To provide a low cost manufacturing method of a semiconductor device which can restrain galvanic corrosion due to photoelectric effect generated in a cleaning process, after a metallic film has been formed inside the recess of an insulating film and form a highly reliable metallic film inside the recess of the insulating film. 絶縁膜の凹部内に金属膜を形成した後の洗浄工程において発生する光電効果による電解腐食を抑制し、絶縁膜の凹部内に信頼性の高い金属膜を形成することができる半導体装置の製造方法を、低コストで提供する。 - 特許庁
Thereby, the fatigue strength is improved due to delay of cracking generation, because an incubation time before the cracking generation caused by the roughened surface in a carburizing process is prolonged, as a result of increase in strength of the surface layer, remaining of compressive stress, and smoothing of the surface on the above component. それにより、前記部品の表面層の強度が上昇し、かつ圧縮応力が残留し、表面が平滑化されるため、浸炭処理過程での肌荒れなどに起因する亀裂の発生までの潜伏期間が長くなり、亀裂の発生が遅延して疲労強度が改善される。 - 特許庁
To provide a high heat resistant coloring composition for suppressing a change in chromaticity, deterioration in transmittance and deterioration in contrast due to a heating process, and to provide a photosensitive coloring resin composition, a sensitization liquid for forming coloring images, a method for manufacturing the coloring images, a method for manufacturing a color filter and the color filter. 加熱工程による色度の変化、透過率の低下、コントラストの低下の抑制された高耐熱性着色組成物、感光性着色樹脂組成物、着色画像形成用感光液、着色画像の製造法、カラーフィルタの製造法及びカラーフィルタを提供する。 - 特許庁
To provide a waterproofing and water-sealing sheet containing a ground fabric having a property of good elongation and a good appearance without emerging a bumpy surface and without reducing an adhesion strength of the sheet even if yarns of the ground fabric become undulated due to the shrinkage of a rubber in a vulcanization process of the rubber. ゴムの加硫工程においてゴムの収縮で基布を構成する糸に波打ちが発生したとしても、それがシートの表面に凹凸となって現れることがなく、外観が良好で接合力を損なうことなく、シートの伸び性能も良好な基布入り防水・遮水シートの提供する。 - 特許庁
To provide a developing device which can be reduced in size and simultaneously suppress image density irregularities due to the fact that recovery developer recovered from a developer carrier is scooped up onto the developer carrier and to provide a process cartridge provided with the same and an image forming apparatus. 装置の小型化を図るとともに、現像剤担持体から回収した回収現像剤が、現像剤担持体に汲み上げられることによって生じる画像濃度ムラを抑制できる現像装置、並びに、これを備えたプロセスカートリッジ及び画像形成装置を提供する。 - 特許庁
To solve a problem which has become important in material cost, man-hour, environmental load, and quality in a process to form the cathode layer of a solid-state catalyst electrolytic capacitor that the electrolytic polymerization liquid used for polymerization is wholly discarded and replaced if the amount of electricity for processing reaches a certain level due to the problem of electrical properties. 固体電解コンデンサの陰極層を形成する工程において、重合時に使用する電解重合液は電気特性の問題から処理電気量があるレベルに達すると全液廃棄交換しており、材料コスト、工数、環境負荷、品質で重要な課題となっている。 - 特許庁
To reduce differences in dimension due to difference in pattern density on the surface by using a mixed gas, in which reducing gas is added to reactive etching gas consisting of oxygen containing gas and halogen containing gas in dry etching process of a metal thin film. 微細なパターンを形成する手段としてのドライエッチングにおいて、面内のパターンの疎密の違いに起因する寸法差を小さくするドライエッチング方法、この方法を利用して得たフォトマスクおよびその作製方法、ならびにこのフォトマスクを用いて得た半導体回路およびその製作方法の開発。 - 特許庁
By preventing the generation of the multi-lead frame having partial omission, multi-lead frames having the same prerequisites for transfer molding can be supplied to a transfer molding process, preventing the occurrence of wire deformation, poor resin charge, etc. due to changes in resin velocity and flow rate. 目抜けのマルチリードフレームの発生を防止することにより、トランスファ成形に対して互いに同一の条件のマルチリードフレームをトランスファ成形工程に供給できるので、レジンの流速や流量の変化によるワイヤ流れ不良やレジン充填不良等が発生するのを防止できる。 - 特許庁
