「SCRATCH」を含む例文一覧(4214)
＜前へ 1 2 .... 69 70 71 72 73 74 75 76 77 .... 84 85 次へ＞- To surely carry out (take out) a workpiece by a workpiece conveyance robot, and to improve the safety and reliability of an operation, and to prevent any problem causing the scratch of the workpiece or the failure of a conveyance robot side, and to contribute to the miniaturization or cost reduction of the workpiece conveyance robot.
ワーク搬送ロボットによるワークの搬出（取出）を確実に行い、動作の安定性及び信頼性を高め、また、ワークを傷付けたり搬送ロボット側の故障を招く不具合を回避するとともに、ワーク搬送ロボットの小型化やコストダウンに寄与する。 - 特許庁 - To provide an intermediate transfer recording medium and an image recording fiber base material which enables printing an image by ink jet printing, causes no image blur, dries quickly, and causes the transferred image onto the media to be superior in scratch resistance and durability such as fastness to washing.
インクジェット方式で画像を印画でき、印画する際には画像が滲まず、乾燥が早く、かつ、媒体へ転写された画像は耐スクラッチ性、洗濯堅牢度などの耐久性に優れる中間転写記録媒体、及び画像記録繊維質基材を提供する。 - 特許庁 - To provide a reflection sheet having scratch preventing function for a backlight of a liquid crystal display(LCD) device, which prevents peaks of embossed projecting parts of a light transmission plate with an embossed surface, worked with an MLA(microlens array) technique, from being scratched and from crushing, and to provide an LCD device using the same.
ＭＬＡ技術でエンボス加工した表面を有する導光板のエンボス凸部の先端が傷ついて潰れるのを防ぐことができる液晶表示装置バックライト用傷防止機能付き反射シート及びそれを用いた液晶表示装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a transparent pressure-sensitive adhesive functional film which includes a functional layer for exerting scratch resistance and/or antireflection function and a pressure-sensitive adhesive layer for fixing by laminating to the adherend and in which interference fringes hardly occur and corrosion resistance is excellent.
耐擦傷性及び／又は反射防止性の機能を発揮させるための機能層と、被着体に貼り付けて固定するための粘着剤層とを有し、干渉縞を生じにくく、耐腐食性にも優れた透明な粘着型機能性フィルムを提供する。 - 特許庁 - To provide an optical sheet for integrating at least one lens sheet and at least one diffuser and preventing scratch of a lens face of a lens sheet and having an excellent optical function, and to provide a light source and a display device using the optical sheet.
少なくとも１つのレンズシートと、少なくとも１つの拡散シートとを一体化してなり、レンズシートのレンズ面の傷付きを防止することができ、優れた光学機能を有する光学シート、並びに該光学シートを用いた光源装置及び表示装置の提供。 - 特許庁 - The invisible information printing sheet is formed by a method wherein portions to be printed respectively by using two or more kinds of scratch coloring inks containing an electron donating dye precursor, an electron accepting compound and varnish are provided on the same side of a substrate.
支持体の同一面上に、電子供与性染料前駆体、電子受容性化合物及びワニスを含有するスクラッチ発色用インキ２種以上をそれぞれ用いて印刷される部分が設けられていることを特徴とする不可視情報印刷シート。 - 特許庁 - To provide a printing device having an inversion unit U5 provided in a halfway part of a conveyance path to invert the direction of conveyance of a print paper P and capable of securely preventing adherence of dust on the long print paper P and occurrence of scratch while preventing jumboized size of the device.
搬送路の途中に設けられて、プリント用紙Ｐの搬送方向を反転させる反転ユニットＵ５を有するプリント装置において、装置の大型化を抑制しつつ、長尺のプリント用紙Ｐに対する埃の付着や傷の発生を確実に防止する。 - 特許庁 - To provide a shelf board where a reinforcement material never comes off from a hole and a surface of a resin shelf board is made not to have a scratch by fitting the reinforcement material in the resin shelf board of furniture, etc., whose strength is improved by fitting the reinforcement material to a through hole.
貫通した穴に補強材を嵌めて強度を向上した家具等の樹脂製棚板であって、補強材が穴から抜け落ちることがなく、又補強材を嵌めることで樹脂製棚板の表面にキズが付かないようにした棚板の提供。 - 特許庁 - To provide an ink jet recording method exhibiting excellent stability (e.g. scratch resistance) after clogging, blurring and printing of an ink head and performing high resolution printing while controlling the dot diameter, and an ink jet recording method for printing stably on any recording material with high resolution.
