To provide a pattern forming apparatus and a pattern formation method with fewer failures in drawing a pattern due to level difference. 段差によるパターンの描画不良を低減したパターン形成装置及びパターン形成方法を提供する。 - 特許庁
PIP PATTERN PRODUCING DEVICE FOR BINGO SHEET, PIP PATTERN PRODUCING PROGRAM FOR BINGO SHEET, AND METHOD OF PRODUCING PIP PATTERN FOR BINGO SHEET ビンゴシート用目パターン生成装置、ビンゴシート用目パターン生成プログラム、およびビンゴシート用目パターン生成方法 - 特許庁
METHOD FOR DESIGNING LAYOUT PATTERN OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT, DEVICE FOR DESIGNING LAYOUT PATTERN, AND PROGRAM FOR DESIGNING LAYOUT PATTERN 半導体集積回路のレイアウトパターン設計方法、レイアウトパターン設計装置およびレイアウトパターン設計用プログラム - 特許庁
In the method for producing a resist pattern, a resist pattern is formed and the surface of the pattern is coated with the thickening material. レジストパターンを形成後、該パターン表面に前記厚肉化材料を塗布するレジストパターンの製造方法。 - 特許庁
METHOD FOR ADAPTING PATTERN DIMENSIONS WHEN PROJECTING PATTERN OF PATTERN ELEMENT ON SEMICONDUCTOR WAFER BY PHOTOLITHOGRAPHY 半導体ウェーハ上にパターン要素のパターンをフォトリソグラフィによって投影する際のパターン寸法を適合する方法 - 特許庁
To provide a method for forming a resist pattern to easily suppressing pattern collapse when a fine pattern is formed. 微細なパターンを形成する際のパターン倒れを容易に抑制できるレジストパターン形成方法を提供する。 - 特許庁
FORMING METHOD FOR CONDUCTIVE PATTERN, COMPOSITION FOR FORMING CONDUCTIVE PATTERN, AND ELECTRONIC PART PROVIDED WITH CONDUCTIVE PATTERN 導電性パターンの形成方法、導電性パターン形成用組成物および導電性パターンを有する電子部品 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, PATTERN FORMING MATERIAL, PHOTOSENSITIVE LAMINATE, PATTERN FORMING APPARATUS AND METHOD OF PATTERN FORMATION 感光性組成物、パターン形成材料、感光性積層体、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法 - 特許庁
In a method for forming the resist pattern, the resist pattern is formed and then the surface of the resist pattern is coated with the resist pattern thickening material to form a thickened resist pattern. レジストパターンを形成後、該レジストパターン表面に前記レジストパターン厚肉化材料を塗布することにより厚肉化レジストパターンを形成するレジストパターンの形成方法。 - 特許庁
To provide a pattern measurement device and a pattern measurement method that easily discriminate between a line pattern and a space pattern without being affected by luminance of a pattern. パターンの輝度の影響を受けることなく、ラインパターンとスペースパターンを容易に識別することのできるパターン測定装置及びパターン測定方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a pattern collating device of a line pattern capable of strictly identifying any deformation in the input pattern, a pattern collating method thereof, and a pattern collating program. 入力図形に変形があっても厳密に識別することのできる、線図形のパターン照合装置とそのパターン照合方法、及びパターン照合プログラムを提供する。 - 特許庁
PATTERN FILM-FORMING MASK FOR SOLUTION COATING, ITS MANUFACTURING METHOD, PATTERN FILM-MANUFACTURING METHOD, AND MANUFACTURING METHOD OF ORGANIC THIN FILM TRANSISTOR 溶液塗布用パターン製膜用マスクとその製造方法、パターン膜の製造方法、有機薄膜トランジスタの製造方法 - 特許庁
FORMING METHOD OF WIRING PATTERN, MANUFACTURING METHOD OF CIRCUIT BOARD, AND MANUFACTURING METHOD OF TRANSLUCENT BODY FORMING LIGHT-SHIELDING PATTERN THEREIN 配線パターンの形成方法、回路基板の製造方法および遮光パターンの形成された透光体の製造方法 - 特許庁
POSITION CORRECTING METHOD FOR ALIGNMENT SENSOR, REFERENCE PATTERN CORRECTING METHOD, EXPOSURE POSITION CORRECTING METHOD, PATTERN FOR CORRECTION, AND ALIGNMENT DEVICE アライメントセンサの位置校正方法、基準パターン校正方法、露光位置補正方法、校正用パターン及びアライメント装置 - 特許庁
METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN AND METHOD FOR FORMING FINE PATTERN USING SAME AND METHOD FOR MANUFACTURING LIQUID CRYSTAL DISPLAY ELEMENT レジストパターンの形成方法ならびにこれを用いた微細パターンの形成方法および液晶表示素子の製造方法 - 特許庁
METHOD OF FORMING RESIST PATTERN, METHOD OF FORMING WIRING PATTERN, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, ELECTROOPTIC DEVICE, AND ELECTRONIC EQUIPMENT レジストパターンの形成方法、配線パターンの形成方法、半導体装置の製造方法、電気光学装置及び電子機器 - 特許庁
