without increasing aromatics causing problems about environmental protection and deposits on the suction valve in the gasoline.
ガソリン中の、環境保全上や吸気バルブへのデポジットに関し問題のある芳香族分を増加させることなく、ガソリンのオクタン価を向上させると共に、吸気バルブの清浄性、運転性を向上させたガソリン組成物を提供すること。 - 特許庁 - To provide a clean room which uniformly controls the degree of cleanness and temperature distribution even when, in a wide clean room, distribution of dusting and heat generation occurs and the distribution is fluctuated, and in which an amount of circulation air by a small air-conditioner is enough.
広いクリーンルーム内で、発塵、発熱の分布があったり、その分布が変動したりしても、清浄度、温度分布を均一に制御することが可能で、小型空調機による循環風量で足りるクリーンルームを提供することを課題とする。 - 特許庁 - To provide a heater structure capable of securing the degree of cleanness in furnace environment required for drying and firing a large sized substrate such as a glass substrate used for PDP, preventing a heat leak out of the furnace and the entry of dust, and contributing to simplification of maintenance.
ＰＤＰに使用されるガラス基板のような大型の基板の乾燥、焼成に要求される炉内環境のクリーン度を確保しつつ、炉内からの熱リークやダストの侵入を防止し、メンテナンスの簡便化にも寄与することができるヒータ構造を提供する。 - 特許庁 - To provide a power supply system to a carrier dolly in a clean room, preventing scattering of dust to the outside of a power-supply cover and the inside of the clean room, and holding a degree of cleanness in the clean room, in a contact type power supply system advantageous for a miniaturization and a lightening.
小型化、軽量化に有利な接触式給電システムにおいて、発塵の給電カバー外及びクリーンルーム内への飛散を防止し、クリーンルーム内のクリーン度を保持するようにしたクリーンルーム内搬送台車への給電システムを提供すること。 - 特許庁 - An Si surface containing metal impurities beneath the surface is hydrogenized by the vapor-or liquid-phase method to deposit the metal impurities on the Si surface, and the metal impurities are removed to make a high- cleanness Si surface and planarize it at the atomic level.
金属不純物を表面下に含有するＳｉ表面を、気相法または液相法により水素化し金属不純物をＳｉ表面上へ析出させ、この金属不純物を除去することによりＳｉ表面を高純度化し、原子レベルで平坦化する。 - 特許庁 - By putting the inside of the housing into a wet condition, this CMP treatment system can prevent dehydration, solidification of residual slurry and drying out of the abrasive cloth and the cleaning apparatus, improve cleanness, and reduce consumption of purified water due to the reduction or the elimination of a dummy dispense.
このように筐体内を湿潤雰囲気にすることによって、残留スラリの乾燥固化及び研磨布及び洗浄装置の乾燥を防止し、クリーン度のアップ及びダミーディスペンス量低減あるいは廃止による純水使用量削減を実現する。 - 特許庁 - To provide an ethylene-α-olefin copolymer for film which is an ethylene-α-olefin copolymer excellent in moldability such as extrusion load and take-up nature, and is suited for producing a film excellent in mechanical strength and appearance and, further, excellent in cleanness.
押出負荷、引取性といった成形加工性に優れるエチレン−α−オレフィン共重合体であって、かつ、機械的強度、外観に優れ、さらに清浄性にも優れるフィルムを製造するために適したフィルム用エチレン−α−オレフィン共重合体を提供する。 - 特許庁 - To provide a technique for maintaining the degree of cleanness in a substrate and leading to an improvement during throughput during a process for efficiently removing catalyst elements after obtaining a semiconductor film having a crystal structure by using the catalyst element for promoting crystallization.
結晶化を助長する触媒元素を用いて結晶構造を有する半導体膜を得たのち、当該触媒元素を効率よく除去する工程において、基板の清浄度を保ち、かつ、スループット向上につながる技術を提供することを課題とする。 - 特許庁 - To provide a dialytic system in which the dialytic system can be automatically sterilized as a whole with a compact system, and to provide a cleanness maintenance method for the dialytic system in which contamination due to bacteria or endotoxin inside piping is extremely reduced when dialytic treatment is not implemented yet.
