「Electron Microscope」を含む例文一覧(1821)
＜前へ 1 2 .... 25 26 27 28 29 30 31 32 33 .... 36 37 次へ＞- The sample holder 14 is equipped with a means, having a mechanism of inclination and rotation, in addition to the movement of the position of the sample or a means for altering the position of the lens barrel 1 of the scanning electron microscope and a reflected electron detector 12, to make the lens barrel 1 and the reflected electron detector 12 face the surface of the sample.
前記試料ホルダ１４は、試料位置の移動に加え傾斜と回転の機構を有するか、前記走査型電子顕微鏡の鏡筒１と反射電子検出器１２の位置を変更し、前記鏡筒１と反射電子検出器１２を前記試料表面に対向させるための手段を備える。 - 特許庁 - To provide a multistage and multiplex magnetic pole lens system, used in an energy analyzer for an electron microscope and an electron energy analyzer using the same, for simplifying the alignment of the center axes of a plurality of axially symmetrical lens systems to the track of a beam, as much as possible.
電子顕微鏡用のエネルギーアナライザーに用いる多段多重磁極子レンズ系及びそれを用いた電子エネルギー分析器において、複数の軸対称レンズ系の中心軸を、ビームの軌道に合わせる調整をできるだけ簡便にする。 - 特許庁 - In the scanning electron microscope 10, deflection images 21, 23 in which a voltage value or a current value of the deflection signals s4, s5 to deflect electron beams 13 is cut out as luminance is obtained simultaneously with an observation image from an image cut-out part 19.
走査型電子顕微鏡１０において、画像切出部１９より、電子線１３を偏向する偏向信号ｓ４，ｓ５の電圧値若しくは電流値を輝度として切り出した偏向画像２１，２３を、観察画像と同時に取得する。 - 特許庁 - To solve the problem, wherein when the resolution of a scanning electron microscope is monitored, preparation of a sample and employment of measurement algorithm capable of reducing the pattern dependence of resolution index value to be measured is required for accurately measuring the change in the size of electron beam.
走査電子顕微鏡の分解能をモニタする場合，計測する分解能指標値のパターン依存性を低減できるようなサンプルの準備と計測アルゴリズムの採用が，電子ビームサイズの変化を高精度に計測するために必要である。 - 特許庁 - After internationally charging electric charge at early stages on a sample surface such as a photograph mask, the scanning electron microscope image, is set as the base which obtains the image based on a signal of a secondary electron produced by scanning with a primary electronic beam on the charged sample surface.
フォトマスクのような試料表面に初期に意図的に電荷を帯電させた後で、帯電された試料表面を１次電子ビームでスキャンして生じる２次電子の信号を基とする画像を得る走査電子顕微鏡画像による。 - 特許庁 - In the scanning electron microscope wherein the condenser lens is formed by the permanent magnet as an embodiment of the invention, a mechanism capable of varying a distance between an electron source and an anode electrode is arranged.
上記目的を解決するために、本発明の一実施態様は、コンデンサレンズが永久磁石により構成されている走査電子顕微鏡において、電子源とアノード電極との間の距離を可変可能とする機構を設けたことを特徴とする。 - 特許庁 - To provide a zoom imaging lens used as a 2nd imaging lens of an infinite-distance correction type microscope system, specially, an electron image microscope system that is small-sized and has excellent optical performance, sufficient zoom power, and an object-side pupil position fixed in each power variation area.
小型で良好な光学性能と、十分なズーム倍率を有し、物体側の瞳位置が各変倍域で固定された無限遠補正型顕微鏡システム、特に電子画像顕微鏡システムの第２結像レンズに使用される、ズーム結像レンズを提供する。 - 特許庁 - This scanning electron microscope is equipped with a sample chamber 5 of the microscope and a sample processing chamber 10 via an airlock valve 9, and the sample disposed in the specimen processing chamber 10 is processed, then subjected to slanting and rotation drive, followed by the introduction of the processed sample into the sample chamber 5 of the microscope for observation.
走査電子顕微鏡であって、該走査電子顕微鏡の試料室５とエアロックバルブ９を介して試料加工室１０が設けられており、該試料加工室１０内に配置された試料を傾斜・回転駆動させて加工した後、加工された試料を走査電子顕微鏡の試料室５に導入して観察するように構成する。 - 特許庁 - This scanning electron microscope is so structured that an insulation member 5d is arranged between an inner magnetic pole 5a and an outer magnetic pole 5b; and the inner magnetic pole 5a and the outer magnetic pole 5b are electrically insulated from each other.
