「Microstructure」を含む例文一覧(960)
＜前へ 1 2 .... 8 9 10 11 12 13 14 15 16 .... 19 20 次へ＞- To provide a processing apparatus and a processing method for a substrate which can process the substrate having a microstructure on the surface with high reliability.
高い信頼性で、表面に微細構造を有する基板を加工可能な、基板の加工装置および加工方法を提供する。 - 特許庁 - To solve problems on specific surface area, etc., and to provide completely new fullerene microstructure bodies manufacturable by an easy method.
比表面積等の問題点を解決して、且つ簡便な方法で作製できる全く新規なフラーレン微細構造体を提供する。 - 特許庁 - To provide a process capable of forming a microstructure on aluminum metal or aluminum alloy with a simple and inexpensive method.
簡便かつ低コストな方法で、アルミニウム金属またはアルミニウム合金上に、微細構造を形成することが可能なプロセスを提供する。 - 特許庁 - Further, by the excessive amount of the distal end material filled in the intaglio, the shape such as height of the microstructure body can be controlled.
また、凹版に充填する先端材料の量の多寡により、微細構造体の高さなどの形状を制御することが出来る。 - 特許庁 - To provide a material, having a microstructure in which the pressure loss at feeding of a fluid to a microhole 6 is reduced.
微小孔６に流体を通す際の圧力損失を低減させた、微小構造を有した材料１を提供することである。 - 特許庁 - To manufacture a microstructure and an electric circuit included in a microelectromechanical device over the same insulating surface in the same step.
微小電気機械式装置が有する微小構造体と電気回路とを同一の絶縁表面上に同一工程を経て作製する。 - 特許庁 - Between a 1st microstructure 2 forming a convex type or a concave type cone shape arranged in a pitch shorter than a wavelength of a visible ray, there is formed a 2nd microstructure 3 which has the smaller bottom part (in case of a convex shape) or an opening part (in case of a concave type) and makes a similar convex shape or a concave shaped conical shape.
可視光線の波長より短いピッチで配列された凸型又は凹型の錐体状をなす第１の微細構造２の間に、これよりも小さい底部（凸型の場合）又は開口部（凹型）を有し、同様の凸型又は凹型錐体状をなす第２の微細構造３を形成する。 - 特許庁 - In a micromachining process using a sacrificial layer 103 to manufacture a microstructure floating over a substrate, the manufacturing method of a microstructure includes a step of laminating an anti-sticking film 101 removable by dry etching before or after the lamination of the sacrificial layer.
基板から浮上する微細構造物を製造するために犠牲層１０３を利用するマイクロマシニング工程において、上記犠牲層の積層前後に乾式エッチングにより除去可能な粘着防止膜１０１を積層する段階を含む微細構造物の製造方法が提供される。 - 特許庁 - To provide a microstructure element manufacturing device monolithically making a unique structure of easily securing the direction of selected regions, the accuracy of alignment, and reproducibility, alternately arranging quantum dots with changed characteristics in a proximate region, etc., and also to provide a microstructure element production method.
選択領域の方位、位置合わせの精度、再現性が確保し易く、特性を変えた量子ドットを近接領域に交互に配列させるなどの特異な構造をモノリシックに作ることができる微細構造素子製造装置及び微細構造素子生産方法を提供すること。 - 特許庁 - To provide a method of manufacturing a microstructure of a nitride semiconductor capable of forming the microstructure including a vacancy inside the semiconductor without greatly changing the size of a hole formed by precise control in an etching step of the semiconductor after performing a heat treatment process.
半導体のエッチング工程で精密に制御して形成した孔のサイズを、熱処理工程を施した後に大きく変動させることなく、半導体の内部に空孔を含む微細構造の形成が可能な窒化物半導体の微細構造の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a manufacture method of a microstructure in a process with a use of a thick photoresist film, which reduces an internal stress of the photoresist, easily removes the photoresist, and easily forms the microstructure having a complex configuration and a high aspect ratio.