コンパクトなシステムで透析システム全体の自動消毒を簡単に行うことができる透析システムを提供すること、また、透析治療未実施時の配管内の細菌やエンドトキシン汚染が極めて少ない透析システムの清浄度維持方法を提供すること。 - 特許庁 - To provide an indoor unit of an air conditioner comprising a means for automatically removing dust from air filters, reducing man-hours for cleaning, and keeping cleanness for a long period of time by constantly performing air filter cleaning operation in a normal state.
本発明は、自動的にエアフィルタから塵埃を除去する手段を備えて、掃除手間の軽減化をなすとともに、エアフィルタ掃除の動作を常に正常状態で行い長期間にわたって清潔に保つことができる空気調和機の室内機を提供する。 - 特許庁 - To provide an air conditioner, reduced in the required number of luminous bodies thereby permitting to reduce the number of parts upon indicating the state of cleanness in a living room, reduced in a labor for manufacturing and assembling while equipped with an indication unit reduced effect on a cost.
居室の清浄度状況を表示するにあたって、発光体の必要本数が少なくてすみ部品点数の低減を得るとともに、製作組み立てに手間がかからず、コストへの影響が少なくてすむ表示部を備えた空気調和機を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for continuously casting a high-cleanness steel by which the flow-out of slag from a ladle to a tundish is prevented without arranging a stopper and the like in the ladle, while planning an improvement in a yield by effectively adjusting a molten steel quantity remaining in the ladle.
取鍋内に残る溶鋼量を効率よく調節して歩留まりの向上を図りつつ取鍋内にストッパーなどを配置することなく取鍋からタンディッシュへのスラグ流出を防止して清浄度の高い鋼を連続鋳造する方法を提供する。 - 特許庁 - A processor disposed in a chamber held at a high internal cleanness uses wiring members (13, 14, 17, 18, 30, 40, 60, 70) at least surface layers of which are made of a material with little out gases (fluoro-resin, polyimide, polyolefin, etc.).
内部のクリーン度が高度に維持されたチャンバ（１０）内に配置された処理装置に用いられる配線部材（１３、１４、１７、１８、３０、４０、６０、７０）の少なくとも表層部が、アウトガスの少ない材料（フッ素系樹脂、ポリイミド、ポリオレフィンなど）で形成されている。 - 特許庁 - These 43 materials are classified by qualities of perfumes of cleanness and softness required for softening agent and these materials are combined and formulated to provide the perfume composition for softening agents having high retention of perfume, surely retaining the perfume after washing and excellent in quality of perfume.
さらにその４３素材を、清潔感とやわらかさという柔軟剤に求められる香りの質で分類し、それぞれ組み合わせて配合することで、確実に洗濯後まで香りの持続し且つ香りの質の優れた、高残香性柔軟剤用香料組成物を提供することが可能となった。 - 特許庁 - It is possible thereby to incline and convey the case (10) even in a passage in which both the height and width directions are restricted, and to store and convey the glass substrate without damage of the substrate while ensuring cleanness of the large-sized glass substrate (11) stored in the case (10).
これにより、高さおよび幅方向どちらも制限された通路でもケース（１０）を傾斜させて搬送することが可能となり、ケース（１０）内に収納された大型ガラス基板（１１）の清浄性を確保しつつ基板の損傷無く保管および輸送することが可能となる。 - 特許庁 - To provide a hand dryer capable of improving cleanness inside a drying chamber by blowing high speed air flow in the same direction, thereby preventing the collision of the high speed air flow inside the drying chamber, reducing splashing water, and efficiently discharging moisture stuck to hands.
高速空気流を同一方向に送風することで乾燥室内の高速空気流のぶつかりを防止して跳ね返り水を低減し、手に付着した水分を効率的に排水可能にすることで、乾燥室内の清潔性の向上を図ることができる手乾燥装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a device capable of maintaining high cleanness by washing the end surface of the material to be washed in a non-contact state, capable of avoiding the complication, scale increase and cost rise of the device and capable of attaining saving of washing liq.
