「Pattern Defect」を含む例文一覧(1125)
＜前へ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 .... 22 23 次へ＞- To evaluate defect detection sensitivity in inspection of a defect of a mask pattern.
マスクパターンの欠陥検査における欠陥検出感度の評価を行う。 - 特許庁 - DEFECT CORRECTION DEVICE, DEFECT CORRECTION METHOD, AND PATTERN SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD
欠陥修正装置、欠陥修正方法、及びパターン基板の製造方法 - 特許庁 - The defect inspection of the design pattern 3 and the defect inspection of the monitor pattern 5 are performed by using the defect inspection apparatus and after the defect of the monitor pattern 5 is confirmed to be detectable by the defect inspection apparatus, the defect of the design pattern 3 detected in the defect inspection is corrected.
そして、欠陥検査装置を用いて設計パタン３の欠陥検査およびモニタパタン５の欠陥検査を行い、欠陥検査装置によってモニタパタン５の欠陥が検出可能であることを確認した後、欠陥検査において検出された設計パタン３の欠陥を修正する。 - 特許庁 - To provide an apparatus for correcting a defect in a pattern, which corrects the defect on a photomask, by applying a pattern correcting material at an adequate size onto the defect in the pattern.
フォトマスク上の欠陥にパターン修正材料を適切な大きさにて付与して欠陥を修正するパターン欠陥修正装置を提供する。 - 特許庁 - PHOTOMASK PATTERN DEFECT INSPECTING METHOD AND DETECTING METHOD FOR FINE FIGURE PATTERN
フォトマスクパタン欠陥検査方法および微細図形パタンの検出方法 - 特許庁 - METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING DEFECT IN CYCLIC PATTERN
周期性パターンの欠陥検査方法および装置 - 特許庁 - METHOD AND DEVICE FOR DETECTING DEFECT OF PERIODIC PATTERN
周期性パターンの欠陥検査方法及び装置 - 特許庁 - DEFECT INSPECTING METHOD FOR METAL FOIL PATTERN ETCHING PRODUCT
金属箔パターンエッチング製品の欠陥検査方法 - 特許庁 - METHOD FOR INSPECTING DEFECT OF CIRCUIT PATTERN AND DEVICE THEREOF
回路パターンの欠陥検査方法及びその装置 - 特許庁 - METHOD AND DEVICE FOR DETECTING DEFECT OF MICRO PATTERN
微細パタ−ンの欠陥検出方法及び装置 - 特許庁 - To inspect a defect in a mask pattern with high accuracy and to prevent a defect in an exposure pattern on a wafer.
マスクパターンの欠陥検査を精度良く行い、ウェハ上の露光パターンに欠陥が生じないようにする。 - 特許庁 - To remove a defect derived from a correction pattern in a defect inspection of a photomask having the correction pattern.
補正パターンを有するフォトマスクの欠陥検査において、補正パターンに由来する欠陥を除外すること。 - 特許庁 - REFERENCE DATA GENERATION METHOD, PATTERN DEFECT INSPECTION DEVICE, PATTERN DEFECT INSPECTION METHOD, AND REFERENCE DATA GENERATION PROGRAM
参照データ生成方法、パターン欠陥検査装置、パターン欠陥検査方法、及び参照データ生成プログラム - 特許庁 - The defect detection sensitivity is inspected by using a mask for defect inspection having a photomask pattern which includes a basic pattern and a pattern defect comprising a resist pattern at a specified position of the basic pattern.
基本パターンと、基本パターンの所定の位置に、レジストパターンにより形成されたパターン欠陥とを含むフォトマスクパターンを有する欠陥検査用マスクを用いて、欠陥検出感度検査を行う。 - 特許庁 - To provide a pattern defect inspecting device capable of simultaneously inspecting both of a chrome pattern and a phase shift pattern without detecting pseudo defect in a photomask in which the chrome pattern and the phase shift pattern coexist.
