The color layer is formed by applying a photosensitive resin and patterning the resin. 着色層は、感光性樹脂を塗布し、これをパターニングすることにより形成される。 - 特許庁
The lithography apparatus includes a support that is structured to support the patterning device. パターニングデバイスを支持するように構成された支持体を有するリソグラフィ装置が開示される。 - 特許庁
The patterning device PD comprises a control system CS and an array of individually controllable elements M. パターニング用デバイスPDは制御系CSと個別制御可能素子Mのアレイを備える。 - 特許庁
The internal space 10 is pressurized before the patterning device is transferred from the internal space 10 to a lithography apparatus. 内部空間から装置へパターニング・デバイスを搬送する前に、内部空間が加圧される。 - 特許庁
To provide a method for patterning a substrate in a way requiring no mask free of defects. マスクが欠陥を含まない方法で基板にパターンを形成する方法を提供する。 - 特許庁
A method for setting a multiple patterning lithographic process of a pattern in a single layer is disclosed. 単一層でのパターンの多重パターニングリソグラフプロセスを設定する方法が開示される。 - 特許庁
MANUFACTURING METHOD OF PATTERN ROLLER, PAINTING METHOD OF COATING MATERIAL FOR PATTERNING AND STONE PATTERN 模様付けローラーの製造方法、模様付け用塗材および石調模様の彩描方法 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE, LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR PATTERNING METAL FILM 表示装置の製造方法、液晶表示装置並びに金属膜のパターニング方法。 - 特許庁
METHOD OF PATTERNING AND FABRICATING POLED DIELECTRIC MICROSTRUCTURE WITHIN DIELECTRIC MATERIAL 分極反転誘電体微小構造を誘電体材料内にパターン化し製造する方法 - 特許庁
METHOD FOR PATTERNING ORGANIC MATERIAL OR COMBINATION OF ORGANIC AND INORGANIC MATERIAL 有機材料又は有機材料と無機材料を組み合わせた材料をパターニングする方法 - 特許庁
POLYMER AND ITS PREPARATION METHOD, AND RESIST MATERIAL AND PATTERNING PROCESS 高分子化合物及びその製造方法、並びにレジスト材料及びパターン形成方法 - 特許庁
METHOD, PROGRAM AND DEVICE FOR PERFORMING DECOMPOSITION OF PATTERN FOR USE IN DOUBLE PATTERNING TECHNOLOGY (DPT) PROCESS DPTプロセスで用いられるパターン分解を行うための方法、プログラムおよび装置 - 特許庁
LINE PATTERNING METHOD, DEVICE AND ITS FABRICATING PROCESS, AND ELECTRO-OPTICAL DEVICE AND ELECTRONIC APPARATUS 線パターン形成方法、デバイスとその製造方法及び電気光学装置並びに電子機器 - 特許庁
DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING FILTER, AND DEVICE AND METHOD FOR INK-JET PATTERNING フィルター製造装置、フィルター製造方法、インクジェットパターニング装置およびインクジェットパターニング方法 - 特許庁
To achieve low cost and high throughput by dispensing with a developing process on patterning of a resist. レジストのパターニングにおける現像工程を不要として低コスト、高スループットを実現する。 - 特許庁
Then, as shown in figure (h), the patterning mask 7 is removed through, for example, wet etching. その後、たとえばウエットエッチングにより、図1(h) に示すように、パターニング用マスク7を除去する。 - 特許庁
To provide a method for selectively patterning a silicon germanium layer by ion implantation. イオン注入によりシリコンゲルマニウム層を選択的にパターニングする方法を提供する。 - 特許庁
WIRING BOARD, MULTIPLE PATTERNING WIRING BOARD, PACKAGE FOR HOUSING ELECTRONIC PART, AND ELECTRONIC DEVICE 配線基板、多数個取り配線基板、電子部品収納用パッケージおよび電子装置 - 特許庁
The lithographic apparatus is configured to transfer a pattern from a patterning device onto a substrate. リソグラフィ装置は、パターニングデバイスから基板にパターンを転写するよう構成されている。 - 特許庁
To provide a pattern forming method capable of performing a good patterning which utilizes EUV light. EUV光を利用した良好なパターニングを行えるパターン形成方法を提供する。 - 特許庁
LITHOGRAPHIC APPARATUS, ANALYZER PLATE, SUBASSEMBLY, METHOD OF MEASURING PARAMETER OF PROJECTION SYSTEM AND PATTERNING DEVICE リソグラフィ装置、アナライザ・プレート、サブアセンブリ、投射システムのパラメータ測定方法、及びパターン化手段 - 特許庁
The processing head 3 is mounted on the guide bar 2 and is used for patterning a thin film layer. 加工ヘッド3は、ガイドバー2に装着され、薄膜層をパターニングするためのものである。 - 特許庁
COMPOSITION FOR FORMING SILICON-CONTAINING FILM, SILICON-CONTAINING FILM-FORMED SUBSTRATE AND PATTERNING PROCESS ケイ素含有膜形成用組成物、ケイ素含有膜形成基板及びパターン形成方法 - 特許庁
In a new patterning process which is different from the conventional technique of adopting a mark for matching formed in a single-patterning process, plural marks 20a-2, 20b-2 and 20c-1 matchingly formed in the mutually different patterning processes are adopted to alignment correction. 新たなパターニング工程で、単一のパターニング工程で形成された整合用マークを採用する従来技術とは異なり、相互に異なるパターニング工程で形成された複数の整合用マーク20a−2、20b−2および20c−1をアライメント修正に採用する。 - 特許庁
An exposure device is equipped with a topography measurement device, a patterning device PD, and a correction system CS. 露光装置は、トポグラフィー計測デバイスと、パターニング用デバイスPDと、補正システムCSとを備える。 - 特許庁
