「problem」を含む例文一覧(39498)
＜前へ 1 2 .... 657 658 659 660 661 662 663 664 665 .... 789 790 次へ＞- Thereby, the range of the NA of the objective lens condensing the laser light on the optical disk 1 having a prescribed specification is specified to be ≤0.64 so that both spherical aberration and recording and reproducing jitter at the information recording surfaces 1a and 1b have low values having no problem on practical use.
そこで、情報記録面１ａ、１ｂでの球面収差と記録再生ジッタの両方がそれぞれ実用上問題ない小さな値となるように、所定の諸元の光ディスク１に対してレーザー光を集光する対物レンズのＮＡの範囲を０.６４以下とする。 - 特許庁 - To solve the problem of a writing utensil that an elastic material thereof swells in the direction of the outer diameter and thus the soft swollen part contacts with the ball of the finger holding the writing utensil during writing, thereby causing uncomfortable writing.
軸筒の把時する部分に凹部が形成され、その凹部に弾性材質からなるグリップ部材が配置された筆記具であって、前記グリップ部材の前端面、或いは、後端面の少なくとも一方に前記凹部と接触する突部を部分的に形成すると共に、非接触部に隙間を形成した筆記具。 - 特許庁 - To provide an electrical contact material in which the increase in temperature caused by the instability of contact resistance in the conventional electrical contact material and the respective characteristics of deposition resistance, consumption resistance and workability are improved without using Cd in connection with an environmental problem.
環境問題に関わるＣｄを使用することなく、従来の電気接点材料における接触抵抗の不安定性に起因する温度上昇と、耐溶着性及び耐消耗性、加工性の各特性を改善した汎用スイッチに好適な電気接点材料を提供する。 - 特許庁 - To solve the problem in which a plane optical circuit component constituted by connecting end surfaces of a plurality of plane optical circuits increases in connection loss owing to optical axis deviation when plane optical circuits whose substrates curve in different directions are connected so as to have the substrates opposite each other.
複数の平面光回路の端面を接続して形成される平面光回路部品において、基板の反りの向きが異なる平面光回路を、お互いの基板が対向するように接続した場合、光軸ズレによって接続損失が増加するという課題を解決する。 - 特許庁 - To solve a problem that a chuck of a conventional metal machining turning tool cannot effectively grip and hold an indefinite and fragile ossicle, and the ossicle is broken if it is gripped with a strong force, and to provide a chuck which can positively hold a fragile and indefinite ossicle.
従来の金属加工用旋削装置のチャックでは不定形で脆い骨片を上手く掴んで保持できず、また強い力で掴むと骨片を折損してしまうおそれがあり、脆く不定形の骨片を確実に保持することのできるチャックを提供することを目的とする。 - 特許庁 - This tunnel floor face placing carriage as a means for solving the conventional problem is constituted of a scaffold part arranged transversal to the tunnel floor face and support parts formed in the both ends of the scaffold and mounted on the bottom end in the both sidewalls of the tunnel so as to travel freely.
上記課題を解決するための手段として本発明は、トンネル床面の横断方向に配置される足場部と、この足場部の両端に形成され、トンネルの両側壁の下端部に走行自在に搭載される支持部とよりなる、トンネル床面打設用台車を提供する。 - 特許庁 - To solve a problem that the desired signal is likely to be detected erroneously due to turning of clock to a detecting circuit when the signal is determined whether it is the desired signal by detecting a duration period, occurrence frequency or the like of the detecting signal using the clock as in the signal processing apparatus of the prior art.
従来の信号処理装置ように、クロックを用いて、検波信号の持続時間、出現頻度等を検出し、所望信号か否かの判定を行った場合、検波回路へのクロックの回り込み等により所望信号の誤検出が生じる可能性がる。 - 特許庁 - To solve the problem that it is difficult to receive a pulse sound by a microphone in a state of excellent S/N ratio because the pulse sound has a small energy with respect to its amplitude, in a conventionally proposed method for measuring the propagation time of sound waves between a speaker and a microphone by using a pulse.