被洗浄物の端面を非接触で洗浄して高清浄度で維持することができ、装置の複雑化、大型化及び高コスト化を回避し、かつ洗浄液の省液化を達成することができる基板端面用超音波励振装置及び基板端面用超音波洗浄装置を提供すること。 - 特許庁 - To provide a mouth guard resin composition having excellent impact absorption characteristics, low conglutination, handling properties, cleanness, and durability (tear resistance) and capable of obtaining a mouth guard which is thinner than the conventional one and has a good feeling of mounting, and a mouth guard sheet and a mouth guard which are composed of the resin composition.
衝撃吸収性、低膠着性、取扱い性、清潔性、耐久性（耐引裂性）に優れ、従来のものよりも薄く装着感の良いマウスガードが得られるマウスガード用樹脂組成物、並びに該樹脂組成物からなるマウスガード用シートおよびマウスガードを提供すること。 - 特許庁 - The local clean area 20 having the necessary cleanness can be formed in an arbitrary area in the clean room, by a conveying rail 5 arranged in a lattice-like pattern in the clean room, and a self-propelled fan filter unit 8 capable of being freely moved along the conveying rail 6.
クリーンルーム内に格子状に配置された搬送用レール６と、搬送用レール６に沿って自由に移動させることができる自走式ファンフィルタユニット８とにより、クリーンルーム内の任意の領域に必要なクリーン度を有する局所クリーン化領域２０を形成することができる。 - 特許庁 - To provide a movable bathtub unit for attended bathing in which the bathtub unit is miniaturized and made lightweight, work for supporting bathing of a disabled person is improved, operation convenience is improved and maintenance in the cleanness of the bathtub unit and a bathing supporting means can be effectively performed as well.
浴槽装置を小型軽量化し、身体不自由者の入浴介助作業の改善、使い勝手を向上させ、浴槽装置、入浴介助手段等の清潔さの維持等をも効果的に行い得るようにした移動可能な介護入浴用浴槽装置を提供する。 - 特許庁 - A transparent moistureproof package having cleanness is constituted by providing a hot-melt resin layer comprsing at least a cyclic olefinic resin on a barrier base material which is obtained by forming a film layer comprising a metal or a metal compound on at least the single surface of a base material such as a polymeric film or the like.
高分子フィルム等の基材の少なくとも片面に、金属、金属化合物等の薄膜層を形成したバリアー性基材上に、少なくとも環状オレフィン系樹脂からなる熱溶融性樹脂層を有することを特徴とするクリーン性を有する透明防湿包装体である。 - 特許庁 - To provide an operation method of washing machines which can prevent moisture from remaining inside of a dehydration tub/washing-dehydration tub and a gap between the dehydration tub/washing-dehydration tub and an outer tub, and can prevent generation of mold and various germs there for maintaining cleanness for a long period of time.
脱水終了後、脱水槽や洗濯兼脱水槽の内部や、脱水槽や洗濯兼脱水槽と外槽との隙間に湿気が残留することを防止し、ここにカビや雑菌が発生することを防ぎ、長期間清潔に保持できる洗濯機の運転方法を得る。 - 特許庁 - A treatment apparatus having a hand part 51 for gripping or supporting the object X to be treated and treating the object X in a treatment chamber 2 in which a prescribed degree of cleanness is kept has a removal chamber 3 and a removal means for removing the foreign matters stuck to the hand part 51.
処理対象物Ｘを把持あるいは支持するハンド部５１を有しかつ上記処理対象物Ｘを所定のクリーン度を保った処理室２内で処理する処理装置であって、上記ハンド部５１に付着した異物を除去する除去室３及び除去手段を有する。 - 特許庁 - To prevent falling off of dead bodies of insect pests or dirt, during use of a pressure- sensitive adhesive insect capturing tool or during operation to exchange a pressure-sensitive adhesive sheet for the insect capturing tool and improve facility, cleanness and safety of the operation to exchange the pressure-sensitive adhesive sheet.