インクヘッドの目詰まり、滲み、印刷後の安定性（耐擦性等）に優れ、かつ、ドット径のコントロールされた高精細印字が可能なインクジェット記録方法、及びあらゆる記録材料に安定して高精細な画像を印字できるインクジェット記録方法を提供すること。 - 特許庁 - To provide a silver salt photothermographic dry imaging material excellent in antistatic performance, scratch resistance and suitability to sheet cutting and to provide a silver salt photothermographic dry imaging material which attains silver saving to the image density and gives a very high and clean-cut image density.
帯電防止性能に優れ、耐傷性、断裁性に優れた銀塩光熱写真ドライイメージング材料を提供することにあり、画像濃度に対して省銀化し、しかも画像濃度が非常に高く、すっきりとした銀塩光熱写真ドライイメージング材料を提供する。 - 特許庁 - To develop a scratch preventive resin-coated glass bottle with a heat sensitive label usable as a prelabel which is not peeled off withstanding a glass bottle cleaning process by a bottler by improving the waterproof adhesive strength of the label in attaching the label to the glass bottle.
傷を防止する樹脂コーティングをしたガラスびんに感熱ラベルを貼る場合、感熱ラベルの耐水性接着強度を改善し、ボトラーにおけるガラスびんの洗浄工程にも耐えて剥離しない、プレラベルとして使用できる感熱ラベル付きガラスびんを開発する。 - 特許庁 - To provide a method and a device for manufacturing a secondary battery, keeping high productivity compared with a conventional laminating method wherein a separator is folded up, preventing the separator from being damaged by excessive scratch at the time when handling the battery, and having no accident such as short-circuit.
従来のセパレータが折り畳まれる積層方式に比べて生産性が高く、また、電池の取り扱い時における擦過等によるセパレータの破損が防げ短絡等の事故のない２次電池の製造方法及び製造装置を提供することである。 - 特許庁 - To provide a laminated film improved in surface scratch resistance by enhancing the surface hardness of a low refractive index surface layer, having low reflectivity and excellent flexibility and especially suitably used as a reflection preventing film, and a method for manufacturing the same.
表面の低屈折率層の表面硬度を高めることにより表面の耐擦傷性が改善され、さらに、低反射性でかつ可撓性に優れていて、特に反射防止フィルムとして好適に用いられる積層フィルムとその製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a coating steel plate which has excellent designing properties, corrosion resistance and scratch resistance without losing spangle patterns and brightness/color tone specific to an Al-Zn alloy plating steel plate having the Al-Zn alloy plating layer of which the Al content is 40-70%.
Ａｌ含有量が４０〜７０％のＡｌ−Ｚｎ合金めっき層を有するＡｌ−Ｚｎ合金めっき鋼板特有のスパングル模様と光輝性・色調が損なわれることなく、優れた意匠性、耐食性、耐スクラッチ性を有する塗装鋼板を提供する。 - 特許庁 - To surely mark a defect position so as to encircle a defect of pressing flaw, scratch, etc., generated in rolling and to easily identify presence/absence and the defective positions of a steel plate in visual inspection.
圧延時に生じた押し疵や擦り疵等の欠陥を囲むように欠陥位置を示すマーキングを鋼板表面に確実に施すことができ、この結果、客先での鋼板の目視検査時において、鋼板に存在する欠陥の有無および位置を容易に認識することができる。 - 特許庁 - To provide a color ink which gives an image of high qualities exhibiting excellent gloss properties and high fastness by recording on a glossy medium and can form an image excellent in recording properties and scratch resistance on a plain paper, an inkjet recording device, a recording method and a recorded image.
光沢媒体への記録によって、光沢性に優れた高品位の堅牢性の高い画像が得られ、普通紙に対する記録特性や、耐擦過性に優れた画像の形成が可能なカラーインク、インクジェット記録装置、記録方法及び記録画像の提供。 - 特許庁 - A composite layer including a layer that is formed on the transparent substrate of the optical disk and records the data, is scratched, peeling force by an adhesive is exerted on the composite layer region around the scratch, and the composite layer is peeled from the surface of the substrate, thus destroying the data.