METHOD AND APPARATUS FOR FORMING FILM PATTERN, METHOD AND APPARATUS FOR FORMING WIRING PATTERN AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE 膜パターンの形成方法及び形成装置、配線パターンの形成方法及び形成装置、並びにデバイスの製造方法 - 特許庁
NANOPARTICLE THIN FILM, METHOD OF MANUFACTURING OF NANOPARTICLE THIN FILM, NANOPARTICLE THIN FILM PATTERN FORMING METHOD AND CIRCUIT PATTERN FORMING METHOD ナノ粒子薄膜、ナノ粒子薄膜の製造方法、ナノ粒子薄膜パターン形成方法および回路パターン形成方法 - 特許庁
CONDUCTIVE PATTERN FORMING METHOD, ELECTRON EMISSION ELEMENT USING THE CONDUCTIVE PATTERN FORMING METHOD, ELECTRON SOURCE, AND MANUFACTURING METHOD OF IMAGE DISPLAY DEVICE 導電性パターンの形成方法、これを用いた電子放出素子、電子源及び画像表示装置の製造方法 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING MASK PATTERN, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, MANUFACTURING SYSTEM OF MASK PATTERN, CELL LIBRARY, AND METHOD FOR MANUFACTURING PHOTOMASK マスクパターンの作製方法、半導体装置の製造方法、マスクパターンの作製システム、セルライブラリ、フォトマスクの製造方法 - 特許庁
MOVABLE BODY DRIVE METHOD, MOVABLE BODY DRIVE SYSTEM, PATTERN FORMATION METHOD, PATTERN FORMATION DEVICE, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD 移動体駆動方法及び移動体駆動システム、パターン形成方法及びパターン形成装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
DISCHARGE PATTERN GENERATING DEVICE, METHOD FOR GENERATING DISCHARGE PATTERN, METHOD FOR MANUFACTURING COLOR FILTER, AND METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC FUNCTIONAL ELEMENT 吐出パターン生成装置、吐出パターン生成方法、カラーフィルタの製造方法及び有機機能性素子の製造方法 - 特許庁
METHOD OF MEASURING PATTERN ALIGNMENT ACCURACY, METHOD OF FORMING PATTERN, MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE, AND ELECTRO-OPTICAL DEVICE パターンの位置合わせ精度計測方法、パターン形成方法、半導体装置の製造方法並びに電気光学装置 - 特許庁
METHOD FOR DECIDING LIGHT RECEIVING WIDTH FOR ALIGNMENT PATTERN DETECTING SENSOR, ALIGNMENT PATTERN DETECTING SENSOR, METHOD FOR FORMING ALIGNMENT PATTERN AND IMAGE FORMING APPARATUS 位置合わせパターン検知センサの受光幅決定方法・位置合わせパターン検知センサ・位置合わせパターンの形成方法・画像形成装置 - 特許庁
SURFACE TREATING METHOD OF METALLIC MOLD FOR PATTERN TRANSFER, METHOD FOR MANUFACTURING OF METALLIC MOLD FOR DUPLICATE PATTERN TRANSFER AND METALLIC MOLD FOR DUPLICATE PATTERN TRANSFER パターン転写用金型の表面処理方法、複製パターン転写用金型の製造方法及び複製パターン転写用金型 - 特許庁
FEMALE DIE MATERIAL FOR BARRIER RIB PATTERN FORMING, AND FORMING METHOD OF FEMALE DIE FOR BARRIER RIB PATTERN FORMING, BARRIER RIB PATTERN FORMING METHOD, PLASMA DISPLAY PANEL 隔壁パターン形成用雌型材料、隔壁パターン形成用雌型の形成方法、隔壁パターン形成方法、プラズマディスプレイパネル - 特許庁
METHOD OF FORMING RESIST PATTERN, AND METHOD OF MANUFACTURING ACTIVE MATRIX SUBSTRATE レジストパターンの形成方法、及びアクティブマトリクス基板の製造方法 - 特許庁
RESIN FILM FORMING METHOD, METHOD OF MANUFACTURING RELIEF PATTERN, AND ELECTRONIC COMPONENT 樹脂膜形成方法、レリーフパターンの製造方法及び電子部品 - 特許庁
METHOD OF FORMING RESIST PATTERN AND METHOD OF MANUFACTURING MASTER INFORMATION CARRIER レジストパターン形成方法およびマスター情報担体の製造方法 - 特許庁
METHOD FOR FORMING THIN FILM PATTERN AND METHOD FOR MANUFACTURING MASTER INFORMATION CARRIER 薄膜パターン形成方法及びマスター情報担体の製造方法 - 特許庁
METHOD FOR FORMING MASK PATTERN AND METHOD FOR ETCHING MAGNETIC REPRODUCING HEAD マスクパターンの形成方法および磁気再生ヘッドのエッチング方法 - 特許庁
METHOD FOR FORMING THIN-FILM PATTERN AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE 薄膜パターン形成方法及び半導体装置の製造方法 - 特許庁
METHOD FOR FORMING PATTERN, OPTICAL PARTS AND METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL PARTS パタン形成方法、光学部品、及び、光学部品の製作方法 - 特許庁
MASK, METHOD FOR TRANSFERRING PATTERN, METHOD FOR MEASURING ALIGNMENT ACCURACY, AND APPARATUS マスク、パターンの転写方法、アライメント精度測定方法、および装置 - 特許庁
METHOD OF FORMING CONDUCTIVE PATTERN AND METHOD OF MANUFACTURING PLATED TERMINAL 導電性パターンの形成方法及びめっき端子の製造方法 - 特許庁
APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTION AND METHOD OF MANUFACTURING PATTERN SUBSTRATE 検査装置及び検査方法並びにパターン基板の製造方法 - 特許庁