クロムパターンと位相シフトパターンの混在フォトマスクにおいて、擬似欠陥を検出すること無く、両パターンを同時に検査できるパターン欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁 - The detection sensitivity for a mask defect is inspected by using a mask for inspection of defect detection sensitivity having a basic pattern region where a pattern is formed based on the design data of a basic pattern and a defect pattern region where a pattern is formed based on the design data of a defect pattern prepared by adding a specified defect to the basic pattern.
基本パターンの設計データを基づきパターンが形成された基本パターン領域と、基本パターンに、所定の欠陥を加えた欠陥パターンの設計データを元にパターンが形成された欠陥パターン領域とを備える欠陥検出感度検査用マスクを用いて、マスク欠陥検出感度の検査を行う。 - 特許庁 - To fast and correctly detect the defect of a pattern.
パターンの欠陥を高速に、かつ正しく検出する。 - 特許庁 - WIRING PATTERN DEFECT REMEDYING METHOD, AND SYSTEM THEREFOR
配線パターンの欠陥修正方法及びその装置 - 特許庁 - PATTERN DEFECT INSPECTION METHOD AND DEVICE
パターン欠陥検査方法及びパターン欠陥検査装置 - 特許庁 - PATTERN DEFECT INSPECTION DEVICE AND METHOD
パターン欠陥検査装置およびパターン欠陥検査方法 - 特許庁 - SYSTEM AND METHOD FOR PATTERN DEFECT INSPECTION
パターン欠陥検査装置及びパターン欠陥検査方法 - 特許庁 - METHOD FOR CORRECTING PATTERN POSITION DEVIATION AND DEFECT INSPECTING APPARATUS
パターン位置ずれ補正方法及び欠陥検査装置 - 特許庁 - DEFECT DETECTING UNIT, DEFECT DETECTING METHOD, AND MANUFACTURING METHOD FOR PATTERN SUBSTRATE
欠陥検出装置及び欠陥検出方法並びにパターン基板の製造方法 - 特許庁 - DEFECT CORRECTION DEVICE AND DEFECT CORRECTION METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING PATTERN SUBSTRATE
欠陥修正装置及び欠陥修正方法、並びにパターン基板製造方法 - 特許庁 - TEST PATTERN, AND METHOD OF MONITORING DEFECT USING THE SAME
テストパターン及びこれを用いる欠陥モニタリングの方法 - 特許庁 - To accurately evaluate the defect detection sensitivity of an inspection apparatus for a defect in a mask pattern by suppressing influences of the shift of a pattern defect created in a basic pattern from a design value.
基本パターンに作り込んだパターン欠陥の、設計値からのズレによる影響を抑えて、正確にマスクパターンの欠陥検査装置の欠陥検出感度を評価する。 - 特許庁 - PATTERN DEFECT INSPECTION DEVICE AND IMAGE SENSOR CALIBRATION METHOD
パターン欠陥検査装置及びイメージセンサの校正方法 - 特許庁 - PATTERN DEFECT INSPECTING METHOD AND DEVICE THEREOF
パターン欠陥検査方法およびパターン欠陥検査装置 - 特許庁 - PATTERN DEFECT CORRECTING METHOD AND DEVICE
パターン欠陥修正方法およびパターン欠陥修正装置 - 特許庁 - APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTION OF DEFECT OF PATTERN
パターン欠陥検査装置及びパターン欠陥検査方法 - 特許庁 - To prevent wrong detection for a pattern defect on a board.
基板上のパターンの欠陥の誤検出を防止する。 - 特許庁 - The pattern correcting mechanism 2 automatically corrects a pattern defect of a glass substrate.