従来より、スピーカとマイクロホンとの間の音波の伝搬時間をパルスを用いて測定する測定方向が提案されているが、パルス音はその振幅に対してエネルギーが小さく、よってＳ／Ｎ比が良好な状態でマイクロホンで受音することは困難である。 - 特許庁 - To solve a problem where site attenuation performance is reduced by electromagnetic wave interference in EMI measurement caused by the traveling rail of an overhead traveling crane that is used for raising and lowering heavy under-test equipment, can withstand the weight of the under-test equipment, and has metal structure.
重量の大きな供試機器を上げ降ろしする上降装置として、供試機器の重量に耐える金属構造の天井走行クレーンが必要であり、この天井走行クレーンの走行レールがＥＭＩ測定時の電磁波障害になる等して、サイトアッテネーション性能が低下する。 - 特許庁 - To solve a problem, in reverse osmosis membranes used for advanced treatment in waste water recycling, seawater desalination, etc., that organic substances dissolved in the water is adsorbed to the surface of the reverse osmosis membrane which causes clogging, reduction of the volume of permeating water, and increase of the frequency of reverse osmosis membrane module exchange.
下水再生の高度処理や海水淡水化などに用いられる逆浸透膜において、逆浸透膜表面に水中の溶解有機物が吸着して目詰まりを起こし、水の透過量を低下させ、逆浸透膜モジュールを交換する頻度が高いことが課題である。 - 特許庁 - To provide an inexpensive normality/abnormality monitoring device having a simple structure, applicable to a means for detecting and transmitting normality/abnormality of every monitoring object, without requiring a complicated and expensive transmission facility, while thereby sweeping away a noise problem generated from the transmission facility.
本発明は複雑で高価な送信設備を要せず、従って送信設備から発生するノイズの問題を払拭しつつ、あらゆる監視対象の正常・異常を検出し送信する手段として適用できる、構造簡素で安価なる正常・異常監視装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a device and method capable of solving a problem caused when a user wants to use auidovisual programming of a multi-format if data has to be transmitted through a common network or if space, power or other consideration limit the use of various reproducing devices.
データを共通ネットワークを通じて伝達しなければならない場合、または、空間、電力あるいは他の配慮が多種多様の再生装置の使用を制限する場合に、ユーザがマルチフォーマットのオーディオビジュアルプログラミングを使用したいときに生じる問題を解決できる装置と方法を提供すること。 - 特許庁 - Information or data may be collected by maintenance functions pertaining to the health, variability, performance or utilization of a device, loop, unit, etc. and this information may then be sent to and displayed to a process operator or maintenance person to inform that person of a current or future problem.
情報又はデータは、デバイス、ループ、ユニット、その他の健全性、変動性、能力又は利用性に関連する保守機能によって集められ得、そして、この情報は、次に、プロセスオペレータ又は保守要員に送り出され、その人に現在又は将来の問題を知らせるために表示される。 - 特許庁 - A ring-shaped water area to enable the swimming of bluefin tuna and eel in circumferential direction at a high speed is formed between an inner partition means and an outer partition means to solve the problem of insufficient swimming movement of the fish.
内側仕切り手段と外側仕切り手段との間の水域をクロマグロや鰻が環状方向により高速で泳げるような環状水域を形成することによって、養殖されているクロマグロが環状方向に高速で泳げるようにして、運動不足を解消する。 - 特許庁 - To solve a problem that confusion that it is not clear any more to what broadcast media a user performs an operation at present and the broadcast media for operation are mistaken occurs by start of terrestrial digital broadcast in addition to terrestrial analog broadcast, BS digital broadcast, CS digital broadcast and increase of the broadcast media.
地上アナログ放送、ＢＳデジタル放送、ＣＳデジタル放送に加え地上デジタル放送が始まり放送メディアが増えることによってユーザーが現在どの放送メディアに対して操作をしているのかが判らなくなったり、操作対象の放送メディアを誤るなどの混乱が発生する。 - 特許庁 - To provide a piston for use at high pressure made of a sheet plate metal, moldable without a large-sized press, having a thick plate thickness to withstand high pressure use environment and free from such a problem that a seal member is projected onto the low pressure side, cracked or separated by pressure.