光ディスクの光透過性の基板上に形成されデータが記録された層を含む複合層に傷をつけ、該傷の周辺の複合層領域に粘着剤による引き剥がし力を作用させ、該複合層を該基板面から引き剥がすことでデータを破壊する。 - 特許庁 - To provide a frosted acrylic resin film not generating breakage in the mat layer even when molded into a deep-drawn shape by the insert molding or in-mold molding and excellent in scratch resistance, surface hardness, chemical resistance, heat resistance, mat properties and the resistance to yellowing by heat.
インサート成形またはインモールド成形を施し、深絞り形状に成形した場合でも、艶消し層に割れが発生せず、耐擦傷性、表面硬度、耐薬品性、耐熱性、艶消し性および耐熱黄変色性に優れた艶消しアクリル樹脂フィルムを開発する。 - 特許庁 - To provide a decorative film, which has moldability in lamination with a metallic plate such as a steel plate, causes no swelling when increasing the feed speed of the decorative film, is excellent in boiled water resistance, low-temperature impact resistance, curling resistance, and scratch resistance, and further has satisfactory storage property in summer.
鋼板のような金属板とのラミネート時の成形性が良好であり、化粧フィルムの送り速度をアップしたときにフクレが発生せず、耐沸騰水性、低温衝撃性、耐カール性、耐擦傷性に優れ、夏場の保管性も良好な化粧フィルムを提供すること。 - 特許庁 - To provide a self-repairing resin body applicable to a product in which transparency and scratch resistance are required, a self-repairing structure having the same, a method for producing a self-repairing resin body, and a material for forming a self-repairing resin body used for the method.
透明性及び耐擦り傷性が要求される製品に適用できる自己修復性樹脂体、これを有する自己修復性構造体、自己修復性樹脂体の製造方法及びこれに用いられる自己修復性樹脂体形成材料を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for producing a positive-working original printing plate for an infrared laser for direct plate making having excellent scratch resistance and distinguishability between image and non-image areas, and particularly printing resistance, with which direct plate making can be carried out particularly from digital signals of a computer or the like.
耐傷性及び画像部と非画像部の識別性に優れると共に、特に耐刷性能の優れた赤外線レーザ用ポジ型の、特にコンピュータ等のディジタル信号から直接製版できるダイレクト製版用の印刷用原板の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a newly developed thermal transfer receptive sheet, having such an alcohol resistance as to keep the printed portion clear without loss or missing parts even after an alcohol washing process, which can satisfy the required functions such as image uniformity, blocking resistance, and scratch resistance in a high dimension.
アルコール洗浄工程を経ても印字部が欠落・消失せずに鮮明に保存される耐アルコール性を備え、且つ、画像均一性、耐ブロッキング性、耐擦過性などの要求性能も高次元で満たすことができる新規な構成の熱転写受容シートを提供する。 - 特許庁 - To provide a hard coat film which is excellent in scratch resistance and abrasion resistance, is made to have permanent finger-print adhesion prevention properties and finger-print removing properties by a simple operation, and is suitable for a hard coat film for a touch panel and a hard coat film for protecting various displays.
耐擦傷性や耐摩耗性に優れると共に、簡単な操作で恒久的な指紋付着防止性及び指紋除去性が付与され、特にタッチパネル用ハードコートフィルムや各種ディスプレイの保護用ハードコートフィルムなどとして好適なハードコートフィルムを提供する。 - 特許庁 - To provide an active energy ray-curable resin composition with which a nano uneven structure having both high scratch resistance and good water repellency can be formed, the nano uneven structure produced using the same, its production method, and a water-repellent article provided with the nano uneven structure.
高い耐擦傷性と良好な撥水性を兼ね備えたナノ凹凸構造体を形成できる活性エネルギー線硬化性樹脂組成物、及びそれを用いたナノ凹凸構造体とその製造方法、及びナノ凹凸構造体を備えた撥水性物品の提供。 - 特許庁 - To provide a recording medium that has high glossiness comparable to the silver salt photograph while keeping the ink absorbency and the image sharpness of an excellent dye ink and the pigment ink, having superior scratch resistance of the glossiness surface in the glossy paper for inkjet printing.