When prescribed access failure primary factors such as a failure of servo control and a failure in a clock signal reproducing process or the like are repeatedly generated in the retrial of an access in the vicinity of a prescribed range on an optical disk 20, it is judged that an access is failed due to the defects of the optical disk. アクセスの再試行において、サーボ制御の不良やクロック信号再生処理の不良など、所定のアクセス失敗要因が光ディスク20上の所定の近傍範囲で繰り返し発生する場合、光ディスクの欠陥によってアクセスに失敗したとの判定がなされる。 - 特許庁
A process managing part 110 manages a program to be debugged according to the set contents, and when the operating state is changed due to the detection of a break point, this is et in the executed state managing part 105, and the operation is changed corresponding to the change of the executed state notified from the other computer. プロセス管理部110が設定内容に応じてデバッグ対象プログラムを管理し、ブレークポイントの検出などで動作状態が変化したらこれを実行状態管理部105に設定すると共に、他の計算機から通知された実行状態の変更に対応して動作を変更する。 - 特許庁
To provide a method for removing minute defects in a thin film solar battery that eliminates a risk of characteristic deterioration due to damage to the solar cell surface, cuts the increasing cost and requires neither additional troubelsome process nor complex mechanism. 太陽電池セル表面を傷つけてその特性を低下させてしまう危険を伴わず、製造におけるコスト増大を招くことなく、工程の煩雑さを増加させることなく且つ複雑な機構を必要としない薄膜太陽電池内の微小欠陥部除去方法等を提供する。 - 特許庁
To grasp the whole ID in a process required for business, for the problem of having the possibility of being unable to acquire the whole at once by various factors due to radio-communication, when requiring to grasp and manage ID data for individually identifying an article. 物品を個体識別するIDデータを把握管理する必要がある場合に、無線通信であるが故の様々な要因で一度に全て取得できない可能性が残る、という課題に対して、業務的に必要なプロセス中にすべてのIDを把握することを実現する。 - 特許庁
To provide an image forming apparatus, with which the contamination due to deposition etc., of toner with lapse of time at an electrostatic charging roller is prevented, proper electrostatic charge performance is obtained and an image of high quality can be outputted, even if toner of small grain size and high circularlity is used, and to provide a process cartridge. 小粒径で円形度の高いトナーを用いても、帯電ローラの経時でのトナーの堆積等による汚れを防止し、良好な帯電性能が得られ、高品質の画像を出力することが可能な画像形成装置およびプロセスカートリッジを提供することを課題とする。 - 特許庁
To provide a packaging material for battery, which is equipped with protective physical properties of a battery body, as well as with electrolyte- resistance preventing discoloration due to adhesion of electrolytic solution on an exterior body surface and which has fine slide and productivity in an embossed molding process, as materials for battery package. 電池包装に用いる材料として、電池本体の保護物性とともに、外装体表面に電解液付着による変色を防止する耐電解質性を付与し、エンボス成形工程等において滑り良い生産性の良い電池用包装材料を提供する。 - 特許庁
To provide a ciphering process method and a system device which make it possible to avoide an unusable state due to inconsistency between cipher system identification information managed by a data processing center device and ciphered information stored on an information storage medium side even if a ciphering system is changed. 暗号方式を変更しても、データ処理センタ装置で管理する暗号方式識別情報と、情報記憶媒体側で記憶する暗号化情報との間での不整合による利用不能状態の回避を可能とする暗号処理方法及びシステム装置の提供。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a steel component, integral with a rubber part, in which there is no need of lathing work to remove the skin on the surface of the steel component formed by chemical conversion, and there is no deterioration of waterproof adhesion performance due to elimination of chemical conversion or rust-proof performance in a manufacturing process. ゴム部を一体に有する鉄鋼部品の製造方法において、化成処理による鉄鋼部品の表面の皮膜を旋削により除去する必要がなく、化成処理の廃止による耐水接着性や製造過程での防錆性の悪化を来すことのない方法を提供する。 - 特許庁
In a process of heating a substrate where a resist pattern is formed, a heat-treatment temperature is set again according to a result T obtained by measuring the temperature of a heat-treating apparatus so that the quantity of variation in pattern size due to a heat treatment reaches a desired value in the middle of the heat treatment. レジストパターンを形成した基板を加熱処理する工程において、加熱処理装置18の温度測定した結果Tに基づいて、加熱処理の途中で、加熱処理によるパターン寸法の変化量が所望の値となるように、加熱処理温度を再設定する。 - 特許庁