内側磁極５ａと外側磁極５ｂの間に絶縁部材５ｄが配置され、内側磁極５ａと外側磁極５ｂが電気的に絶縁される構造となっている。 - 特許庁 - To obtain a scanning electron microscope or a charged particle beam device having a function capable of easily managing the use state, e.g. the irradiation position of a microscale or the number of uses.
マイクロスケールの照射位置あるいは使用回数といった使用状態を簡便に管理できる機能を備えた走査電子顕微鏡あるいは荷電粒子線装置を実現する。 - 特許庁 - To provide a sample conveying mechanism capable of removing foreign bodies stuck on a sample during conveyance of the sample, and to provide a scanning electron microscope having the sample conveying mechanism.
本発明は、試料搬送中に、試料に付着した異物の除去を行う試料搬送機構、及び試料搬送機構を備えた走査電子顕微鏡の提供を目的とする。 - 特許庁 - With the sample platform for the scanning electron microscope, a method is adopted to drop, dry and fix slurries by setting a patterned indented surface at a position where the slurries are to be dropped.
走査電子顕微鏡の試料台において、懸濁液を滴下する位置の表面に凹凸形状を設けることにより、懸濁液をその上から滴下し乾燥，固定する手法を用いる。 - 特許庁 - To provide a transfer system of an electron microscope image capable of speeding up an update rate of the image even when there is change in capacity of a network line and the capacity is either small or large.
ネットワーク回線の容量の変化があり、容量が大きい場合でも小さい場合でも画像の更新レートを速くすることができる電子顕微鏡像の転送方式を実現する。 - 特許庁 - This is an automatic focusing method of a scanning electron microscope 10 which acquires an image signal and forms a test piece image based on secondary charged particle beams from a test piece irradiated with charged particle beams.
荷電粒子ビームが照射された試料からの２次荷粒子に基づいて画像信号を取得し試料像を形成する走査電子顕微鏡１０のオートフォーカス方法である。 - 特許庁 - To provide a mesh for a transmission electron microscope having a structure capable of preventing a sample from being lost by protecting the surface on the side holding a sample immediately after the sample is placed on it.
試料を載置した直後から試料を保持した側の面を保護して、試料の紛失などを防止することができる構造を有する透過電子顕微鏡用メッシュの提供。 - 特許庁 - To provide an aberration corrector capable of correcting chromatic aberration of an electronic optical system of a transmission type electron microscope by a comparatively simple and convenient system and capable of achieving high resolution observation.
比較的簡便な系で透過型電子顕微鏡の電子光学系の色収差補正を行うことができ、かつ高分解能観察を実現できる色収差補正装置を提供する。 - 特許庁 - A thin film phase plate is arranged so that it is placed at the rear focal plane of the lens or behind it, and in order to prevent electrification, it is irradiated with an electron beam in a large quantity prior to the use of the microscope.
薄膜位相板は、レンズ後焦点面またはその後方にくるように配置され、帯電を防止するために顕微鏡使用前に電子線を大量に照射する。 - 特許庁 - This sample producing device for the electron microscope 1 retains a liquid containing the sample at a temperature in which the sample is not frozen and the liquid is not brought into a supercooled state by a sample retaining part 5.
電子顕微鏡用試料作製装置１は、試料保持部５によって試料を含む液体を、試料が凍結せずかつ液体が過冷却状態となる温度に保持する。 - 特許庁 - In the cathode active material, the element A stays independently on the matrix particles without being doped in the matrix particles and can be recognized by a scanning electron microscope observation.
本発明の正極活物質は、元素Ａが母材粒子にドープされることなく、母材粒子の上に独立して配された形態を特徴としており、ＳＥＭ観察によって確認できる。 - 特許庁 - To provide a sample holder capable of obtaining a confocal dark field STEM image and a three-dimensional tomogram, and to provide a scanning transmission electron microscope.
試料が傾斜した状態で、共焦点暗視野STEM像、3次元断層像を得られる試料ホルダおよび走査型透過電子顕微鏡を提供することを提供することを課題とする。 - 特許庁 - The titanium dioxide has 1-3 ratio D_top/D_50 of the maximum particle diameter D_top to the average particle diameter D_50 when the primary particles thereof are observed by a field emission-type scanning electron microscope.
電界放射型走査電子顕微鏡で観察した一次粒子の最大粒子径Ｄ_topと平均粒子径Ｄ_50の比Ｄ_top／Ｄ_50が１以上３以下であることを特徴とする二酸化チタン。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope having excellent usability, and capable of certainly preventing contact between a sample to be observed and a structure in a sample chamber such as an objective lens.