本発明の目的は、インクジェット記録用光沢紙において、良好な染料インク及び顔料インクのインク吸収性と画像鮮明性をもちながら、銀塩写真並の高光沢感を有し、光沢面の耐傷性に優れる記録媒体を提供することである。 - 特許庁 - To provide an ink composition curable on being irradiated with active radiation, good in jet stability, and giving cured printed images of sufficient scratch resistance, to provide an ink-jet printing method using the ink composition, and to provide a lithographic printing block using the above ink composition, and to provide a method for producing such a lithographic printing block.
活性放射線の照射に対して硬化が可能であり、吐出安定性に優れ、インクが硬化して得られる画像が十分な耐擦り性を有するインク組成物及び該インク組成物を用いたインクジェット記録方法を提供すること。 - 特許庁 - To provide an image forming method that is superior in rubfastness and prevents an occurrence of an image defect such as a scratch in an image or the like when a number of recording media are processed at high speed such that conveyance speed of the recording media with respect to an ejecting head is 200 mm/sec or more.
吐出ヘッドからみて記録媒体の搬送速度が２００ｍｍ／ｓｅｃ以上となる高速で多数枚処理する際に、優れた耐擦過性を示し、画像中の傷等の画像欠陥の発生が防止された画像形成方法を提供する。 - 特許庁 - Accordingly, for example, when repairing a surface of the optical function film 400 caused by scratch, that is, a surface of the first anti-reflection film 430, such repair can be performed only by detaching the first anti-reflection film 430 adhered in a detachable manner.
このため、例えば光学機能フィルム４００の表面、すなわち、第１の反射防止フィルム４３０の表面に傷がついたために補修する場合、予め剥離可能に設けられた第１の反射防止フィルム４３０のみを剥離するだけで補修できる。 - 特許庁 - To provide a hard coat film which can maintain excellent antibacterial properties, transparency, and scratch resistance even when being stored under a variety of indoor and outdoor environments (for instance, high temperature, high humidity, ultraviolet radiation or the like) for a long period, and a heat ray shielding film and an organic element device using the same.
屋内外の様々な環境下（例えば、高温、高湿、紫外線照射等）に長期間にわたり保存された際でも、優れた抗菌性、透明性、耐傷性を維持できるハードコートフィルムとそれを用いた熱線遮断フィルム及び有機素子デバイスを提供する。 - 特許庁 - To provide an aqueous pigment ink set for ink jet printing and a ink jet recording technique using the same that can give images of high color reproducibility, images of high chroma, images of high scratch resistance, and images of high gloss on the recording media.
記録媒体上で色再現性の高い画像、色彩度の高い画像、擦過性の高い画像および光沢性の高い画像を得ることができるインクジェット用水性顔料インクセットおよび該顔料インクを用いたインクジェット記録方法を提供することにある。 - 特許庁 - To provide a thermoplastic polyurethane elastomer which have good scratch resistance, chemical resistance, moldability and meltable at a lower temperature by subjecting the crystalline polyurethane elastomer to a specified heat treatment, and is suitable for a powder slush molding and the like.
結晶性ポリウレタンエラストマに所定の加熱処理を施すことで、良好の耐傷付き性、耐薬品性および成形性と、より低い温度での溶融性とを併有し、更にパウダースラッシュ成形等を好適に行ない得る熱可塑性ポリウレタンエラストマを提供する。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method by which a magnesium product of a prescribed shape is manufactured by subjecting a magnesium plate to plastic working with using a punch/die without causing a crack to the magnesium product and a flaw/scratch on a surface of the product.
マグネシウム材製品に割れが生じたり、製品の表面に傷、擦り傷が生じたりすることなしで、ポンチ及びダイを用いるマグネシウム材板の塑性加工によって所定形状のマグネシウム材製品を製造することができる製造方法を提供すること。 - 特許庁 - The coated metal sheet is made excellent in weatherability, abrasion resistance, and scratch resistance by the lamination of the photocatalyst layer, becomes hydrophilic by the action of the photocatalyst, develops excellent antifouling properties, and can improve the lubricity of the photocatalyst layer.
光触媒層により、塗装金属板に優れた耐候性、耐摩耗性、耐傷付き性が付与されると共に、光触媒作用によって高い親水性が付与されて優れた防汚性を発現し、且つ前記光触媒層の潤滑性を向上することができる。 - 特許庁 - To provide a coating material composition which forms an antireflection member having excellent antireflection properties without performing a complicated process, to provide a method for producing an antireflection member having excellent antireflection properties and excellent scratch resistance, and to provide an image display device.