To provide a signal transmission line applicable sufficiently even to a use where even a slight loss is not allowable, e. g. the input stage of a receiver or a resonator requiring sharp resonance, by reducing transmission loss due to the resistance of a conductor, and to provide an electronic component employing it, and its manufacturing process. 導体抵抗による伝送損失を低減させ、受信機の入力段や、鋭い共振が必要な共振器など、僅かな損失も許容できない用途においても、十分に使用できる信号伝送線路、及び、それを用いた電子部品、更にはそのための製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide an electrophotographic photoreceptor having excellent durability, free of adverse effects on electrophotographic characteristics, suppressing a change of light-area potential due to repetitive use and having superior surface lubricity and to provide a process cartridge having the electrophotographic photoreceptor and an electrophotographic apparatus. 耐久性能にすぐれ、電子写真特性に弊害が生じず、かつ繰り返し使用による明部電位の変動を抑えられ、さらに、優れた表面潤滑性を有する電子写真感光体、該電子写真感光体を有するプロセスカートリッジおよび電子写真装置を提供することである。 - 特許庁
To provide an image-forming device, capable of stably outputting proper image by preventing the occurrence of image defects due to deterioration of parts constituting process equipments for colors being used less frequently, in an image-forming device which uses the developer of plural colors, including a black color. 本発明は、ブラック色を含む複数色の現像剤を使用する画像形成装置での使用頻度の低い色についてのプロセス機器を構成する部品の劣化等による画像不良の発生を防止し、良好な画像を安定して出力することができる画像形成装置を提供する。 - 特許庁
To provide an organic EL display device and its manufacturing method capable of preventing an organic EL element from deteriorating due to the infiltration of moisture from a flattened insulating film into an EL layer, causing no problems by forming of an inorganic insulating film at low temperature, and free from complexifying a manufacturing process. 平坦化絶縁膜からEL層への水分侵入による有機EL素子の劣化を防ぐことができ、無機絶縁膜を低温で成膜しても問題が生じず、製造工程が複雑とならない有機EL表示装置およびその製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method for producing sweet potato shochu (white distilled liquor) by using which the shochu having a sweet potato-like smell without generating strong defective smells such as bad smells due to spoiled sweet potato and frost damage, namely a wood-based smell, can be produced without passing through a process for storing dug out sweet potatoes. 芋イタミ臭、霜イタミ臭といった強度の欠点臭が発現する可能性が小さくて芋らしい香、すなわち木質系の香を有する焼酎を、掘り出した芋を貯蔵する工程を経ることなく、製造することのできる焼酎の製造方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a touch panel having high durability which is free from occurrence of deterioration of its antireflection characteristics due to deformation of appearance shape and retardation changes even if left under a high-temperature environment for a long time and which allows comfortable input operations to be done and yet which is successful in workability in an assembly process. 高温環境下に長時間放置しても外観形状の変形やリタデーション変化による反射防止特性の劣化が起こらず、且つ快適な入力操作を行え、しかも組立て時の作業性の良好な高耐久性を有するタッチパネルを提供する。 - 特許庁
In the vapor deposition process of the light-emitting layer, a radiation angle θ2 of point sources 31a, 31c on both sides is made wider to deposit than in the case of deposition of the carrier transport layer corresponding to a differential of displacement due to thermal expansion of the mask 20 and the substrate 10 occurring by deposition of the carrier transport layer. キャリア輸送層の蒸着によって発生するマスク20と基板10の熱膨張に伴う変位の差分に応じて、発光層の蒸着工程においては、両側のポイントソース31a、31cの放射角θ2をキャリア輸送層の蒸着時より広げて蒸着する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a semiconductor device which ensures the physical characteristic of a cured object of the semiconductor device equal to or higher than that of an underfill material of a prior art, does not result in connection failure due to eating into the filler, assures excellent reliability such as an electrical characteristic, and can shorten a manufacturing process. 半導体装置の硬化物の物理特性が従来のアンダーフィル材と同等以上であり、フィラーの噛み込みによる接続不良を起こさず、電気特性等の信頼性に優れ、製造工程を短縮化できる半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