パターン修正機構２は、ガラス基板のパターン欠陥を自動的に修正する。 - 特許庁 - COLORING COMPOSITION FOR CORRECTING COLOR PATTERN DEFECT AND METHOD FOR CORRECTING DEFECT OF COLOR FILTER
着色パターン欠陥修正用着色組成物およびカラーフィルタの欠陥修正方法 - 特許庁 - IMAGING CONDITION DETERMINATION METHOD FOR PERIODIC PATTERN, DEFECT INSPECTION METHOD, AND DEFECT INSPECTING DEVICE
周期性パターンの撮像条件決定方法、欠陥検査方法、および欠陥検査装置 - 特許庁 - DEFECT INSPECTION MANAGEMENT SYSTEM AND DEFECT INSPECTION SYSTEM AND APPARATUS OF ELECTRONIC CIRCUIT PATTERN
電子回路パターンの欠陥検査管理システム，電子回路パターンの欠陥検査システム及び装置 - 特許庁 - HARD DISK DRIVE, METHOD FOR DETECTING DEFECT PATTERN ON DISK AND METHOD FOR DETECTING DEFECT
ハードディスクドライブ，ディスク上の欠陥類型検出方法および欠陥検出方法 - 特許庁 - COLORANT COMPOSITION FOR CORRECTING COLOR PATTERN DEFECT AND METHOD FOR CORRECTING COLOR FILTER DEFECT
着色パターン欠陥修正用着色組成物およびカラーフィルタの欠陥修正方法 - 特許庁 - PHOTORESIST PATTERN FORMING METHOD WHICH SUPPRESSES OCCURRENCE OF DEFECT AND DEVELOPING SOLUTION FOR DIMINISHING DEFECT
ディフェクトの発生を抑えたホトレジストパターンの形成方法およびディフェクト低減用現像液 - 特許庁 - METHOD FOR DETERMINING DEFECT OF FINE CONVEX-CONCAVE PATTERN AND METHOD FOR DETERMINING DEFECT OF PATTERNED MEDIA
微細凹凸パターンの欠陥判定方法、および、パターンドメディアの欠陥判定方法 - 特許庁 - To provide a pattern defect classifying and detecting method which can accurately detect a pattern defect and can classify the type of the defect and detect it.
パターン欠陥を正確に検出できるとともに、その欠陥の種類を分別して検出することができるパターン欠陥分別検出方法を提供する。 - 特許庁 - DEFECT INSPECTING METHOD OF INTEGRATED CIRCUIT PATTERN, AND DEVICE FOR SAME
集積回路パターンの欠陥検査方法、及びその装置 - 特許庁 - REPETITIVE PATTERN ERASING METHOD, DEFECT INSPECTION METHOD AND DEVICE
繰り返しパターン消去方法、欠陥検査方法及び装置 - 特許庁 - DEFECT CORRECTING METHOD OF ELECTRONIC CIRCUIT PATTERN, AND DEVICE THEREFOR
電子回路パターンの欠陥修正方法およびその装置 - 特許庁 - COMMON DEFECT PROCESSING METHOD IN COLOR-FILTER PATTERN INSPECTION MACHINE
カラーフィルタパターン検査機における共通欠陥処理方法 - 特許庁 - METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING DEFECT OF RESIST PATTERN
レジストパターンの欠陥検査方法及びその欠陥検査装置 - 特許庁 - METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING DEFECT OF PERIODIC PATTERN
周期性パターンの欠陥検査方法及び欠陥検査装置 - 特許庁 - CORRECTION DEVICE, AND ELECTRONIC CIRCUIT PATTERN DEFECT CORRECTION METHOD
修正装置及び電子回路のパターン欠陥修正方法 - 特許庁 - IMAGE CORRECTION DEVICE, PATTERN TEST DEVICE, IMAGE CORRECTION METHOD, AND PATTERN DEFECT TEST METHOD
画像補正装置、パターン検査装置、画像補正方法、及び、パターン欠陥検査方法 - 特許庁 - IMAGE CORRECTION DEVICE, PATTERN INSPECTION DEVICE, IMAGE CORRECTION METHOD, AND PATTERN DEFECT INSPECTION METHOD
画像補正装置、パターン検査装置、画像補正方法、及び、パターン欠陥検査方法 - 特許庁 - PHOTOMASK, METHOD FOR DETECTING PATTERN DEFECT AND METHOD FOR FORMING PATTERN BY USING THE SAME
フォトマスク、そのパターン欠陥検出方法及びそれを用いたパターン形成方法 - 特許庁
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