粘着捕虫器及び捕虫器用粘着シートにおいて、捕虫器の使用中及び捕虫シートの交換作業時における害虫の死骸や埃等の脱落防止性の向上を図ると共に、捕虫シートの交換作業の容易性、清潔性、及び安全性の向上を図る。 - 特許庁 - A storage apparatus body 4 of the liftable storage apparatus is installed through legs 9 being a self-supported supporting means, whereby articles can be easily taken out of the body and put into the body, while apparatuses or furniture can be easily replaced or preserved so that cleanness and external appearances can be improved.
昇降収納装置の収納装置本体４を自立支持手段である脚部９等を介して設置することにより、物品の取り出しが簡単で下方に設置した機器や家具の入れ替えやメンテナンスが手軽に行え、清掃性および美観を向上させることができる。 - 特許庁 - An IC tag 4 is integrated with a container body 1 and/or a lid 2 in the process of molding a polyolefin resin composition, which has no additive and has at least 99% purity, into a container within a clean room whose air cleanness measured based on JIS B 9920 is the class 7 or below.
ＪＩＳ Ｂ ９９２０に基づいて測定される空気清浄度がクラス７以下のクリーンルーム内で、添加剤無添加で純度が少なくとも９９％のポリオレフィン系樹脂組成物を容器に成形加工する過程で、ＩＣタグ４を容器本体１または／および蓋２に一体化する。 - 特許庁 - To provide an air cleaning device capable of reducing the air cleaning load in a clean room by previously removing particles and chemical pollutants in the air and supplying the air high in cleanness to the clean room.
外気中の化学的汚染物質はクリーンルーム内のケミカルフィルタで除去するようにしているが、今後０．１８〜０．２０μｍの微細加工が主流になると、クリーンルーム内のケミカルフィルのみで化学的汚染物質を除去するだけでは十分でなく、ケミカルフィルタの負担が益々大きくなる。 - 特許庁 - To provide a dry washing method which improves the motion speed and cleanness of a dry washing medium to improve washing quality and washing efficiency and performs dry washing even to shape-complicated components without causing damages and unwashed parts, and also provide a dry washing device.
乾式洗浄媒体の運動速度及び清浄度を高めることにより洗浄品質及び洗浄効率を向上することが可能であると共に、複雑な形状の部品であっても傷付きや洗浄残しを発生することなく乾式洗浄を行うことが可能な乾式洗浄方法及び乾式洗浄装置を提供する。 - 特許庁 - When a billet is cast with an usage of a continuous casting equipment, an electromagnetic agitation in the casting die is performed, and a high viscosity powder, the viscosity of which is 3 poises or more, is used so that a steel material having a low powder entrainment and superior cleanness property is continuously cast.
連続鋳造設備を用いて鋳造するにあたり、鋳型内電磁攪拌を行い、且つ、粘性が３ｐｏｉｓｅ以上の高粘性パウダーを用いることによりパウダー巻き込みが少なく、かつ清浄性に優れた鋼材を製造することを特徴とする清浄性に優れた鋼の連続鋳造方法。 - 特許庁 - To provide a slip paper for glass, having good handleability, hardly causing staining of the glass and also having good dimensional stability when used as the slip paper for glass plates used as a substrate material for flat panel display which requires cleanness and flaw quality higher than those of a window glass plate for building and a window glass plate for vehicle.
建築用窓ガラス板や車両用窓ガラス板等に比べて高い清浄度や傷品位が要求されるフラットパネル・ディスプレイ用の基板材料用として用いられるガラス板用の合紙として、ハンドリング性が良く、ガラス汚染がなく、なおかつ寸法安定性の良いガラス合紙を提供することができる。 - 特許庁 - To provide a splash preventing toilet bowl easily applicable to a type of toilet bowl presently widely used and usable without paying special attention to maintaining the cleanness of a preventing means itself for preventing the splash of sewage and waste water which is the splash of urine and wash water in use of a Western style toilet bowl used both as a seat type and a standing type.