This configuration makes amplitude between differential outputs of the two multiplication circuit equal when a frequency of an oscillation circuit changes in the frequency generation circuit or even when a delay amount caused by a delay circuit used in the two multiplication circuit changes due to process fluctuation even though the frequency is constant. この構成により、周波数発生回路において、発振回路の周波数が変化した場合、あるいは周波数が一定でもプロセス変動などによって2逓倍回路で用いた遅延回路による遅延量が変化した場合でも、2逓倍回路の差動出力間の振幅を等しくできる。 - 特許庁
In a movement process of the movable iron core 4 into a separated position when the electromagnetic relay 1 is turned off, a magnetic repulsive force against the residual magnetism of the movable iron core 4 is generated due to the generated magnetic field of the magnetic repulsive force generating coil 17, and a return action of the movable iron core 4 from the separated position is braked. 電磁リレー1のオフ時における可動鉄芯4の開離移動過程で、磁気反発力発生用コイル17の発生磁界により、可動鉄芯4の残留磁気に対する磁気反発力が発生し、可動鉄芯4の開離復帰動作を制動する。 - 特許庁
Due to this, even if wrong installation of the piping and the electrical system connection cable or the like related to the intake pressure sensors 22a, 22b is performed in the assembling process etc., stall of the internal combustion engine 1 after completion of stroke discrimination which is performed before the wrong installation is coped with can be prevented. このため、喩え組立工程等での吸気圧センサ22a,22bに関連する配管や電気系接続ケーブル等の組付間違えがあったとしても、この逆接に対処する以前の行程判別終了後における内燃機関1のストールを未然に防止することができる。 - 特許庁
To provide a process for producing a pressure-sensitive adhesive sheet which prevents the photopolymerization failure of a photopolymerizable composition due to monomer contamination in a light irradiation section, the lowering in the releasbility of a substrate, and the lowering in the cohesive force of a pressure-sensitive adhesive layer, and can render the releasing treatment of an optically transmitting film unnecessary. 光照射部のモノマー汚染による光重合性組成物層の光重合不良と、支持体の剥離性低下と、感圧性接着剤層の凝集力低下とを防止でき、光透過性フィルムの離型処理を不要にできる感圧性接着シートの製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a rust prevention cleaning process apparatus for a continuously variable transmission (CVT) belt, with which sufficient rustproofing effect is obtained due to spread of rust prevention oil to an attached surface of the CVT belt for a short period of time, and chlorides, such as sweat, adhering to the attached surface is readily flushed away. 無段変速機用ベルトの密着面に防錆油を短時間で行き渡らせて充分な防錆効果を得ることができ、また、当該密着面に付着した汗等の塩化物も容易に洗い流すことができる無段変速機用ベルトの防錆洗浄処理装置を提供する。 - 特許庁
To provide an ink-jet recording apparatus capable of efficiently collecting an ink remaining in a recovery mechanism to a pump mechanism and preventing leakage of an ink so as to prevent pollution of the apparatus even in the case an upper unit should be opened due to paper jamming process, or the like, and a recovery method for an ink-jet recording apparatus. 用紙ジャムの処理等で上部ユニットを開けなくてはならない場合でも、回復機構に残ったインクを効率よく、ポンプ機構に回収することができる、インク漏れを防ぎ、装置を汚すことのない、インクジェット記録装置およびインクジェット記録装置の回復方法を提供する。 - 特許庁
To obtain a polyester resin composition used for extrusion molding and injection molding which does not require a desiccation process that helps prevent a melt viscosity of the resin from decreasing caused by molecular weight reduction due to hydrolysis of the polyester resin. 本発明の課題は、押出成形および射出成形に用いられるポリエステル樹脂(組成物)において、ポリエステル樹脂が加水分解して低分子量化することによる該樹脂の溶融粘度の低下を防止するために行う脱水工程が不要であるポリエステル樹脂組成物を提供することにある。 - 特許庁
To provide a heat treatment method capable of securing a required thickness when a heat treatment is conducted to a metal hollow cylinder to form the body part of a hollow roll and an outer peripheral face is machined/ removed in a post-process for correcting an outer diameter difference due to strain generated by the heat treatment. 中空ロールの胴部を形成するための金属製の中空円筒に熱処理を施し、その際に生じた熱処理歪みによる外径差を修正すべく後工程で外周面を機械加工して除去しても必要な肉厚を確保しうる熱処理方法を提供する。 - 特許庁