観察試料と対物レンズ等の試料室内の構造物の接触を未然に、かつ確実に防止することが可能な、使い勝手の良い走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope with high precision and low damage, enabling identification of a frame in a defective section, or having high compression ratio of a stored image, or enabling extraction of systematic defects.
欠陥箇所のフレームが特定可能な、又は保存画像の圧縮率が高い、或いはシステマティックな欠陥を抽出可能な高精度で低ダメージの走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope capable of observing a large-sized test piece, and capable of reducing a waiting time when a small-sized test piece is observed.
大型試料も観察可能で、しかも小型試料の観察を行う場合にあっては、試料観察開始の待ち時間の短縮をはかることができる走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To prevent reduction of a resolution capacity of an image by limiting dispersed electrons in a small scanning electron microscope using a condensing lens which excludes an adjusting function such as axis aligning and intensity.
本発明は、軸合せや強度の調整機能を省いたコンデンサレンズを使用した小型の走査電子顕微鏡において、散乱電子を制限して画像の分解能の低下を防止する。 - 特許庁 - In the electron microscope device, at first a Fourier transformation image of a known period is obtained, and the relationship between the distance on the image and a pixel number is obtained, and this is made as the standard scale.
本発明の電子顕微鏡装置によると、先ず、周期が既知の物質のフーリエ変換像を求め、画像上の距離と画素数の関係を求め、標準スケールとする。 - 特許庁 - To provide a scanning magnetic microscope capable of accurately estimating crystal conditions or the like of a sample by irradiating a sample such as a semiconductor material with an electron beam while being scanned.
電子ビームを走査させながら半導体材料などの試料に照射させ、試料の結晶状況などの評価を精度良く行ない得る走査型磁気顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - When a sample stage is manually moved, a control device 6 stops the action of the point analysis, and starts the function of a scanning electron microscope to obtain a SEM image.
手動により試料ステージの移動を行おうとする場合、制御装置６は点分析の動作を停止し、走査電子顕微鏡の機能を起動してこのときのＳＥＭ像を得る。 - 特許庁 - A destaticizing mechanism provided on a scanning electron microscope is provided with a gas flow-rate control valve 18, connected to a gas cylinder, switching valve 17, corona discharger 19, gas inlet tube 15, and memory 20.
走査電子顕微鏡に備えられた除電機構は、ガスボンベに繋がったガス流量調整弁１８、開閉弁１７、コロナ放電器１９、ガス導入管１５及びメモリ２０を備える。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope (SEM) capable of shortening a time for length measuring inspection at a deficiency analysis time by a manual work or the like, and its image display method.
手作業による不具合解析時などにおける測長検査の時間短縮を図ることが可能な走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）およびその画像表示方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope can accurately measure a sample potential or a sample height, while preventing damages and the like by a charged-particle radiation.
本発明は、電子線照射によるダメージ等を抑制しつつ、試料の電位、或いは試料高さを正確に測定することが可能な走査電子顕微鏡を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide a remote control method and a remote control system for an electron microscope capable of moving a sample to an intended position even if an environment of network line is bad.
ネットワーク回線の環境が悪い場合でも、所望の位置に試料を移動させることができる電子顕微鏡の遠隔制御方法及び遠隔制御システムを実現する。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope capable of varying the magnitude of probe current in one using a condenser lens formed by a permanent magnet.
本発明は、永久磁石により構成されるコンデンサレンズを使用した走査電子顕微鏡において、プローブ電流の大きさを可変できる走査電子顕微鏡を提供することを目的とする。 - 特許庁 - Column diameter distribution (B) is obtained by measuring an average column diameter of the columnar crystal on the electron microscope photograph and showing it with relative frequency, and the distribution of average column diameters has two peaks.
柱径分布（Ｂ）は、電子顕微鏡写真上で柱状結晶の平均柱径を計測し、相対度数で示したもので、平均柱径の分布が、２つのピークを有している。 - 特許庁 - To provide a preparation method of a sample observed by a transmission electron microscope and reduced in the change in the vicinity of the surface of the original sample.
透過型電子顕微鏡で観察するための試料の作製方法に関し、元のサンプルの表面近くの変化が少ない透過型電子顕微鏡用の試料の作製方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an evaluation method of an optical fiber probe capable of measuring and evaluating the diameter of the leading end of a core by a simple constitution without using a scanning electron microscope.