厚膜フォトレジストを用いたプロセスにおいて、フォトレジストの内部応力を小さくすることができ、またフォトレジストの除去を容易に行うことができ、複雑な形状を有し、アスペクト比の高いマイクロ構造体を容易に形成することが可能なマイクロ構造体の作製方法を提供する。 - 特許庁 - The droplet holding tool 1 includes a hydrophilic layer 2 in which uneven microstructure parts 21 for improving hydrophilicity are formed on the surface 20, and a water-repellent layer 3 which is provided on the surface 20 side of this hydrophilic layer 2 and in which openings 31 exposing the uneven microstructure parts 21 are formed.
液滴保持ツール１は、親水性を高める凹凸微細構造部２１が表面２０に形成されている親水層２と、この親水層２の表面２０側に設けられ前記凹凸微細構造部２１を露出させている開口部３１が形成されている撥水層３とを備えている。 - 特許庁 - By performing negative feedback, to the drive signal, of a composition due to a remaining resonance response, which is obtained by performing twice time differentiation of an actual action signal of the microstructure changing every moment, a new drive signal is obtained and the microstructure is driven, thereby applying a brake to the remaining resonance response on a real-time basis.
さらに時々刻々変化する微小構造体の実動作信号を二回時間微分して得られる残留共振応答による成分を駆動信号に負帰還し新たな駆動信号とし微小構造体を駆動することにより残留共振応答にリアルタイムに制動をかける。 - 特許庁 - The method for manufacturing the microstructure comprises applying a front edge material on a flat plate and transferring the front edge material to a substrate.
本発明の微細構造体製造方法は、平版に先端材料を塗布し、該先端材料を基体へと転写させることを特徴とする。 - 特許庁 - To provide a method for controlling flow resistance of a droplet arranged on a surface of a nanostructure or a microstructure, and to provide a device for controlling the same.
ナノ構造またはマイクロ構造の表面上に配設される液滴の流れ抵抗が制御される方法および装置を提供すること。 - 特許庁 - To provide a structure and a manufacturing method which are suitable for microstructure of a nonvolatile semiconductor storage device of a floating gate type which has a split gate structure.
スプリットゲート構造を有するフローティングゲート型不揮発性半導体記憶装置の微細化に適した構造及び製造方法を提供する。 - 特許庁 - This microstructure display model is modeled by irradiating the inside of a transparent material 1 with a laser beam 2 and imparting optical damages to the inside of the transparent material 1.
透明物質１内にレーザ光２を照射し、該透明物質１内に光学的損傷を与えることにより造形されてなる。 - 特許庁 - In the microstructure body manufacturing method, a distal end material is filled in an intaglio and is transferred to a substrate.
本発明の微細構造体製造方法は、凹版に先端材料を充填し、該先端材料を基体へと転写させることを特徴とする。 - 特許庁 - The aged microstructure includes martensite and not more than about 10% reverse-transformed austenite and is useful for making turbine airfoils.
時効処理されたミクロ組織はマルテンサイト及び約１０％以下の逆変態オーステナイトを含み、タービン翼形部を製造するのに有用である。 - 特許庁 - To provide a composition for removing a residue such as a resist from a microstructure such as a semiconductor substrate.
本発明の課題は半導体基板等の微細構造体からレジストのような残留物を除去するための組成物を提供することにある。 - 特許庁 - To provide a cleaning method and a cleaning system which achieve shortening in treatment time, and to provide a method for manufacturing a microstructure.
本発明は、処理時間の短縮を図ることができる洗浄方法、洗浄システム、及び微細構造体の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To obtain a microstructure which can provide an anisotropic conductive member capable of minimizing poor wiring, and to provide a method of manufacturing the same.
配線不良を抑制することができる異方導電部材を提供することができる微細構造体およびその製造方法の提供。 - 特許庁 - To provide a splice junction part capable of preventing a remarkable loss between an optical fiber having microstructure and a conventional type optical fiber.
ミクロ構造を有する光ファイバと従来型の光ファイバとの間に著しい損失を伴うことのないスプライス接合部を提供する。 - 特許庁 - A forming method of a microstructure on the surface of the slider by this method and a manufacturing method of the slider are also provided.
また本発明は、上記方法にてスライダの表面に微構造を形成する方法、及びスライダの製造方法を提供することができる。 - 特許庁 - Further, normal etching processing using the tapered resist pattern 12c as a mask is carried out to manufacture a semiconductor device and a device in microstructure.