To provide a mold with fine convexo-concave patterns where production can be achieved in a simple manufacturing process with a good repeatability, and both warpage and bending due to repetitive use can be handled, and to provide methods for manufacturing the mold, transcribing a convexo-concave pattern, and manufacturing a material with concaves. 簡略な作製プロセスにより再現性良く作製することができ、繰り返し使用による反りや曲りに対応することが可能となる微細な凹凸パターンを有するモールドとその製造方法、凹凸パターンの転写方法、凹部を有する部材の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a plasma display device so made to prevent bus electrodes from infiltrating into a discharge space by forming them in a narrower width in order to decrease a panel static capacity, and giving substantial margins for them in due consideration of errors in an alignment process. パネル静電容量を減少させるためにバス電極の幅を狭く形成し、位置合せ工程上の誤差を勘案して、前記バス電極のマージンを充分に設けて形成し、前記バス電極が放電空間の内部に侵入しないようにする、プラズマディスプレイ装置を提供する。 - 特許庁
To provide a side shooter ink jet recording head supplying ink from the side face of a substrate in which a high quality and a long lifetime are ensured without causing a scorch on the heater surface due to elution of Si from a chipping part to ink, and to provide its manufacturing process. 基板側面からのインク供給を行うサイドシューター型インクジェット記録ヘッド及びその製造方法において、チッピング部からインクへSiの溶出によるヒーター表面へのコゲを生じることなく、ユーザーに高品位で長寿命のヘッドを提供することを目的とする。 - 特許庁
To make a developer-carrying roller low in rigidity/low in resistance which has been difficult with conventional technologies, furthermore, to fulfill at the same time proper shape recovering properties and proper forming properties due for suppressing rise in the viscosity in the raw material stage, and to shorten the manufacturing process. 本発明では、従来技術では困難であった現像剤担持ローラーの低硬度化・低抵抗化、更には良好な形状回復性および原材料段階での粘度上昇抑制などによる良成形性を同時に満たし、且つ製造工程の短縮を可能にすることを目的とする。 - 特許庁
To provide a mold release film which does not come off due to the contact with guide rolls during the process, is durable and wear resistant against solvents and chemicals used in coating ceramic green sheets or pressure-sensitive adhesives and retains a stable adhesion to substrates for a long period of time. 工程中のガイドロールとの接触による離型膜の脱落がなく、セラミックグリーンシートや粘着材をコーティングする際の溶剤や薬品に対する離型膜の耐久・耐摩耗性を有して、長期にわたって基材との密着安定性を有した離型フィルムを提供することにある。 - 特許庁
To reduce breakdown voltage failure due to the entering of secondary coil winding into the gap between the collar of a bobbin and a barrier tape in the manufacturing method of a line transformer including a process for winding primary coil winding, the barrier tap for securing creepage distance, and secondary winding around the roll frame section of the bobbin made of an insulator. 絶縁体からなるボビンの巻枠部に一次巻線、沿面距離を確保するためのバリアテープ、二次巻線を巻き回す工程を含むライントランスの製造方法における、ボビンの鍔とバリアテープの間隙に二次巻線が入り込むことによる、耐圧不良を減少すること。 - 特許庁
This contributes to reducing the possibility that a mechanical strength is deteriorated due to the existence of incompletely oxidized cerium in the structure of the cerium oxide primary particles and/or secondary abrasive particles, thereby damaging the surface of a substrate during CMP process using the abrasive agent. これにより、酸化セリウム一次粒子の構造及び/または二次研磨粒子内の不完全に酸化されたセリウムの存在によってその機械的強度が低下し、それにより研磨剤を使用するCMP工程中に基板表面が損傷される可能性が低下する。 - 特許庁
A resulting spin valve sensor exhibits improvement of temperature stability principally attained through increase of GMR coefficient due to induced mirror face scattering of conduction electrons and protection of a fundamental detection layer against intefacial mixture or oxygen diffusion during annealing process. その結果生じたスピンバルブ・センサは、導通電子の誘起された鏡面散乱によると思われるGMR係数の増加、及びアニーリング・プロセス時の界面混合及び酸素拡散からの基礎的な検出層の保護によることを主にして得られる温度安定度の改良を示す。 - 特許庁
The independent private sector audit of the Conflict Minerals Report is specifically described in the Act as constituting a “critical component” of the registrant’s due diligence process, which commentators were concerned may suggest the auditor would perform work that would impair independence. 同法に、紛争鉱物報告書の独立した民間部門の監査は登録者のデュー・ディリジェンス・プロセスの「不可欠な要素」を構成すると明確に書かれており、これは監査人が独立性を損なう業務を行うことを示唆しているのではないかと意見提出者は懸念している。 - 経済産業省