煩雑な工程を行わずに、優れた反射防止性を有する反射防止部材を形成する塗料組成物であり、さらには優れた反射防止性、優れた耐擦傷性を有する反射防止部材の製造方法および画像表示装置を提供することにある。 - 特許庁 - To provide a supply method for a pipe from LWC or a supply method for a pipe from LWC packing body for preventing the occurrence of bending, deformation, dent, and scratch of the pipe and unwinding it at high speed even if it is uncoiled by an ETS system.
ＥＴＳ方式によりアンコイルしても、管の折れ、変形、窪み及び擦り疵が発生させず、またより高速で巻解きすることができるＬＷＣからの管の供給方法又はＬＷＣ梱包体からの管の供給方法を提供する。 - 特許庁 - To obtain a slurry for polishing a metal film, capable of polishing a metal film even under low-load conditions at a high speed and controlling occurrence of defects of a face to be polished such as scratch, dishing, erosion, etc. in a process for flattening a metal film on a semiconductor substrate.
半導体基板上の金属膜を平坦化する工程において、低荷重条件においても金属膜を高速に研磨し、かつスクラッチやディッシング、エロージョン等の被研磨面の欠陥発生を抑制することができる金属膜研磨用スラリーを提供する。 - 特許庁 - To provide a display control program which is suitable for use in a tablet PC or the like and realizes a scratch display in which the intermediate steps from the initial display to the final display are displayed stepwise based on the intention of a user, and to provide an information processing apparatus.
タブレットＰＣ等への採用にも好適であり、ユーザの意思に基づいて初期表示から最終表示に至るまでの途中過程を段階的に表示するスクラッチ表示を実現する表示制御プログラム及び情報処理装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a laminated steel sheet excellent in the scratch resistance at the time of can making of a laminated surface used as an outer surface after can making and capable of being reduced in cost by avoiding a oil coating process/a degreasing process required heretofore or reducing coating oil, and its manufacturing method.
製缶後の外面に用いるラミネート面の製缶時の耐疵付き性に優れ、従来必要であった塗油工程・脱脂工程の省略あるいは塗油の削減によるコストを低減することができるラミネート鋼板およびその製造方法を提供する。 - 特許庁 - The electrophotographic photoreceptor is formed by using a photosensitive layer composed of polycarbonate resin containing a specific constitutional unit having wear resistance, in particular scratch resistance which is higher than that of the conventional organic photoreceptor, even in a system made to contain the low molecular charge transport material.
本低分子電荷輸送材料を含有させた系においても従来の有機感光体に比べて強い耐摩耗性、特に引掻き耐摩耗性を有する、特定の構成単位を含有するポリカーボネート樹脂を感光層を用いた電子写真用感光体。 - 特許庁 - To obtain a band used for fixing the agricultural polyolefin-based film spread over an arch-pipe greenhouse or a fixed greenhouse and showing no scratch and break, and less reduction of its tension is its lengthwise direction even in summer time.
アーチパイプハウスや固定ハウスに展張された農業用ポリオレフィン系フイルムを固定するために使用されるハウスバンドにおいて、すり傷や破れがなく、夏場においても縦方向の張力の低下の少ない農業用ポリオレフィン系フイルム用ハウスバンドをを提供する。 - 特許庁 - To provide an aqueous pigment dispersion which contains a self-dispersible colored organic pigment, does not cause blur or setoff in recording on plain paper, is excellent in resistances to water, light, and scratch, and can give a high-quality (high-definition, high-chroma) record with a high color density; and an ink composition containing the same.
普通紙記録に対して滲み、裏写りがなく、耐水性・耐光性・耐擦過性に優れ、色濃度の高い高品質（高精細、高彩度）記録が可能な自己分散型カラー有機顔料を含む顔料水分散体及びインク組成物を提供する。 - 特許庁 - To provide a liquid crystal display device having a color filter substrate comprising a plastics substrate coated with a novel overcoat layer which is film formed at a low temperature and in a short time and which is excellent in smoothness, adhesion property to a transparent substrate (ITO (indium tin oxide)) and scratch resistance of the obtained coating film.
