PLASMAPROCESSING DEVICE, PLASMAPROCESSING METHOD, AND MANUFACTURING METHOD OF PRODUCT プラズマ処理装置、プラズマ処理方法及び製品の製造方法 - 特許庁
PLASMAPROCESSING APPARATUS AND METHOD OF FORMING STAGE OF PLASMAPROCESSING APPARATUS プラズマ処理装置およびプラズマ処理装置のステージ製造方法 - 特許庁
PLASMAPROCESSING METHOD AND DEVICE プラズマ処理方法および装置 - 特許庁
PLASMAPROCESSING DEVICE AND METHOD FOR FEEDING POWER TO THE PLASMAPROCESSING DEVICE プラズマ処理装置およびプラズマ処理装置への給電方法 - 特許庁
METHOD AND SYSTEM FOR PLASMAPROCESSING プラズマ処理方法及び装置 - 特許庁
To provide a plasmaprocessing method which has a high plasmaprocessing capability. プラズマ処理能力が高いプラズマ処理方法を提供する。 - 特許庁
PLASMAPROCESSING METHOD, PLASMAPROCESSING APPARATUS AND MAGNETIC FIELD PRODUCING DEVICE プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置及び磁場発生装置 - 特許庁
PLASMAPROCESSING METHOD AND SYSTEM プラズマ処理方法および装置 - 特許庁
MAGNETRON ELECTRODE FOR PLASMAPROCESSING プラズマ処理用マグネトロン電極 - 特許庁
PLASMAPROCESSING DEVICE, ANTENNA, AND USAGE METHOD FOR PLASMAPROCESSING DEVICE プラズマ処理装置、アンテナおよびプラズマ処理装置の使用方法 - 特許庁
PLASMAPROCESSING SYSTEM AND ELECTRODE プラズマ処理装置及び電極 - 特許庁
HIGH FREQUENCY POWER SUPPLY, PLASMAPROCESSING APPARATUS, INSPECTION METHOD OF PLASMAPROCESSING APPARATUS AND PLASMAPROCESSING METHOD 高周波電源、プラズマ処理装置、プラズマ処理装置の検査方法及びプラズマ処理方法 - 特許庁