We base our revised estimates of the effect that the final rule will have on the collection of information as a result of the required reasonable country of origin inquiry, due diligence process, and independent private sector audit of the Conflict Minerals Report primarily on information that we have obtained from comment letters. 我々は、主に意見書から得られた情報に基づき、合理的な原産国調査、デュー・ディリジェンスのプロセス、紛争鉱物報告書の独立した民間部門の監査が求められる結果として、最終規則が情報収集に対して及ぼす影響の見積もりを修正した。 - 経済産業省
In addition, for the "Rules on Review of Business Combination," the Japan Fair Trade Commission has reexamined its review process and review criteria on business combination regulations, taking into consideration the basic stance of the New Growth Strategy (June 2010) calling for "reviewing and reexamining, as necessary, business combination regulations, paying due attention to the global market." また、「企業結合審査規則」について、新成長戦略(2010年6月)における「グローバル市場にも配慮した企業結合規制等の検証と必要に応じた見直し」との方向性を踏まえ、企業結合規制に係る審査手続及び審査基準の見直しが行われた。 - 経済産業省
Japanese young people’s inability to find what they want to do is by no means due to their dependence or laziness. I feel that it is absolutely necessary for our society to allow them to fail. This may be the process of nurturing as mentioned earlier. やはり今日本の若者がやりたいことが見つからないというのは本人達が決して甘えていたりなまけているからではなくて、さっき育成っていいましたけど、若い人達はちゃんと失敗させてあげたりするということがこれからの社会本当に必要なんじゃないかという気がします。 - 厚生労働省
In the process of economic recovery after the financial crisis in the autumn of 2008, the Japanese economysuffered stagnation of production and declining of corporate profits, due to the Great East Japan Earthquake andthe continued strengthening of Japanese yen; after that, however, it has began to show a tendency of recovery onceagain, thanks to the reconstruction demand and various policy effects . 日本経済は2008年秋のリーマンショック以降の景気回復過程において、東日本大震災の発生やその後の円高の進行により生産の停滞や企業収益の悪化に見舞われていたが、その後は復興需要や各種政策効果により再び回復傾向をみせていた。 - 厚生労働省
To improve usability capable of automatically changing a brightness lower limit with an incidence state of outdoor light, such as daylight, reducing the adverse effects on feedback control due to the incidence of the outdoor light, and without requiring a troublesome setting process by a user in a lighting device. 照明装置において、昼光等の外光の入射状況に応じて自動的に明るさ下限値が変更され、外光の入射によるフィードバック制御への影響を低減でき、ユーザが煩わしい設定作業を行う必要がないようにし、使い勝手を向上させる。 - 特許庁
As a result, because of no need of using any aqueous alkaline solution, yield drop of the (meth)acrylic ester due to its removal through migration into an aqueous layer can be prevented, and furthermore waste treatment process can be simplified owing to reduction in the quantity of waste water, thus mitigating load on the environment. その結果、アルカリ水溶液を使用する必要がないため、生成した(メタ)アクリル酸エステルが水層へ移行して除去されることによる収率の低下を防止することができると共に、廃水量を減らすことにより、廃水処理工程を簡略化し、環境への負荷を低減できる。 - 特許庁
To improve reliability of a transistor constituted on a semiconductor substrate by relaxing a stress due to an insulating film to the silicide layer, which formed in an impurity range of a logic circuit, when the logic circuit is covered with the insulating films and protected in a manufacturing process of a semiconductor device. 半導体装置の製造工程において、ロジック回路を絶縁膜等で覆って保護する場合に、ロジック回路の不純物領域に形成したシリサイド層への絶縁膜による応力を緩和して、半導体基板上に構成されるトランジスタの信頼性を向上する。 - 特許庁
To reduce a distortion of a semiconductor substrate due to the change in the internal stress of a CVD oxide film into a compressive stress, during an annealing process in a semiconductor device that has a gate insulating film, made by laminating a thermally oxidated film and the CVD oxide film from the semiconductor substrate side. 半導体基板側から熱酸化膜、CVD酸化膜の2層を積層したゲート絶縁膜を有する半導体装置において、アニール処理時にCVD酸化膜の内部応力が圧縮応力に変化することによる半導体基板等の歪みを低減する。 - 特許庁