更に、このテーパー状のレジストパターン１２ｃをマスクとして、通常のエッチング処理を行って微細構造の半導体装置やデバイスを製造する。 - 特許庁 - OXIDE MICROSTRUCTURE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, COMPOSITE PIEZOELECTRIC MATERIAL, LAMINATED PIEZOELECTRIC VIBRATOR, ULTRASONIC PROBE, AND ULTRASONIC DIAGNOSTIC APPARATUS
微細酸化物構造体及びその製造方法、複合圧電材料、積層型圧電振動子、超音波探触子、並びに、超音波診断装置 - 特許庁 - To provide a microstructure having a wall part having the high aspect ratio, by finely forming a large number of recessed parts and wall parts having a desired dimension.
微細かつ所望の寸法を有する多数の凹部と壁部とが形成され、壁部が高アスペクト比を有する微細構造体を提供する。 - 特許庁 - MANUFACTURE METHOD OF MICROSTRUCTURE, MANUFACTURE METHOD OF OPTICAL LENS SUPPORT THEREWITH, MANUFACTURE METHOD OF FLARE DIAPHRAGM, AND LENS SUPPORT AND FLARE DIAPHRAGM
マイクロ構造体の作製方法、該作製方法によるレンズ支持具の作製方法とフレア絞りの作製方法、及びレンズ支持具とフレア絞り - 特許庁 - This microstructure comprises a wire 22 stretched at the upper part of the exposed face of a movable structural part 14 for preventing the excess movement of the movable part.
微小構造体は、可動構造部１４の露出した面の上部に張られ、当該可動部の過剰な動きを防止するワイヤ２２を備える。 - 特許庁 - METHOD FOR MACHINING MICROSTRUCTURE, METHOD FOR MACHINING ELECTRICAL OR OPTICAL ELEMENT, AND ELECTRICAL OR OPTICAL ELEMENT FORMED BY THAT MACHINING METHOD
微細構造の加工方法、電気的または光学的素子の加工方法及び該加工方法によって形成された電気的または光学的素子 - 特許庁 - The microstructure may include a lower electrode, an upper electrode, and a space between the lower electrode and the upper electrode.
前記微小構造体は、下部電極と、上部電極と、前記下部電極及び上部電極の間に空間部分とを有していてもよい。 - 特許庁 - The collision of the plume plasma PP1 and the plume plasma PP2 results in the production of the substance having the periodic microstructure (e.g. carbon nanotube).
そして、プルームプラズマＰＰ１とプルームプラズマＰＰ２の衝突により、周期的微細構造を有する物質（例えば、カーボンナノチューブ）が生成される。 - 特許庁 - The microstructure of the steel tubular members contains ≥50 vol.% ferrite, and the mean grain size thereof is ≥10 μm.
また、鋼管部材のミクロ組織が体積率で５０％以上のフェライトを含み、平均結晶粒径が１０μｍ以上であることを特徴とする。 - 特許庁 - The first homogeneous layer 56 and the microstructure phase layer 58 are made of the same material, or the thickness of the first homogeneous layer is approximately 10 to 50 μm.
さらに、第１均質層５６の材料とマイクロ構造フェーズ層５８の材料が同じであるか、第１均質層５６の厚さは約１０〜５０μである。 - 特許庁 - To provide a method for cleaning fine particles adhered to a microstructure, using a supercritical fluid as the cleaning solvent.
超臨界流体を洗浄媒体として用いて、微小構造体に付着している微粒子を効率よく洗浄できる洗浄方法を提供する。 - 特許庁 - To manufacture an ink receptive substrate that both avoids the need for topcoating, and that avoids reliance on a voided microstructure, i.e., that is "inherently" inc receptive.
トップコーティングの必要も多孔質ミクロ構造への依存もなくするようなインク受容性の基材、すなわち「本質的に」インク受容性の基材を製造する。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing a metallic microstructure, which manufactures a structural body superior in mechanical strength, simplifies the manufacturing process, while reducing costs.
