「form pattern」を含む例文一覧(4548)
＜前へ 1 2 .... 74 75 76 77 78 79 80 81 82 .... 90 91 次へ＞- To provide a method for patterning a metal foil, which can form a pattern to have different thickness depending on parts with a simple process, and to provide an electric wiring substrate and a manufacturing method therefor, a semiconductor device and a manufacturing method therefor, and a circuit board and an electronic device.
簡単な工程で、部分的に異なる厚みを有するように形成することができる金属箔のパターニング方法、配線基板及びその製造方法、半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器を提供することにある。 - 特許庁 - The method of manufacturing the mask for vapor deposition is carried out by forming photoresist films 12a, 12b through reflection preventing films 30A, 30B on both side surfaces of a metal thin film 10 and exposing them to form a pattern of the passage hole 10A-1 on the photoresist films 12a, 12b.
蒸着用マスク１の製造方法では、金属薄膜１０の両面に、反射防止膜３０Ａ，３０Ｂを介してフォトレジスト膜１２ａ，１２ｂを形成したのち露光することにより、フォトレジスト膜１２ａ，１２ｂに通過孔１０Ａ−１のパターンを形成する。 - 特許庁 - To increase the visibility of the diagonally front road surface of a vehicle without generating large light distribution unevenness by a simple and low-cost lamp structure, in a vehicle headlamp which is constructed so as to be capable of light irradiation to form a low beam light distribution pattern.
ロービーム用配光パターンを形成するための光照射を行い得るように構成された車両用前照灯において、簡単かつ安価な灯具構成により、大きな配光ムラを発生させることなく車両斜め前方路面の視認性を高める。 - 特許庁 - A multilayer reflective film 2 and an absorber film 4 are formed on the obtained mask blanking substrate 1 to make the reflective mask blank 10, and the absorber film 4 in the reflective mask blank 10 is patterned to form an absorber pattern to make the reflective mask 20.
得られるマスクブランク用基板１上に多層反射膜２及び吸収体膜４を形成して反射型マスクブランク１０とし、この反射型マスクブランク１０における吸収体膜４をパターニングして吸収体パターンを形成して反射型マスク２０とする。 - 特許庁 - A wiring pattern is formed on a flexible insulation film and it is covered with a second flexible insulation film in a manner that an electrode pad may be exposed, and this step is repeated for required times to form a wiring conductor, and then the coil is connected with the electrode pad of the wiring conductor.
可撓性絶縁膜上に配線パターンを形成て電極パッドが露出するように第２の可撓性絶縁膜で覆い、この工程を所要回数繰り返して配線導体を製造し、この配線導体の電極パッドにコイルを電気的に接続する。 - 特許庁 - To provide a metal polishing fluid which can realize a high polishing speed ratio between a foundation barrier layer and an insulating layer, can realize high surface uniformity and high flatness, and can form the flush pattern of a metal film with high reliability, and to provide a polishing method using the fluid.
下地のバリア層及び絶縁膜層との高い研磨速度比を発現し、高い面内均一性及び高平坦化を可能とし、信頼性の高い金属膜の埋め込みパタ−ン形成を可能とする金属研磨液及びそれを用いた研磨方法を提供する。 - 特許庁 - The invention is a method for solving the conventional problems using a tooth shape pattern structure of a conical type gear with a variable number of teeth having a V-form continuous tooth groove at the cone surface and a conical gear structure with a variable number of teeth of tip circle reduction type where the surplus gears are rounded in.
このための対策として、円錐形表面にＶ字型の連続歯溝を持つ円錐型歯数可変歯車の歯形パターン構造と、歯数余りを丸め込む歯先円縮小式歯数可変円錐歯車構造により解決する方法を発明。 - 特許庁 - Here, the case is in a shape of cylinder or rectangular cylinder; the end of the case is in a straight shape, or an outward bent form; and the PCB has a size larger than or equal to size of the case, in which a conductive pattern is formed in a portion to be welded to the case.
ここで、ケースは円筒形や四角筒形であり、ケースの末端は直線形であるか、外側に曲げられた形態であり、ＰＣＢはケースより大きいか同一であり、上記のケースと溶接される部分に導電パターンが形成されたものである。 - 特許庁 - By adding a foaming agent 42 to the aqueous resin layer 4 to form a foamed layer, the moisture permeability of the aqueous resin layer 4 is enhanced to enhance a moisture absorbing and discharging function and, by providing an uneven pattern to the surface of the moisture absorbing/discharging material by embossing, three-dimensional design effect can be imparted.
水性樹脂層４に発泡剤４２を添加して発泡層とすることにより、透湿性の向上により吸放湿機能を向上させたり、表面にエンボスによる凹凸模様６を設けて、立体的な意匠性を付与したりすることもできる。 - 特許庁 - With a non-light-incident peripheral area (20s (L6, R6)) into which light from the front filament 18a is blocked from entering by the light shielding action of the outer shade 22, light from the rear filament 18b is reflected toward the center part of the high-beam distribution pattern to form a hot zone.
このアウタシェード２２の遮光作用で前部フィラメント１８ａからの光が入射しない光非入射周縁領域（２０ｓ（Ｌ６、Ｒ６））により、後部フィラメント１８ｂからの光をハイビーム配光パターンの中心部へ向けて反射させ、ホットゾーンを形成する。 - 特許庁 - To condense a metal polishing liquid to meet the requirements of storage, transportation, and housing, etc., and to form an embedded pattern of metal film with high reliability when polishing with a diluted one.
貯蔵、運搬、保管などの面から要請される金属用研磨液の濃縮化をはかると共にそれを希釈して用いて研磨した際に信頼性の高い金属膜の埋め込みパターン形成を可能とする金属用研磨液及びそれを用いた研磨方法を提供する。 - 特許庁 - Heat is distributed in a raw material substrate 10 composed of a metal catalyst such as iron (Fe) to melt a surface thereof, and the heat is radiated from a surface of the raw material substrate 10 to form the original board 15 having a pattern of projections 14 formed at positions corresponding to the distribution of the heat.
鉄（Ｆｅ）などの金属触媒よりなる素材基板１０に対して熱分布を与え、表面を溶融させたのち、素材基板１０の表面を放熱させることにより、熱分布に応じた位置に突起１４のパターンを有する原盤１５を形成する。 - 特許庁 - This synthetic resin molded form 11 fit for carving is of such a construction that a resin sheet layer 3 with a colored pattern layer 2 formed internally by the permeation of a sublimable dye and a resin surface layer 4 laminated in one piece on the surface of an opaque resin base 1.
不透明な樹脂基体１の表面に、昇華性染料が浸透して形成された色付き模様層２を内部に有する樹脂シート層３と、樹脂表面層４とを積層一体化した構成の彫刻可能な合成樹脂成形体１１とする。 - 特許庁 - A first etching stopper film 2, a first insulating film 3, a second etching stopper film 4, a second insulating film 5 and inorganic anti-reflection film 6 are formed on a semiconductor substrate 1 sequentially from its lower layer, on which a resist layer 7 is formed and then subjected to a photolithographical process to form a hole pattern.
半導体基板１上に、下層から順に第１エッチングストッパ膜２、第１絶縁膜３、第２エッチングストッパ膜４、第２絶縁膜５、無機反射防止膜６を成膜し、その上にフォトリソグラフィによりレジスト７を用いてホールパターンを形成する。 - 特許庁 - This invention provides a manufacturing method for a package of a crystal vibrator that is characterized by that anisotropic etching is applied to a silicon substrate to form a recessed part to the surface of the substrate, a crystal chip is mounted on a circuit substrate with a circuit pattern formed thereto, and the recessed part of the substrate is covered and sealed.
シリコン基板に対して、異方性エッチングを行い表面に基板凹部を形成し、さらに回路パターンを形成した回路基板に水晶片を実装し、その基板凹部に蓋をして封止することを特徴とする水晶振動子のパッケージを形成する。 - 特許庁 - Judgment patterns 51a, 51b, and 51c displayed on a special pattern display device mounted on a pachinko machine 10 are displayed in animation so as to form at least a part of the components of character patterns displayed when a prescribed game state occurs.
パチンコ遊技機１０に設けられる特別図柄表示装置５０に表示される各判定図柄５１ａ、５１ｂ、５１ｃが、所定の遊技状況の発生を契機に表示されるキャラクタ図柄の構成部位の少なくとも一部を構成するように動画表示される。 - 特許庁 - It is assumed that a dry etching method is employed wherein a metal conductive film containing high-fusion-point metal, the copper-containing aluminum film, and a mask layer are formed in order on an insulating film and dry-etched to form a wiring pattern of the metal conductive film and copper-containing aluminum film.
絶縁膜上に、高融点金属を含有する金属導電膜と、銅含有アルミニウム膜と、マスク層を順次形成し、ドライエッチングによってこの金属導電膜及び銅含有アルミニウム膜の配線パターンを形成するドライエッチング方法を前提とする。 - 特許庁 - The method involves identifying a gene expression pattern or molecular signature, that indicates the likelihood of survival of a patient with breast cancer, and/or likelihood of recurrence of the disease in a patient being treated, or having been treated for cancer, and/or the likelihood of a patient having a metastatic form of cancer.
乳癌患者の生存可能性、および／または癌治療中または治療後の患者における疾病の再発の可能性、および／または患者が転移型癌を有する可能性の指標となる遺伝子発現パターンまたは分子サインを同定する。 - 特許庁 - To provide a system and a method for photolithography process, in which whether particles exist or not on the surface of a wafer charged to form a mask pattern is detected, and the process of the wafer is determined in accordance with the presence or non-presence of the particles.
パターンマスクを形成するために投入されるウェーハの表面上にパーチクルが存在するか否かを検査し、そのパーチクルの存在有無に従いそのウェーハの過程を決定するフォトリソグラフィー工程システム及びフォトリソグラフィー工程方法を提供する。 - 特許庁 - A layer made of a resist (resist layer) is formed on a substrate, a resist-protecting film comprising an antistatic resin and a photo-acid generating agent is formed on the resist layer, active-energy rays are made to selectively irradiate over the resist-protecting film, and the resist is developed to form a resist pattern.
基板上にレジストよりなる層（レジスト層）を形成し、レジスト層上に制電性樹脂と光酸発生剤とを含んでなるレジスト保護膜を形成し、レジスト保護膜に対し選択的に活性エネルギー線を照射し、レジストを現像し、レジストパターンを形成する。 - 特許庁 - When the connecting section 1c of the flexible printed board is bent into a U-shape or rolled form, the wiring pattern 1d becomes slanted with respect to the rotary shaft 3 and the bending direction A, and thereby takes in a twisted orbit, so that reduction of the flexibility is attained and cracks are prevented.
フレキシブルプリント基板接続部１cを、Ｕ字状またはロール状に屈曲させたとき、配線パターン１dは、回転軸３と曲げ方向Ａに対して斜めになり、ねじれた軌道をとるので、屈曲率を小さくすることができ、クラックを防止できる。 - 特許庁 - In front of a wall component consisting of a heat insulating material layer and an interior wall material layer and having fireproof performance, the metallic exterior wall panel with a machined rugged pattern is arranged, and the metallic exterior wall panel is bent backward so as to form a mounting part for its own.
断熱材層と内壁材層からなる耐火性能を有する壁構成材の前方に、凹凸模様が加工された金属製外壁板が設けられ、この金属製外壁板が後方に折り曲げ加工されて金属製外壁板の取付部が設けられている。 - 特許庁 - To provide a designing powder coating composition for precoat materials which can form the same textured pattern as in using a true fabric and, in addition, excels in processability, a method for forming a designing coating film, and a precoat material with designing coating.
本物の織布を使用したのと同様のテクスチャー意匠を形成することができ、しかも加工性にも優れた、プレコート材用意匠性粉体塗料組成物、意匠性塗膜の形成方法および意匠性を有する塗装プレコート材を提供すること。 - 特許庁 - The masking member 10 is a masking member for protecting a non-processed part from a hard particle such that a recessed part is formed by a predetermined pattern when the hard particle is injected to a surface of a cylindrical work to form the recessed part, that is, in the case of blast processing.
本発明のマスキング部材１０は、円筒状ワークの表面に硬質粒子を噴射して凹部を形成する際、いわゆるブラスト加工の際に、該凹部が所定のパターンで形成されるように、非加工部を前記硬質粒子から保護するためのマスキング部材である。 - 特許庁 - An organic high-molecular film is formed as an insulating base (1) on one of the surfaces of a conductive sheet or a foil by a vapor deposition polymerization method, and a prescribed circuit pattern (3) is formed on the insulating base (1) by subjecting the conductive sheet or the foil to processing to form the printed board.
導電性薄板又は箔の一方の面上に蒸着重合法により有機高分子膜を絶縁基体（1）として形成し、前記導電性薄板又は箔を加工して前記絶縁基体上に所定の回路パタ−ン（3）を形成したプリント基板。 - 特許庁 - An exposure mask pattern 22A has such a form of which the branch point part 22Ad is formed by connecting a part between the edge part 22Ab1 of a 1st branching mask part 22Ab and the edge part 22Ac1 of a 2nd branching mask part 22Ac with straight edge parts 51, 52, 53 in a trapezoidal shape.
露光用マスクパターン２２Ａは、分岐点部分２２Ａｄが、第１の分岐マスク部２２Ａｂの縁部２２Ａｂ１と第２の分岐マスク部２２Ａｃの縁部２２Ａｃ１との間とが、直線状の縁部５１、５２，５３でもって台形状に繋いである形状である。 - 特許庁 - To securely form an exposed pattern without gradation on the processing region of a substrate (a substrate surface, namely the exposed surface of a processing object) in application such as an exposure apparatus, a processing apparatus, a method of exposure, a method of manufacturing thin-film transistors, and a method of manufacturing a display device.
露光装置、処理装置、露光方法、薄膜トランジスタの製造方法および表示装置の製造方法などの用途において、基板（処理対象）の処理領域（基板表面すなわち露光面）に、ぼけのない露光パターンを確実に形成する。 - 特許庁 - The contact hole is pierced by the development, the insulation resin in the non-exposed area except the area of the contact hole is not dissolved in developing liquid to be left as it is and the other non-disposed area is dissolved at a slower speed compared with that of the disposed area to form the rugged pattern.
現像によりコンタクトホールに穴をあけ、それ以外の未露光領域の絶縁樹脂は現像液に溶けずそのまま残り、その他露光領域も露光領域と比較して遅い速度で溶解させ凹凸パターンを形成することを特徴とする。 - 特許庁 - To provide a single-layer printed circuit board whose material consumption is minimized, and that has small thickness, and can be manufactured in a simple process, by forming a number of holes in an insulation layer and filling the holes with a plated layer to form a circuit pattern, and provide its manufacturing method.
絶縁層に多数のホールを形成し、形成されたホールにメッキ層を充填して回路パターンを形成することにより、厚さが薄く製造工程が単純で原材料浪費を最小化した単層印刷回路基板及びその製造方法を提供する。 - 特許庁 - To form a sheathing layer by a single coating even if the sheathing layer in a specified pattern formed out of rubber, and synthetic resin covering the surface of a metallic plate consisting of a metallic gasket, is different in thickness by each area, or even in a case that the sheathing layer is thick.
金属ガスケットを構成する金属板の表面に被覆されたゴム、合成樹脂からなる所定パターンの被覆層の厚さが部位により異なる場合、或いは被覆層の厚さが厚い場合においても、該被覆層を１回のコーティングにより形成可能とする。 - 特許庁 - Thereon, by using a screen printing plate on which a shape whose peripheral edge is extended by 0.7 mm from the required pattern is made into a printing plate, the shape is printed with an adhesive layer ink with a color close to a color of the object to be transferred, to form an adhesive layer 18, and to obtain a transfer sheet A.
その上より、所要図柄より周縁が０．７ｍｍ拡張された形状を製版したスクリーン版により、転写対象物の色に近似した色の接着層インキによりその形状を印刷し、接着層１８を形成し、転写シートＡを得た。 - 特許庁 - A drawing where the selected ceiling blow-off opening is arranged is generated and the drawing is displayed on a screen (display of the form number of the blow-off opening which can be arranged 5, the calculation of an arranging pattern 6, an arranging image display 7 and the arrangement of blow-off opening 8).
そして、選定した天井吹出し口を前記居住区域に配設した図面の作成を行い、その図面を画面上に表示する（配置できる吹出し口形番の表示５、配置パターンの計算６、配置イメージ表示７、吹出し口の配置８）。 - 特許庁 - After a positive type resist is coated on a test substrate and it is brought into a focus by using a mask original plate for a test pattern to expose at a plurality of parts, development is carried out to form the test patterns composed of remaining patterns at the plurality of parts on the test substrate, respectively (step S11).
テスト基板上にポジ型レジストを塗布し、テストパターン用マスク原版を用いてフォーカスを振って複数個所に露光した後、現像を行なって、テスト基板上の複数個所にそれぞれ残しパターンからなるテストパターンを形成する（ステップＳ１１）。 - 特許庁 - A resist pattern 22 is formed on a metal substrate 21, and then a conductor 23 which becomes an electrode is grown by plating at a resist opening part to form an electrode, such that the ratio of the electrode thickness to an inter-electrode distance is ≥1, thereby obtaining the electrode of the Peltier element.
金属基板２１上にレジストパターン２２を作成し、その後レジスト開口部に電極となる導体２３をメッキ法により成長させ、電極厚の電極間距離に対する比が１以上である電極を作成し、ペルチェ素子の電極とする。 - 特許庁 - Further in the planar magnetic head, by forming elements on both inflow end and outflow end of a flying surface, and by rotating through 180 degrees to form the flying surface pattern based on quality decision when required, the utilization of a furthermore double number of elements is achieved.
さらにプレーナ形磁気ヘッドに於いては、浮上面の流入端・流出端の両方に素子を形成し、上記良否判定に基づき必要な場合は浮上面パタンを１８０度回転させて形成することにより、さらに倍の数の素子が利用可能となる。 - 特許庁 - When a photosensitive resist 2 is exposed through a mask 1 having optical windows 11, 12 and an isolated light shield 142 and developed to form an isolated resist pattern 22, a mask width W10 of the shield 142 is set to 80-97% of an exposure wavelength λ.
光学的窓１１，１２及び孤立遮光体１４２を有するマスク１を通して感光性レジスト２を露光し、現像して孤立レジストパターン２２を形成する際、孤立遮光体１４２のマスク幅Ｗ１０を、露光波長λの８０〜９７％にする。 - 特許庁 - The scanning line converter disclosed herein provides a moving picture with higher accuracy, more improved stability and higher resolution by adding a discrimination condition as to whether inter-field embedded video signals form a checkered pattern to the conventional motion detection and edge detection.
従来の動き検出およびエッジ検出に加えて、フィールド間のはめ込み映像信号が市松状パターンになるかどうかを判定条件に付加することにより、より正確かつ安定で解像度の高い動画像を提供する走査線変換装置を提供する。 - 特許庁 - At least one line of the turned inner lines 71b is a display line 710 painted with a different color or pattern according to the longitudinal direction and the display line 710 is partially exposed from an outer layer 72a to form the display part 80.
折り返された内層線７１ｂの少なくとも一本は、長さ方向位置に応じて異なる色彩または模様に塗り分けられた表示線７１０であり、この表示線７１０が部分的に外層７２ａから露出されて表示部８０を構成する。 - 特許庁 - A stereoscopic image display device includes: a liquid crystal display on which a pixel pattern for a single eye is displayed; an electrophoretic display that is bonded to the liquid crystal display; and an AC power supply that applies AC voltage to the electrophoretic display to form a parallax barrier.
単眼用画素パターンが表示される液晶ディスプレイと、前記液晶ディスプレイに貼り合わせされる電気泳動ディスプレイと、前記電気泳動ディスプレイに交流電圧を印加して視差バリアを形成する、交流電源とを備えた立体画像表示装置。 - 特許庁 - A method for forming the wiring pattern includes a step (A) of dropping a droplet having a diameter smaller than the first width and larger than second width onto the first area to form the conductive material layer covering both first and second areas.
そして、配線パターン形成方法は、前記第１の幅以下かつ前記第２の幅以上の直径の液滴を前記第１領域に向けて吐出して、前記第１領域と前記第２領域とを覆う前記導電性材料層を形成するステップ（Ａ）を含む。 - 特許庁 - During such a process that a solder resist 4a is applied and tentatively hardened onto an insulated substrate 2 on which a conductor pattern 3 is formed and the solder resist 4a is exposed to ultraviolet radiation through an exposure mask film 5, ultraviolet light is selectively diffused to form a solder resist 4.
導体パターン３が形成された絶縁基板２上にソルダレジスト４ａを塗布、仮硬化し、露光用マスクフィルム５を介しソルダレジスト４ａを紫外線で露光する工程において、紫外光を選択的に拡散させてソルダレジスト４を形成する。 - 特許庁 - The connected struts (14) may be connected by spot welding, continuous welding, or suturing, for example, or by a bridging member (26) connected to each strut (14), and may be spaced along the length of the stent in a pattern to form a connective spine (16).
接続されたストラット（１４）は、スポット溶接、連続溶接、もしくは縫合によって、または例えば、各ストラット（１４）に接続されたブリッジ部材（２６）によって接続され得、接続支柱（１６）を形成するようにあるパターンでステント長さに沿って間隔を空けられ得る。 - 特許庁 - To provide a negative image forming method, using a negative type developer, which greatly reduces defects due to residue during formation of a negative image so as to stably form a high-precision fine pattern in order to manufacture an electronic device of high integration and high precision.
高集積かつ高精度な電子デバイスを製造するための高精度な微細パターンを安定的に形成するために、ネガ画像の形成において、残渣系の欠陥を著しく低減できる、ネガ型現像液を用いたネガ画像形成方法を提供する。 - 特許庁 - The part of the container opposing to many absorbing holes 8 arranged on a mold surface of a molding die 7 are pulled in the absorbing holes 8 to form protruding traces 6 wherein the protruding traces are distributed on the label 3 in a desired arrangement showing a pattern, braille points 5 or the like.
成形金型７の型面に開設した多数の吸引孔８と対向する箇所が、該吸引孔８に引込まれることにより形成される突起状の痕跡６を、ラベル３に模様や点字５等を形成する所望の配列で分布させた。 - 特許庁 - To provide a radiation-sensitive resin composition that is excellent in fundamental properties of a resist, such as sensitivity and resolution, even if a thin film, is excellent in exposure latitude when a line pattern is formed, and can form a resist film for reducing residues after development.
薄膜であっても、感度、解像度等のレジストとしての基本物性に優れるとともに、ラインパターンを形成する際における露光余裕度が優れ、また、現像後の残渣を低減させるレジスト膜を形成可能な感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁 - To provide a waterless lithographic printing plate with which the edge form in a print is made sharp and the provides print having no defect such as waves, whiskers or thickening, in the process of forming a fine pattern such as a back plate for a plasma display panel and electronic parts.
プラズマディスプレイパネル用の背面版や電子部品等の微細なパターンを形成する際において、印刷物のエッジ形状がシャープに形成でき、しかも、印刷物にうねりや、ヒゲや、太り等の欠陥が生じない水なし平版印刷版を提供する。 - 特許庁 - The image forming device has an electrophotographic image forming unit that forms a toner image on a printing medium and a control device that makes the image forming unit form a specific pattern image when a numeric value indicating an amount of the operation of the image forming unit reaches a specific value.
印刷媒体上にトナー画像を形成する電子写真式の画像形成ユニットと、該画像形成ユニットの動作量を表す数値が所定値に到達すると、前記画像形成ユニットに所定のパターンイメージを形成させる制御装置とを有する。 - 特許庁 - To increase the visibility of the diagonally front road surface of a vehicle without generating large light distribution unevenness by a simple and low-cost lamp structure, in a vehicle headlamp which is constructed so as to enable light irradiation to form a low beam light distribution pattern.
ロービーム用配光パターンを形成するための光照射を行い得るように構成された車両用前照灯において、簡単かつ安価な灯具構成により、大きな配光ムラを発生させることなく車両斜め前方路面の視認性を高める。 - 特許庁 - To provide a polishing liquid which is used for metals, can reduce the quantity of erosion in a metal wiring portion having a high wiring density in comparison with that by conventional technology, and can form a metal film-buried pattern having high reliability, and to provided a polishing method using the same.
配線密度の高い金属配線部でのエロージョン量を従来技術よりも小さくすることを可能とし、信頼性の高い金属膜の埋め込みパタ−ン形成を可能とする金属用研磨液及びそれを用いた研磨方法を提供する。 - 特許庁 - A halftone material film 11 and a resist film 21 are formed on a transparent substrate 1 consisting of synthetic quartz or the like and the resist film 21 is subjected to a series of patterning procedures such as patternwise exposure and development to form a resist pattern 21a on the halftone material film 11.
合成石英等からなる透明基板１上に、ハーフトーン材料膜１１及びレジスト膜２１を形成し、レジスト膜２１をパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、ハーフトーン材料膜１１上にレジストパターン２１ａを形成する。 - 特許庁
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