METHOD FOR MANUFACTURING SCANNING TYPE MICROSENSOR HAVING SCANNING TIP AND POSITIONING MARK ON REAR SURFACE OF THIS SCANNING TIP 走査尖端部及びその裏面に位置合せ用目印を有する走査型微小センサの製造方法 - 特許庁
SCANNING OPTICAL SYSTEM, SYSTEM FOR MEASURING SCANNING POSITION OF SAME, METHOD FOR MEASURING VERTICAL SCANNING POSITION, AND IMAGE FORMING APPARATUS 走査光学系の走査位置測定装置、副走査位置測定方法、走査光学系、画像形成装置 - 特許庁
SCANNING LINE INTERPOLATOR, IMAGE DISPLAY AND SCANNING LINE INTERPOLATING METHOD 走査線補間装置および画像表示装置並びに走査線補間方法 - 特許庁
OPTICAL SCANNING DEVICE, METHOD FOR CONTROLLING LIGHT SCANNING DEVICE, AND IMAGE DISPLAY DEVICE 光走査装置、光走査装置の制御方法及び画像表示装置 - 特許庁
OPTICAL SCANNING DEVICE, CONTROL METHOD OF OPTICAL SCANNING DEVICE AND IMAGE DISPLAY DEVICE 光走査装置、光走査装置の制御方法及び画像表示装置 - 特許庁
METHOD AND DEVICE FOR MEASURING AND EVALUATING SCANNING BEAM OF SCANNING OPTICAL SYSTEM 走査光学系の走査ビーム測定評価方法及び測定評価装置 - 特許庁
SCANNING PROJECTION ALIGNING METHOD, LASER, SCANNING PROJECTION ALIGNER, AND MANUFACTURE OF DEVICE 走査露光方法、レ—ザ装置、走査型露光装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁
OPTICAL SCANNING DEVICE, METHOD OF MOUNTING IMAGING MEMBER OF OPTICAL SCANNING DEVICE 光学走査装置及び光学走査装置の結像部材の取り付け方法 - 特許庁
SCANNING OPTICAL SYSTEM BEAM MEASURING DEVICE AND SCANNING OPTICAL SYSTEM BEAM MEASURING METHOD 走査光学系ビーム測定装置および走査光学系ビーム測定方法 - 特許庁
SCANNING EXPOSURE METHOD AND SCANNING-TYPE ALIGNER AND MANUFACTURE OF APPARATUS 走査露光方法および走査型露光装置ならびにデバイスの製造方法 - 特許庁