機械的強度に優れた構造体を製造でき、しかも製造工程の簡素化とコストの低減が可能な金属微細構造体の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a microstructure which has a high degree of regularization, and in which the center-to-center distance between micropores is wide and film thickness reaches ≥50 μm, and to provide a method for producing the same.
規則化度が高く、マイクロポアの中心間距離が大きく、膜厚が５０μｍ以上となる微細構造体、およびその製造方法の提供。 - 特許庁 - To provide a microstructure and a method of manufacturing the same, hardly causing unintended deformation while easily causing design displacement of a movable part.
可動部の設計変位を生じ易くしながら、意図しない変形は生じ難くすることが可能なマイクロ構造体及びその製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a specimen handling element with adhesiveness enhanced between a substrate and a sheet, the substrate for forming a microstructure used for handling a specimen.
試料の操作に用いられる微小構造を形成するための基板とシート部材との密着性を向上することが可能な試料操作素子を提供する。 - 特許庁 - To provide a method of manufacturing a curved microstructure, which does not reduce the efficiency of radiation absorption even using an X-ray source of a point light source.
点光源のＸ線源を用いても、Ｘ線吸収の効率を低下させることのない湾曲したマイクロ構造体の製造方法を提供する。 - 特許庁 - The microdevice is equipped with a device microstructure (38) and a vent channel (34) in a wafer (14) that is sandwiched between a substance (10) and a cap (16).
マイクロデバイスは、ウエハ（１４）内にデバイス微細構造体（３８）及び通気通路（３４）を備え、ウエハ（１４）は基材（１０）及びキャップ（１６）の間に挟まれている。 - 特許庁 - The fluorine-containing resin composition comprises at least a fluorine-containing compound and is used for forming the uneven microstructure of the optical article.
フッ素含有化合物を少なくとも含み、光学物品の微細凹凸構造を形成するのに用いられることを特徴とするフッ素含有樹脂組成物。 - 特許庁 - The high silicon stainless steel mainly consists of microstructure with the grain size of ≤ 15μm, and the breaking elongation thereof is ≥ 12%.
本発明の高ケイ素ステンレス鋼は、結晶粒の大きさが１５μｍ以下の微細組織を主体とし、破断伸びが１２％以上であることを特徴としている。 - 特許庁 - PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION FOR OPTICAL NANOIMPRINT LITHOGRAPHY, METHOD OF FORMING PATTERN USING THE SAME, MICROSTRUCTURE, AND METHOD OF REMOVING PHOTOCURED BODY
光ナノインプリントリソグラフィ用感光性樹脂組成物樹脂組成物、これを用いたパターン形成方法、微細構造体及び光硬化物の除去方法 - 特許庁 - To provide a pattern inspection apparatus for improving the inspection accuracy for inspecting a pattern, a pattern inspection method and a manufacturing method of a microstructure.
本発明は、パターン検査の検査精度を向上させることができるパターン検査装置、パターン検査方法、および微細構造体の製造方法を提供する。 - 特許庁 - The amine containing catalyst system is used for synthesizing a rubbery polymer, such as a polybutadiene rubber and a styrene-butadiene rubber, having a high trans microstructure.
本発明は、高トランス微細構造を有するポリブタジエンゴム及びスチレン−ブタジエンゴムのようなゴム状ポリマーを合成するためのアミン含有触媒系に関する。 - 特許庁 - Thus, the microstructure of target protein is simply analyzed by relatively simple equipment or reagents, without expensive equipment or skills.
したがって、高価装備や熟練技術なしに比較的に簡単な装備や試薬を有して簡単に標的タンパク質の微細構造を分析することができる。 - 特許庁 - To provide an etching method for performing stable etching treatment, a method for manufacturing a microstructure, and an etching apparatus.
本発明は、安定したエッチング処理を行うことができるエッチング処理方法、微細構造体の製造方法、およびエッチング処理装置を提供する。 - 特許庁 - A piezoelectric/electrostrictive ceramic sintered body has a microstructure in which a matrix phase and an additional material phase having different compositions coexist and the additional material phase is dispersed in the matrix phase.
圧電／電歪セラミックス焼結体は、組成が異なる母相と添加材相とが共存し母相の中に添加材相が分散した微構造を有する。 - 特許庁
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