走査型電子顕微鏡を用いることなく、簡易な構成によりコア先端の直径を測定、評価することのできる、光ファイバプローブの評価方法を提供すること。 - 特許庁 - Concretely, selecting any 20 particles from the images of electron microscope pictures that are used for measuring the average diameter of particles, the projected area of each particle was measured by an image analyzer.
具体的には、平均粒子径の測定に用いた電子顕微鏡写真の像から任意の20個の粒子を選び、それぞれの粒子について投影断面積を画像解析装置で測定した。 - 特許庁 - To provide a three-dimensional image building method capable of obtaining a three-dimensional image with better image quality than that of a conventional one and reflecting precisely a test piece structure, and a transmission electron microscope.
従来よりも像質が良く、試料構造を正確に反映した３次元像を得ることができる３次元像構築方法および透過電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To obtain a transmission electron microscope allowing easy interpretation of a dark-field image, capable of capturing a dynamic phenomenon occurring in a sample, and allowing observation of the dark-field image of a minute area.
透過型電子顕微鏡によって、暗視野像の解釈が容易で、試料で生じている動的現象を捉えることができ、且つ微小領域の暗視野像の観察を可能とする。 - 特許庁 - To provide a sample holder having large convenience by reducing a time until data acquisition becomes possible in the use of an electron microscope.
本発明は、電子顕微鏡の利用におけるデーター取得開始が可能になるまでの待ち時間を軽減させること可能で、大幅な利便を有する試料ホルダーを提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide a TEM (transmitance electron microscope) sample preparation method capable of preparing a sample changing the TEM observation direction, and improving the workability of the sample preparation.
この発明は、ＴＥＭ観察方向を変えた試料作製を可能にし、かつ試料作製における作業性を向上させたＴＥＭ試料作製方法を提供することを課題とする。 - 特許庁 - The fish-bone type carbonaceous microfiber body has a graphite crystal structure having a fish bone-like arrangement structure in the fiber axis direction in a transmission electron microscope (TEM) image.
グラファイトの結晶構造が透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）画像において、繊維軸方向に魚骨状配列構造を有したフィッシュボーン型炭素質微細繊維状体である。 - 特許庁 - To provide a recipe preparation apparatus and method for preparing a recipe for highly accurately measuring the dimension of an oblique or elongate pattern without using a scanning electron microscope.
本発明は、斜めや細長いパターンを高精度に寸法測定するレシピを、走査型電子顕微鏡を使用しないで作成するレシピ作成装置及び方法を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide an electron microscope capable of easily grasping parameters such as energy widths or resolution without measuring these parameters each time beam conditions change.
本発明は、ビーム条件が変化するごとにエネルギー幅や分解能等を測定することなく、これらのパラメータを容易に把握することが可能な電子顕微鏡の提供を目的とする。 - 特許庁 - To provide a transmission electron microscope observation sample forming method for a magnetic material which minimizes magnetic field turbulence, accompanying the sample shape and allowing observation and analysis with high precision.
試料形状に伴う磁場の乱れを最小限にし、より高い精度で観察や分析が可能な、磁性材料の透過電子顕微鏡観察用試料作製方法の提供。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope in which an image focused over the whole sample image is obtained, and in which the two-dimensional image can be acquired without blurring all over the image.
本発明の目的は、試料像の全体に亘って焦点が合った像を得ることにあり、全体に亘ってぼけのない２次元像を獲得できる走査電子顕微鏡の提供にある。 - 特許庁 - To provide an aberration correction device of a scanning transmission electron microscope, which can correct defocus and astigmatism during observation and can obtain atomic resolution; and to provide an aberration correction method thereof.
デフォーカス及び非点収差を観察中に補正可能で、且つ原子分解能が得られる走査型透過電子顕微鏡の収差補正装置及び収差補正方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope which efficiently performs the distance measurement on a plurality of measurement items at once, and which easily registers, verifies, and changes the parameters for the automatic distance measurement.
本発明は、一度に複数の測定項目の測長測定を効率よく行え、自動測長用のパラメータの登録、確認、変更を容易にできる走査形電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a device enabling operation and observation of a gas under a vacuum or low pressure environment forming an environment for observing the gas, without changing the original design of an electron microscope.
電子顕微鏡の本来の設計を変えずに、気体観察の環境を形成する真空または低圧環境下で気体の操作及び観察を可能にする装置を提供する。 - 特許庁 - To provide an electron microscope capable of carrying out observation with respect to an arbitrary sample (including a raw biological sample such as a living cell) in an atmospheric-pressure condition without needing pretreatment at all.
任意の試料（生細胞など生の生物試料を含む）に対して、前処理を全く必要とせず、大気圧の状態で観察を行うことができる電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁
