A divided part selector 12 divides a processing module 111 into two or more sub-modules (not shown in the figure) in accordance with a load state generated during the execution of the module 111 and the sub-modules are distributed to an information processing system including the information processor 11 and other information processing systems (not shown in the figure) connected to the network 14. 分割部分選択装置12は、処理モジュール111の実行時の負荷状況に応じて、この処理モジュール111を複数のサブモジュール(ここでは図示していない)に分割し、このサブモジュールを、この情報処理装置11を含む情報処理システム、及びネットワーク14上の他の情報処理システム(ここでは図示していない)上に配分する。 - 特許庁
To make a grease small in thickness under a lower load in connecting a semiconductor module with a housing via the grease on the other surface side of an insulating layer in the semiconductor module formed by: disposing a lead frame on one surface of the insulating layer; mounting a circuit element on the lead frame; and molding them with a resin to expose the other surface of the insulating layer. 絶縁層の一面上にリードフレームを設け、そのリードフレームに回路素子を搭載し、絶縁層の他面を露出させるように、これらを樹脂でモールドしてなる半導体モジュールにおいて、当該半導体モジュールを絶縁層の他面側にて、グリースを介して筐体に接続する際に、より低い荷重でグリースを薄くできるようにする。 - 特許庁
The load drive system comprises a thermoelectric conversion module 30 having a heat absorption plane 30a arranged in the passage 41 for exhausting combustion gas from an engine and a heat radiation plane 30b arranged on the cooling water piping 46 passing the cooling water of engine, and drive motors 11A and 11B of a cooling fan which is driven with power converted through the thermoelectric conversion module 30. エンジンから排出される燃焼ガスの排気路41に吸熱面30aが配置され、エンジンの冷却水が流れる冷却水配管46に放熱面30bが配置された熱電変換モジュール30と、熱電変換モジュール30で変換された電力により駆動される冷却用ファンの駆動モータ11A、11Bとを含んで構成されている。 - 特許庁
The device includes a power semiconductor module or an arrangement of at least one power semiconductor module, a first shaped body at reference potential, and at least two DC load connection elements of differing polarity which are arranged in the interior of the device to serve for the connection of power semiconductor components to connection elements for added external connection. パワー半導体モジュール又は少なくとも1つのパワー半導体モジュールの構成部と、第1形成体を備えている基準電位と、パワー半導体構成素子を外部接続するために付設されている端子要素と接続するため、装置内に配されている異なる極性の少なくとも2つの直流負荷接続要素とを有している。 - 特許庁
A parallel grain size adjustment part 230 in a run time library 200 measures various execution time by a reference moduleload measuring part 233 and a run time load measuring part 234, manages the various execution time by a profile information collection part 231 and execute grain size adjustment based on the measurement information managed by the profile information collection part 231. ランタイムライブラリ200の並列粒度調整部230は、各直列基本モジュールの実行時、基本モジュール負荷測定部233およびランタイム負荷測定部234により各種実行時間を測定してプロファイル情報収集部231にて管理し、このプロファイル情報収集部231にて管理された測定情報に基づいた粒度調整を実行する。 - 特許庁
Then, when the total of the supplied power to the specific load measured by a first DC current detection section 214 and the used power for other loads exceeds the maximum power which can be supplied by a commercial power source 201, the changeover switch 206 is controlled so that power supply to the specific load can be carried out from the capacitor module 203. そして、第1のDC電流検知部214により測定された特定負荷への供給電力とその他の負荷の使用電力との合計が、商用電源201が供給可能な最大電力を越える場合、特定負荷への電力供給をキャパシタモジュール203から行うように切換スイッチ206を制御する。 - 特許庁
To provide a substrate for power module with high reliability, which can promote the diffusion of heat from a heating body such as an electronic component mounted on a first metallic plate, and suppress the generation of a crack on a ceramic substrate under the load of a thermal cycle. 第一の金属板の上に搭載された電子部品等の発熱体からの熱の放散を促進することができ、かつ、熱サイクル負荷時におけるセラミックス基板の割れの発生を抑制し、信頼性の高いパワーモジュール用基板を提供する。 - 特許庁
To avoid increase in the load on the client device of a client/server type system and on an interconnected transmission line by suppressing the infinite repetition of resending of a response signal of a function module until it is restored, if a fault occurs to the server device of the system. クライアント・サーバ型システムにおいて、サーバ装置に障害が発生した場合、復旧するまでの機能モジュールの応答信号の再送の無限の繰り返しを抑制し、クライアント装置や相互接続された伝送路の負荷の増大を回避する。 - 特許庁
The information processing apparatus allocates the selected function to a memory area of the internal memory, allocates a function that is not the selected function and is called from the selected function to an area close to the memory area of the internal memory, and generates an internal loadmodule. 情報処理装置は、選択関数を内部メモリの記憶領域に割り当て、選択関数から呼び出される選択関数以外の関数を内部メモリの記憶領域に近接する領域に割り当てて内部ロードモジュールを生成する。 - 特許庁
A power source system 508 uses the FPA and includes a front end power regulator (PRM) 503 which provides a voltage Vf to a controlled factorized DC bus and a DC voltage transformation module (VTM) 505 which outputs a desired voltage to a load 41. 電源システム508は,FPAを用いており,制御されたファクタ化DCバスに電圧Vfを供給するフロントエンドレギュレータ(PRM)503と,負荷41に所望電圧を出力するDC電圧変換モデュール(VTM)505を含んでいる。 - 特許庁
To provide a program capable of reducing the processing load of a using destination which uses predetermined data of object data constituted by a plurality of module data including the predetermined data and identification data for identifying the predetermined data. 所定のデータと当該所定のデータを識別する識別データとをそれぞれ含む複数のモジュールデータで構成される対象データ内の前記所定のデータを利用する利用先の処理負担を軽減することができるプログラムを提供する。 - 特許庁
An arrangement section 122 decides an arrangement order of each function in a loadmodule 134 based on the function execution frequency information 141 stored in the frequency recording section 121 so that each function is arranged in the descending order of the execution frequency. 配置部122は、頻度記録部121により記憶された関数実行頻度情報141に基づき、各関数が当該実行頻度の高い順に配置されるように、ロードモジュール134における各関数の配置順序を処理装置で決定する。 - 特許庁
A program structure extracting means 101 reads a source program becoming the generation object of a loadmodule, flow-analyzes a function in the source program and generates a program structure graph showing a relation between function calling and a loop containing function calling. プログラム構造抽出手段101は、ロードモジュールの作成対象となるソースプログラムを読み込み、ソースプログラム中のファンクションをフロー解析し、ファンクション呼び出しとファンクション呼び出しを含むループとの関係を表すプログラム構造グラフを作成する。 - 特許庁
To provide a stack size setting device for realizing the valid use of a memory and the improvement of system performance, and for reducing the labor of a human being by estimating the optimal stack size by the execution of a loadmodule without any logical estimation of a human being. メモリの有効使用及びシステム性能の向上を図り、人間の論理的な見積りなしにロードモジュールの実行によって最適スタックサイズを見積ることで人間の労力を減らすことができるスタックサイズ分析装置を提供する。 - 特許庁
A cell laminated body with a plurality of cells laminated, an end plate arranged outside a lamination direction of the cell laminated body, and a spring module 23 fitted between the cell laminated body and the end plate for adjusting a compression load on the cell laminated body are provided. 複数のセルが積層されてなるセル積層体と、セル積層体の積層方向の外側に配置されたエンドプレートと、セル積層体とエンドプレートとの間に設けられてセル積層体への圧縮荷重を調整するスプリングモジュール23とを設ける。 - 特許庁
The remote controller 7 includes: a control unit 72 which generates a control signal to the opening and closing function module 3; a transmitting and receiving unit 73 which transmits and receives a radio signal to and from the load control switch 1; and a notification unit 74 which notifies the user of the location of the remote controller 7. リモコン装置7は、開閉機能モジュール3への制御信号を生成する制御部72と、負荷制御スイッチ1と無線信号を送受信する送受信部73と、リモコン装置7の所在をユーザに知らせる報知部74とを備える。 - 特許庁
To secure a setup margin for a CA signal and a hold margin for a CTRL signal by achieving the Pre-launch function to the CA signal and the Post-launch function to the CTRL signal in a Load Reduced memory module. Load Reduced型のメモリモジュールにおいて、CA信号にPre−launch、CTRL信号にPost−launch機能を実現し、CA信号のセットアップマージン、CTRL信号のホールドマージンを確保する。 - 特許庁
To provide a ferroelectric memory element and a manufacturing method thereof capable of reducing a load in an etching process for a storage electrode and a plate electrode, and capable of realizing higher integration of a ferroelectric capacitor module. ストレージ電極およびプレート電極のエッチング工程における負荷を軽減させるとともに、強誘電体キャパシタモジュールを高集積化させることができる強誘電体メモリ素子の製造方法および強誘電体メモリ素子を提供すること。 - 特許庁
A protection system 72 for a power distribution system includes a bus voltage sensing unit 92 to measure a bus voltage or a load voltage and a demand response module 94 for estimating available demand resources on the distribution system for a period of interest. 配電システム用の保護システム72は、母線電圧もしくは負荷電圧を測定するための母線電圧検知ユニット92と、関心期間の間、配電システム上で利用可能な需要資源を推定するための需要応答モジュール94とを含む。 - 特許庁
To solve a problem that, in a plurality of power supply systems using conventional loop circuits, when even one fault occurs in a power supply module, the loop circuit is brought into an "opened state", and as a result, a power supply cannot start power feeding to a load, or may stop the power feeding. 従来のループ回路を用いた複数電源システムでは、1つでも電源モジュールに障害が発生すると、ループ回路が"開"となってしまい、電源が負荷に対して電力の供給を開始できない、もしくは供給を停止してしまう。 - 特許庁
To provide a fuel cell storage battery and a battery module, which can use electric energy supplied at the time of excessive charge by saving as a gas and by reconverting into the electric energy and is excellent in energy utilization efficiency, energy density, and a load following property. 過充電時に供給される電気エネルギーを、ガスとして貯蔵し電気エネルギーに再変換して利用することが可能で、エネルギー利用効率、エネルギー密度および負荷追従性に優れる燃料電池蓄電池および電池モジュールを提供する。 - 特許庁
A vehicle generator 1 has: stator coils 2 and 3; two rectifier module groups 5 and 6; a controller 100 that on-off controls a MOS transistor; a field coil 4; a power generation control device 7; and a load dump protection determination part 140. 車両用発電機1は、固定子巻線2、3と、2つの整流器モジュール群5、6と、MOSトランジスタのオンオフを制御する制御部100と、界磁巻線4と、発電制御装置7と、ロードダンプ保護判定部140とを備えている。 - 特許庁
The base printed circuit board 150 is of a usual structure, and has a terminal 103-2 or the like to which the COB module 110 is connected, battery terminals 101, 102 which are to be connected to the battery, and the output terminals 103, 104 to be connected to the load. ベースプリント基板150は、通常の構造であり、COBモジュール110が接続される端子103−2等と、電池に接続されるための電池端子101,102と、負荷に接続されるための出力端子103,104とを有する。 - 特許庁
Upon linking, a linker 113 performs a relocation processing by reading and interpreting the calculation procedure for performing the relocation and the bit position to store the calculation results, the relocation being associated with the object file 107, and generates a loadmodule 116. リンカ113は、リンク時に、オブジェクトファイル107と関連付けられたリロケーションを行うための計算手順と計算結果を格納すべきビット位置とを読み出し解釈することによってリロケーション処理を行い、ロードモジュール116を生成する。 - 特許庁
To provide a compressor module having general versatility by reducing the operating load of an external control unit provided at the other place than a compressor even when there is a different type of vehicle on which the compressor is mounted, and provide a vehicular control device using the same. 圧縮機を搭載する車種が異なる場合においても圧縮機以外の箇所に設けられた外部制御ユニットの演算負荷を低減することで汎用性のある圧縮機モジュールと、これを利用した車両用制御装置を提供する。 - 特許庁
In the composit type computing device 100, when an operation system 1101 issues an instruction for turning a processor 1021 into a sleep state of its processor according to a load status, a management network MI is used to notify a management module 107 of the change of the state of the processor. 複合型計算機装置100において、オペレーションシステム1101が負荷状況によりプロセッサ1021をプロセッサのスリープ状態へ移行する命令を発行する場合に管理用ネットワークMIを用いて管理モジュール107にプロセッサの状態の変更を通知する。 - 特許庁
To solve the problem of the deterioration in performance of a bus, due to an unbalance in delayed amount and quality of signals due to the load on the bus differing on a superordinate side and a subordinate side, because the superordinate side is not used, when connecting a subordinate module with a narrow bus width. バス幅が狭い下位モジュールを接続する場合、バスの上位側は使用しないので上位側と下位側でバスの負荷が異なるため、遅延量や信号の品質がアンバランスになり、またバスのパフォーマンスが低下するという課題を解決する。 - 特許庁
To provide a solar power generation device that reduces the cooling load in a building by shielding radiation heat from a solar battery module while maintaining power generation efficiency without impeding the reduction in height and weight when it is installed on an exterior material of a building. 建物の外装材に設置される場合、低背化や軽量化、を妨げることなく発電効率を高く維持しつつ、太陽電池モジュールからの放射熱を遮断することで、屋内の冷房負荷を軽減する太陽光発電装置、を提供する。 - 特許庁
To provide a skeleton execution module capable of rationalizing the fitting work of a horizontal member with a horizontal shifting device dedicated in a divided execution area and shortening an execution cycle with the load reduction of a large crane in the skeleton construction work. 区分された施工エリア内専用の水平移送デバイスによる水平部材の取付作業の合理化と、躯体構築作業での大型クレーンの負荷低減とによる施工のサイクル短縮とを可能となす躯体施工用モジュールを提供する。 - 特許庁
The supply power controller 110 includes: an input side filter circuit 111; an IGBT converter 112; a current transformer 113; a voltage measurement line 123; a power supply fluctuation detecting module feed forward circuit 114; a frequency converter circuit 115; an output side filter circuit 116; a current transformer 117; a voltage measurement line 118; and a load fluctuation detecting module feed back circuit 119. 供給電力調節器110は、入力側フィルタ回路111、IGBT変換器112、カレントトランス113、電圧測定ライン123、電源変動検出手段フィードフォワード回路114、周波数変換回路115、出力側フィルタ回路116、カレントトランス117、電圧測定ライン118、及び負荷変動検出手段フィードバック回路119を備えている。 - 特許庁
In a controller 100 for controlling a solar cell system which includes a solar cell 1, a battery module 2, and a load 3, an open-circuit voltage estimation part 120 estimates the open-circuit voltage of the battery module 2, based on a battery voltage acquired by measurement immediately prior to the interruption of charging and a battery voltage acquired by measurement, after the interruption of the charging. 太陽電池1、蓄電池モジュール2および負荷3を備えた太陽電池システムを制御する制御装置100において、開回路電圧推定部120が、充電が中断される直前に測定された蓄電池電圧および充電が中断された後に測定された蓄電池電圧に基づいて、蓄電池モジュール2の開回路電圧を推定する。 - 特許庁
The allocation module 222 is configured by connecting allocation modules 231 corresponding one by one to each ONU 102 in a ring form, they sequentially execute allocation processing as to a bandwidth of two preceding service cycles, the allocation module 231 for starting the allocation by each service cycle is shifted so as to relieve a load of the allocation processing and assures the allocation impartiality. 割当部222はそれぞれのONU102に1つずつ対応するアロケーションモジュール231をリング状に接続した構成となっており、2サービスサイクル先の帯域についてこれらが順番に割当処理を行う一方、サービスサイクルごとに割当を開始するアロケーションモジュール231をシフトさせていき、割当処理の負荷の軽減と割当の公平さを確保している。 - 特許庁
This composite gas supply device has the air compressor 21, an air piping system 22 for supplying the pressurized air from this air compressor 21 to the load equipment, a branch piping 23 branched from the air piping system 22, a nitrogen separating membrane module 24 disposed at the branch piping 23 and a nitrogen piping system 25 for supplying the separated pressurized nitrogen to the load equipment. 複合気体供給装置は、空気圧縮機21と、その空気圧縮機21からの加圧空気を負荷設備に供給する空気配管系統22と、空気配管系統22から分岐された分岐配管23と、分岐配管23に設けられた窒素分離膜モジュール24と、分離された加圧窒素を負荷設備に供給する窒素配管系統25とを備える。 - 特許庁
To provide an imaging element module which is incorporated in electronic equipment such as a photographing lens unit, efficiently cools the heat of an imaging element using heat pipes, does not increase the load resistance of a driving means of driving the imaging element, is easy to be assembled, and can be made compact in size. 撮影レンズユニットなどの電子機器に組み込まれ、撮像素子の熱をヒートパイプを用いて効率がよく冷却し、撮像素子を駆動する駆動手段の負荷抵抗が増大せず、また、組み立ても簡単でコンパクト化も可能な撮像モジュールを提供する。 - 特許庁
To reduce the structural size of the module, the pressure contact between the contact elements 3, 4 and the contact regions 10, 11 is provided by at least one electrical component 12 arranged between the spring element 19 and one of the load connection elements 1, 2. 構造のサイズを小さくするために、接触要素3、4と接触領域10、11との間における圧力接触が、バネ要素19と負荷接続要素1、2の1つとの間に配置された少なくとも1つの電気構成要素12によってもたらされる。 - 特許庁
To solve the problem, wherein it is not possible to control the operating state and the stopped state of an individual power-source module so that it becomes an optimum redundant configuration, with respect to the maximum power consumption of a load, in a power source device including power source modules respectively having different power source capacities. 電源容量が異なる電源モジュールを有する電源装置において、負荷の最大消費電力に対して最適な冗長構成となるように個々の電源モジュールの運転状態および停止状態を制御することができない。 - 特許庁
The sub-transportation unit 36 transports the processed substrate W from the load-lock chamber 14b to the storage 26, and a main-transportation unit 18 of the loader module 15 returns the processed substrate W from the storage 26 to one of transportation containers of mounting bases 22a to 22c. この副搬送ユニット36によってロードロック室14bからストレージ26まで処理済みの基板Wを搬送し、ローダーモジュール15の主搬送ユニット18によってストレージ26から載置台22a〜22cの運搬容器に処理済みの基板Wを戻す。 - 特許庁
To discriminate the kind and melting point of glass base material and to separate a liquid crystal glass panel, so as to avoid losses in which low-melting point glass is fused in a high-temperature melting furnace which gives extensive load to the environment, when a liquid crystal glass panel of a liquid crystal module is to be recycled. 液晶モジュールの液晶ガラスパネルをリサイクルする場合、低溶融点ガラスを、環境負荷の大きい高温溶融炉で溶融するロスを回避するために、ガラス基材の種類や溶融点で判別し、液晶ガラスパネルを分別することが必要である。 - 特許庁
Descriptor information for image processing parameters of an image processing parameter DMAC 5 in an image processing module 2 is not directly set to an internal register by a control part 1 but is read through DMA processing by the image processing module 2 after being temporarily stored in a memory 3, whereby the load on the CPU in the control part 1 can be reduced and a processing speed of image processing can be increased. 画像処理モジュール2の画像処理パラメータDMAC5の画像処理パラメータ用のディスクリプタ情報を設定する内部レジスタに、そのディスクリプタ情報を制御部1が直接レジスタ設定するのではなく、一旦メモリ3に置いてからDMA処理によって画像処理モジュール2が読み込むようにしているので、制御部1のCPU負荷の低減と画像処理に要する処理速度の向上が可能になる。 - 特許庁
To provide a system reducing a processing load of a driver for forming while requesting a process region necessary for image processing between each module by the driver when there is a plurality of modules executing different processes of image processing, and capable of suitably increasing or reducing the number of modules executing image processing. 異なる画像処理を実行するモジュールが複数ある場合、ドライバは各モジュール間にて画像処理に必要な処理領域を要求しつつ生成させるため、ドライバの処理負荷を低減させるとともに、画像処理を実行するモジュールを適宜増加減することができるシステムを提供する。 - 特許庁
To reduce the CPU load by minimizing arithmetic processing, and to reduce the delay in time from the measurement to the arithmetic processing, in measuring a plurality of measurement points with different periods using a plurality of measurement modules, and in performing the calculation on each measurement module. 複数の測定モジュールを用いて複数の測定点を異なる周期で測定し、各測定モジュールについての演算を行うのにあたり、演算処理を最小限にすることによりCPU負荷を少なくするとともに、測定から演算処理までの時間遅れを少なくすること。 - 特許庁
To provide an optical pickup device capable of maintaining an optimal position at a high positional accuracy without lowering a bonding strength even when a stress due to an external load by bending moment or circumstantial changes is caused to an optical part module, particularly in the case where the optical pickup device is thin. 特に薄形の光ピックアップ装置に対して、曲げモーメントによる外的負荷や環境変化によるストレスが光学部品モジュールに生じた場合でも、接着強度が低下することなく高い位置精度で最適な位置を保持できる光ピックアップ装置を提供することにある。 - 特許庁
In a battery pack 200-1, a plurality of battery modules 100-1 are connected in series and in accordance with an instruction from a load control section 305 which performs discharging control on the battery pack, a voltage outputted from each battery module is switched to a high voltage and a low voltage that is not 0. 電池パック200−1内において、複数の電池モジュール100−1を直列接続し、電池パックについて放電制御を行う負荷制御部305の指示に従い、各電池モジュールが出力する電圧を、高電圧と、0ではない低電圧とに切り換える。 - 特許庁
A two-stage scroll compressor 10 switchable between low capacity and high capacity is subjected to continuously repetitive operation between low capacity and high capacity through a thermostat 402 and a control module 190 by a load limit control signal 416 from a power supply company. 低容量と高容量とに切替え可能な2段階スクロール式圧縮機10を電力会社からの負荷制限制御信号416により、サーモスタット402及び制御モジュール190を介して低容量と高容量との間で連続して反復作動させる。 - 特許庁
In this planetary gear mechanism 1, a sun gear 91 as an input gear receives a smaller load than an internally toothed output gear 45, so that the gears (second planet gears 95) having a smaller module are connected to planet gears 93, and the sun gear 91 is in engagement with the second planet gears 95. 遊星歯車機構1においては、出力内歯ギア45よりも入力ギアである太陽ギア91の方が負荷が小さいので、遊星ギア93にモジュールの小さいギア(第2遊星ギア95)を接続するとともに、第2遊星ギア95に太陽ギア91が噛み合わされている。 - 特許庁
A cell laminated body 22 with a plurality of cells 21 laminated, an end plate 12 arranged outside a lamination direction of the cell laminated body 22, and a spring module 23 fitted between the cell laminated body 22 and the end plate 12 for adjusting a compression load on the cell laminated body 22 are provided. 複数のセル21が積層されてなるセル積層体22と、セル積層体22の積層方向の外側に配置されたエンドプレート12と、セル積層体22とエンドプレート12との間に設けられてセル積層体22への圧縮荷重を調整するスプリングモジュール23とを設ける。 - 特許庁
Then a version specification source file B constituting the loadmodule 4 is taken out and a file of the file database 8 is updated, the file database 8 is set to a locked state; when a file is taken out of the latest source file 2, the file database 8 is unlocked. その後、ロードモジュール4を構成する版数指定ソースファイルBの取り出しを行うとともに、ファイルデータベース8のファイル更新時、ファイルデータベース8に対してロック設定を行い、最新ソースファイル2からファイルの取り出しが行われると、ファイルデータベース8に対してロック解除を行う。 - 特許庁
To provide a technology in which a first plating film thickness formed on a surface of a connector lead for a relay module to be mounted on a vehicle electric unit to control a load can be differentiated from a second plating film thickness formed on a surface of a circuit board connecting lead. 負荷の制御を行う車載用電装ユニットに搭載されるリレーモジュールのコネクタ用リードの表面に形成される第1メッキ膜の厚さと、基板接続用リードの表面に形成される第2メッキ膜の厚さとを異ならせることのできる技術を提供する。 - 特許庁
The fuel cell is provided with a cell laminated body 22 with a plurality of cells 21 laminated, an end plate 12 arranged outside a lamination direction of the cell laminated body 22, and a spring module 23 fitted between the cell laminated body 22 and the end plate 12 for adjusting a compression load to the cell laminated body 22. 複数のセル21が積層されてなるセル積層体22と、セル積層体22の積層方向の外側に配置されたエンドプレート12と、セル積層体22とエンドプレート12との間に設けられてセル積層体22への圧縮荷重を調整するスプリングモジュール23とを設ける。 - 特許庁
Furthermore, a wafer transfer device 24 for transferring a wafer W from the upstream side is disposed in each processing unit 11, and the wafer transfer device 24 for transferring the wafer W to the load lock chamber 2b from the processing unit 11 on the downstream end is disposed in the transfer module 12. また、各々の処理ユニット11内に上流側からウエハWを移載するためのウエハ搬送装置24を配置すると共に、下流端の処理ユニット11からロードロック室2bにウエハWの移載を行うためのウエハ搬送装置24を搬送モジュール12内に設ける。 - 特許庁