To obtain an electric insulating film for a circuit board manufacturing wherein smoothness and a patterning property is superior. 平滑性とパターンニング性に優れた回路基板製造用の電気絶縁膜を得る。 - 特許庁
DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTROMAGNETIC WAVE SHIELDING FILM AND PATTERNING METHOD 電磁波シールドフィルムの製造装置、電磁波シールドフィルムの製造方法及びパターン生成方法 - 特許庁
DIELECTRIC LAYER PATTERNING METHOD, THIN FILM EL ELEMENT MANUFACTURING METHOD AND THIN FILM EL ELEMENT 誘電体層のパターニング方法、薄膜EL素子の製造方法および薄膜EL素子 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING RESIST PATTERN, METHOD FOR PATTERNING THIN FILM AND METHOD FOR PRODUCING MICRO DEVICE レジストパターンの作製方法、薄膜のパターニング方法、及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
The semiconductor layer is patterned with the same mask as that for patterning the transparent conductive layer. 半導体層が透明導電層をパターン化するマスクと同一のマスクでパターン化される。 - 特許庁
LITHOGRAPHIC APPARATUS FOR TRANSFERRING PATTERN FROM PATTERNING DEVICE ONTO SUBSTRATE, AND DAMPING METHOD パターニングデバイスから基板上にパターンを転写するためのリソグラフィ装置、および制振方法 - 特許庁
To provide a speedy and inexpensive high-resolution patterning method for manufacturing electronic devices. 電子装置の製造のための速やかで廉価な高解像度パターニング方法を提供する。 - 特許庁
By patterning the conductive material film 5, a conductive pattern 5a is formed. 導電性材料膜5をパターニングすることにより導電性パターン5aを形成する。 - 特許庁
To reduce the size of a ceramic base by improving patterning precision on the ceramic base. セラミックベース上のパターニング精度を向上させることにより、セラミックベースの小型化を図る。 - 特許庁
A preliminary step obtains a position relative to a known pattern (M1) on a patterning device. 予備的なステップは、パターニングデバイス上の既知のパターン(M1)に対する位置を取得する。 - 特許庁
METHOD FOR PATTERNING FRONT-SIDE ELECTRODE LAYER MADE OF ZINC OXIDE OF PHOTOVOLTAIC MODULE 光起電モジュールの酸化亜鉛製の前側電極層をパターン加工するための方法 - 特許庁
The photoresist film 3 is formed by patterning into a first mask pattern containing a thin film part 3a. 該フォトレジスト膜3をパターニングして薄膜部3aを含む第1マスクパターンを形成する。 - 特許庁
To reduce damage on a substrate at the time of patterning electrodes by reactive ion etching. 電極を反応性イオンエッチングによりパターニングする際の、基板の損傷を低減する。 - 特許庁
To provide a patterning method and an aligner for patterning in which patterning can be performed on the surface of a basic body coated with photoresist material by exposure with no interference with foreign matters by removing foreign matters, e.g. dust, floating above the basic body, e.g. a substrate. 基板等の基体の上方に浮遊するゴミ、チリ等の異物を排除して、該異物によって邪魔されることなく基体のフォトレジスト材料塗布面に露光によるパターニング処理を行えるパターン形成方法及びパターン形成のための露光装置を提供する。 - 特許庁
In the patterning process, etching is conducted using the first side wall film 201 as a mask. パターニングにおいて、第1の側壁膜201をマスクとして用いたエッチングがなされる。 - 特許庁
METHOD FOR DEPOSITING THIN FILM, METHOD FOR DEPOSITING THIN FILM PATTERN AND PATTERNING METHOD FOR THIN FILM 薄膜の形成方法、薄膜パターンの形成方法および薄膜のパターニング方法 - 特許庁
To provide a method for patterning a beverage bottle in dew drops causing a pleasant cooling sensation. 飲料容器に清涼感溢れる結露状模様を施し得る方法を提供する。 - 特許庁
In a state in which the tray 200 for carrying is removed, the 1st metallic film 120 is subjected to patterning. 搬送用トレイ200を外した状態で、第1金属膜120をパターニングする。 - 特許庁
METHOD FOR PATTERNING, METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM DEVICE, AND METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM MAGNETIC HEAD パターニング方法、薄膜デバイスの製造方法及び薄膜磁気ヘッドの製造方法 - 特許庁
TRANSFER PRINT PATTERNING METHOD AND GLASS WITH PRINT PATTERN FORMED THEREON USING THE SAME 転写式印刷パタ—ン形成方法及びこれにより印刷パタ—ンが形成されたガラス - 特許庁
To improve the flexibility in the thinning of SOI substrate, a fine patterning and an element design. SOI基板の薄膜化およびパターンの微細化、かつ素子設計の自由度を高める。 - 特許庁
To obtain a color image processor having a color patterning function for readable and legible limited color print. 読み易くわかりやすい限定色印刷のための配色機能を有するようにする。 - 特許庁
TWO-DIMENSIONAL PATTERNING METHOD, ELECTRONIC DEVICE USING THE SAME AND METHOD FOR MANUFACTURING MAGNETIC DEVICE 二次元パターニング方法ならびにそれを用いた電子デバイスおよび磁気デバイスの作製方法 - 特許庁
The size of the mask used for the patterning is made broader than a design value by 1 μm. パターニングは、パターニングするためのマスク寸法を設計値より1μm太く作成する。 - 特許庁
METHOD OF PATTERNING METALLIC PARTICLE AND METHOD OF MANUFACTURING CERAMIC ELECTRONIC COMPONENT USING THE SAME 金属粒子のパターニング方法及びこれを用いたセラミックス電子部品の製造方法 - 特許庁