座式立式に兼用して使用される洋式便器の、使用時の用便および水洗水の飛沫である汚物汚水の周囲への飛散を、防止手段そのものの清潔保持に特に留意することなく使用でき、かつ現在普及している形式の便器にも容易に適用可能な飛散防止便器を提供する。 - 特許庁 - To provide a purge valve and a stocker that can decrease a loss of a clean gas at the utmost that is sent to each storage chamber for keeping the cleanness of a stocker's respective chambers and decrease storage costs as well for semiconductor wafers and the like, and can also prevent a nitrogen gas leaking or flowing into a clean room.
保管装置の各保管室のクリーン度を維持するために必要な各保管室へ流すクリーンガスのロスを極力低減させることにより半導体ウエハー等の保管コストをも低減し、またクリーンルーム内への窒素ガスの漏れ流入も極力抑えることができるパージバルブおよび保管装置をを提供する。 - 特許庁 - To provide an air conditioner capable of easily keeping cleanness and functions (cleaning, temperature increase, temperature decrease, ventilation, heat exchange and the like of air) by positively and more surely, easily and uniformly performing stable cleaning to a housing of the air conditioner including fin faces while reducing water leakage by using the smaller amount of water.
より少量の水を使って漏水量少なく、フィン面を含む空調機の筐体内に対してより積極的に、より確実に、より容易に、より均一な安定した洗浄を行えるようにし、清潔性の持続や機能（空気の清浄化、昇温、減温、換気、熱交換等）を容易に維持できる空調機を得る。 - 特許庁 - To provide a polyethylene resin composition which is used for extrusion laminates, has good molding processability, emits smoke in a reduced amount, when processed, has excellent heat resistance, excellent heat sealability, and further good cleanness, and is suitably used for uses such as container packaging materials for foods, drinks, medicines and the like, moisture-proof paper, and mold release paper.
成形加工性が良好で、加工時の発煙量が少なく、加えて、優れた耐熱性とヒートシール性を併せ持ち、さらにはクリーン性を兼ね備えた、食品用、飲料用、医薬用などの容器包装材、防湿紙、剥離紙等の用途に好適に用いられる押出しラミネート用ポリエチレン樹脂組成物を提供する。 - 特許庁 - To provide an ultrapure water distribution pipe for a clean room which is free from an eluted substance in ultrapure water to be distributed while having the smoothness of a pipe inner surface necessary to a piping material for ultrapure water and can maintain the cleanness of surroundings when connected to apparatuses installed in the clean room.
超純水用配管材として必要な管内面の平滑性を有しながら配送する超純水中への溶出物がなく、しかもクリーンルーム内に設置された装置類に接続されるケースの場合にも周りのクリーン度を維持出来るクリーンルーム用超純水配送管を提供することを目的とする。 - 特許庁 - The charnel box is prevented from making of dew condensation in the urn by stabilizing the change of temperature in a double wall air space formed by the circle and the corners of a rectangular outer box and the circular ceramic urn housed in it and eliminates the ominous impression of a white urn to realize laying of the ashes in a Buddhist altar room by its cleanness and gorgeousness.
本発明は角型外箱と中に入れる丸い陶器の骨壷の丸と角とで出来る二重壁空気空間で温度変化を安定させる事により骨壷内に結露水を発生させない開発と白い骨壷の不気味さを感じさせない納骨箱にして清潔と豪華さで家の仏間に仏間納骨を可能にした発明である。 - 特許庁 - To provide a method for sheltering a stacker crane in an automated warehouse, preventing deterioration of cleanness inside the automated warehouse when repairing failure of the stacker crane or performing periodic inspection of the stacker crane during its operation by sheltering it in a shelter zone, and continuing conveyance work etc. by operating an auxiliary stacker crane.
稼働中のスタッカクレーンが故障或いは定期点検する場合にも待避ゾーンで故障修理、点検などを行うようにして自動倉庫内のクリーン度を損なうことがないようにし、かつ予備のスタッカクレーンを稼働させて、継続して搬送作業等を行うようにした自動倉庫におけるスタッカクレーンの退避方法を提供すること。 - 特許庁 - To provide a method for treating a condensed water which is capable of retaining cleanness of the condensed water for a long term by controlling a polyelectrolyte component generated at the result of oxidative decomposition of a cation exchange resin and utilizing a crosslinked anion exchange resin having a structure excellent in removability of the generated polyelectrolyte in comparison with the conventional method for treating a condensed water.