低温で短時間に成膜でき、得られる被膜の平滑性、透明電極（ＩＴＯ）との密着性、耐擦傷性に優れる新規なオーバーコート層をプラスチック基材に被覆してなるカラーフィルター基板を有する液晶表示装置を提供する。 - 特許庁 - To prevent occurrence of erroneous recording stop and reproducing stop by discriminating accurately disturbance of a binary signal caused by scratch, dirt of an optical disk or the like and disturbance of a binarization signal caused by true off-track, and stabilizing off-track detection processing.
光ディスクにキズ、ゴミ等が付着しているときに生じた２値化信号の乱れと、本当のトラックはずれで生じた２値化信号の乱れとを正確に識別させて、トラックはずれ検出処理を安定化させ、誤った記録停止、再生停止が発生しないようにする。 - 特許庁 - To provide a fixture that can accurately hold a workpiece at a predetermined position with respect to a reference plane without being unsteady, and inhibits possibility of causing damage such as scratch, deformation or crack on the workpiece while the workpiece is held by the fixture.
ワークをガタツキが生じることなく、基準面に対して所定位置に正確に保持することができるとともに、そのワークの保持状態でワークに擦過傷や変形、あるいは割れ等の損傷が生じるおそれを防止することができる治具を提供する。 - 特許庁 - To provide an optical disk unit in which a focus is so controlled that an objective lens does not collide with the disk even when the distance between the disk and the objective lens is small or the error signal of focus becomes small and a servo becomes ineffective due to the influence of a scratch or dust on the disk.
ディスクと対物レンズの距離が短くても、ディスク上の傷や埃の影響で焦点誤差信号が小さくなってサーボがはずれても、対物レンズがディスクに衝突しないようにフォーカス制御することが可能な光ディスク装置を提供すること。 - 特許庁 - To provide a practical chemomechanical polishing method and a practical chemomechanical polishing apparatus capable of polishing a film to be processed with high precision by suppressing production of dishing, scratch and erosion, and capable of efficiently polishing the film without decreasing a polishing speed (throughput) at polishing.
ディシング、スクラッチ、及びエロージョンの発生を抑制して精度良く被加工膜を研磨すると共に、研磨時の研磨速度（スループット）を低下させずに効率良く研磨することができる実用的な化学機械研磨方法及び化学機械研磨装置を提供する - 特許庁 - To obtain a molding for building materials/civil engineering, which satisfies various demands requiring impact resistance, scratch resistance, flexibility, pinhole resistance, sticking resistance, heat resistance, etc., since various synthetic resins such as polyolefins are used as materials of moldings for building materials/civil engineering.
建材・土木用成形体の素材として、種々の合成樹脂、例えばポリオレフィンが用いられており、耐衝撃性、耐傷付き性、柔軟性、耐ピンホール性、耐突き刺し性、耐熱性などが求められる種々の要求を満たすような建材・土木用成形体を提供する。 - 特許庁 - To provide a polishing head provided with a guide ring capable of improving machining efficiency of a wafer, improving flatness, and preventing the occurrence of scratch by enabling proper supply of slurry to an inner side of the guide ring and discharge from the inner side thereof.
ガイドリングの内側へのスラリーの適度な供給および内側からの排出を可能にすることにより、ウエーハの加工能率の向上、平坦度の向上、或いはスクラッチの発生を防止させることが出来るガイドリングを備えたポリシングヘッドを提供する。 - 特許庁 - To provide an ultraviolet-curable hard coat composition excellent in adhesion to a lens substrate and in scratch resistance, and free of occurrence of interference fringes between it and the lens substrate, and to provide a method of forming a hard coat layer of a plastic lens using the composition and not requiring troublesome working.
レンズ基材との密着性及び耐擦傷性に優れ、且つレンズ基材との間に干渉縞が生じない紫外線硬化性ハードコート組成物、及び該組成物を用い、煩雑な処理作業が不要なプラスチックレンズのハードコート層の形成方法を提供する。 - 特許庁 - The scratch having ≥0.2 μm width on the surface of the amorphous alumina film 2 can be eliminated by polishing the surface of the amorphous alumina film 2 film-deposited on an Al_2O_3-TiC based ceramic substrate 1 by a CMP method while alkaline slurry is being supplied.
Ａｌ_2Ｏ_3−ＴｉＣ系セラミック基板１上に成膜したアモルファスアルミナ膜２の表面をアルカリ性のスラリーを供給しながらＣＭＰによって研磨加工することで、アモルファスアルミナ膜２の面上にある幅０．２μｍ以上のスクラッチをなくすことができる。 - 特許庁
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