従来の復水処理方法に比べて、カチオン交換樹脂の酸化分解の結果発生する高分子電解質成分をコントロールし、さらに発生した高分子電解質の除去性の優れた構造持つ架橋アニオン交換樹脂を利用することによって、復水の清浄さを長期間保つことが可能な復水処理方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a non-iron metal cleaning fluid composition suitable for cleaning such a material to be cleaned which is required for the cleanness with a high degree, as for example a magnetic disc substrate, a super precise metallic mirror, a liquid crystalline display substrate, a semiconductor substrate and so on, and besides on which surface a non-iron metal such as aluminum, copper and an alloy of these metals exists.
例えば磁気ディスク基板、超精密金属ミラー、液晶ディスプレイ基板、半導体基板等のように高度の清浄度が要求され、しかも、表面にアルミニウム、銅等の金属やこれらの金属の合金等の非鉄金属が存在する被洗浄物を洗浄するのに適した非鉄金属洗浄用洗浄液組成物を提供する。 - 特許庁 - To provide a coating agent which can form a cured coating whose surface becomes hydrophilic after exposed to outdoors for a certain period and develops stain resistance that any contaminants adhered to the surface of the coating can be easily washed with rain water to maintain cleanness, and which is particularly suitable as a coating for outdoor structure exterior material.
一定期間屋外に曝露されるとその表面が親水性を呈するようになり、塗膜表面に汚染物質が付着しても雨水で容易に洗い流されて、清浄性を保つという非汚染性を発現するとともに、耐久性にも優れた硬化塗膜を形成することができ、特に屋外構造物外装用塗料として好適な、コーティング剤を提供すること。 - 特許庁 - To simplify the manufacturing process of a semiconductor device having a Co silicide electrode and realize the reduction of an aspect ratio in a contact hole by permitting the control of thickness of a Co silicide film and a cap layer, while permitting to maintain cleanness by eliminating the generation of residue consisting of non-reacted Co upon forming the Co silicide film and removing easily Co oxide.
Ｃｏシリサイド電極をもつ半導体装置の製造プロセスを簡素化し、Ｃｏシリサイド膜及びキャップ層の厚さを制御可能とすることでコンタクトホールに於けるアスペクト比の減少を実現し、Ｃｏシリサイド膜を形成する際の未反応Ｃｏからなる残渣の発生を皆無にすると共にＣｏ酸化物を容易に除去して清浄を維持できるようにする。 - 特許庁 - To provide a filter for gas removal and a production method therefor with which an adverse influence is prevented from being exerted upon the cleanness of air on the downstream side of the filter for gas removal by dropping and diffusing gas removal particles contained in the filter for gas removal from the filter for gas removal by vibration or the like, in the filter for gas removal such as deodorizing filter or filter for chemical filter.
脱臭濾材やケミカルフィルタ用濾材等のガス除去用濾材に関し、振動等によってガス除去用濾材に含まれているガス除去粒子がガス除去用濾材より脱落し飛散して、ガス除去用濾材の下流側の空気の清浄度に悪影響を及ぼすことのないガス除去用濾材及びその製造方法を提供することを課題とする。 - 特許庁 - To provide a polishing apparatus, capable of efficiently carrying out a mirror finish processing that needs to be kept from becoming wetted, even while performing cleaning and cooling for maintaining cleanness by removing chips produced during grinding (polishing) processing from the periphery of a work even in polishing processing by a mechano-chemical grinding means and for cooling to prevent frictional heat from accumulating and overheating.
メカノケミカル研削手段による鏡面仕上げ加工であっても、研削（研磨）加工に伴って発生する切粉等をワークの周辺から除去して清浄に維持し、かつ摩擦熱が蓄積して過熱しないように冷却する洗浄冷却しながらも、水濡れを嫌う性質の鏡面仕上げ加工を効率良くできるようにした鏡面仕上げ装置を提供する。 - 特許庁
- 特許庁
- Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved.