高圧使用環境に耐えるため、ピストンの板厚が厚く、シール部材が圧力によって、低圧側へはみ出したり、亀裂や剥離などの問題が発生することのない板金製ピストンであって、さらに大型のプレス機でなくても成形できる高圧用ピストンを提供する。 - 特許庁 - To obtain pellets of a thermoplastic resin composition, which solve a problem caused by a metallic foreign matter in the thermoplastic resin composition in the case of molding using a hot runner, have excellent quality stability and is suitable to a hot runner molding, and a molding molded by the hot runner molding.
ホットランナで成形する場合の熱可塑性樹脂組成物中の金属異物による問題を解決し、品質の安定性に優れたホットランナ成形に対応する熱可塑性樹脂組成物のペレットおよびかかるペレットからホットランナ成形により形成された成形品を提供する。 - 特許庁 - To solve the problem that a favor is only given only to an observer suited to a set viewing level and other observers not suited to the viewing level must put up with viewing when one display is viewed by a plurality of persons in the conventional reproduction protection method.
従来の再生プロテクト方法では、１台のディスプレイを複数人で視聴する場合には、設定された視聴レベルに適合する観察者にのみ恩恵が与えられるに過ぎないものであり、視聴レベルが適合しない他の観察者はそれを我慢しなければならない。 - 特許庁 - To solve the problem of the increase of a circuit scale for encoding or decoding by dispensing with the code correspondence table of LTU structure where respective pieces of data before and after encoding or decoding correspond with each other even in the case of encoding or decoding using a variable length code.
可変長符号を用いた符号化または復号化を行う場合であっても、符号化または復号化前後の各データが互いに対応付けられたＬＵＴ構造の符号対応表を不要とすることで、符号化または復号化のための回路規模大型化の問題を解消可能にする。 - 特許庁 - To provide an image processor capable of accurately restoring source images at all times without adding code data or the like to be a problem on an appearance such as a bar code and thereby without damaging the quality of the source images, even when new write is performed on printed images further.
バーコードなどの外観上問題となるコードデータ等を付加することなく，従って原画像の品質を損なうことなく，更に印刷された画像の上から新たな書き込みが行われても常に正確に原画像を復元することの出来る画像処理装置を提供すること。 - 特許庁 - In order to solve the above-mentioned problem, composite fermentation is allowed to occur in a ballast tank using a composite fermentation method, a part of harmful bacteria is decomposed and eliminated while its remainder is converted to organic matter and 99% of organic matter and effective bacteria are removed by system filtration.
上記目的を達成するために、本発明においては、複合発酵法を用いて、バラストタンク内で複合発酵を起こさせ、有害菌を一部分解消失し、残りを有機物に変え、有機物と有効性菌の９９％をシステム濾過によって除去するものである。 - 特許庁 - To provide a simultaneous communication control method by which all PHS terminals are brought into connection states in a short period of time and simultaneous communication can be performed by solving a problem wherein conventional simultaneous control methods have taken much time for connecting all the PHS terminals.
従来の一斉通報制御方法は、全ＰＨＳ端末を接続するまでに多くの時間を要してしまうという問題点があったが、本発明は、全ＰＨＳ端末を短時間で接続状態にして一斉通報できる一斉通報制御方法を提供する。 - 特許庁 - To solve the problem where conventional receiver having an AGC circuit as measures against fading cannot have ensured a satisfactory reception state resulting from an output signal whose level cannot maintain a prescribed level because a control range of the AGC circuit is deviated, if the level of an input signal is too small.
従来の受信装置はフェージング対策としてＡＧＣ回路を有するが、入力信号があまりに小さ過ぎると前記ＡＧＣ回路の制御レンジをはずれてしまうため、出力信号が所定レベルに維持できず良好な受信状態を確保できなくなる。 - 特許庁 - To solve the problem that a process for decreasing a leak current caused by an influence of defect in an implantation of a fluorine ion is required for a p-channel MOS transistor which suppresses diffusion of a boron ion to channel regions in a lateral direction by the fluorine ion to prevent an occurrence of a short channel effect.
フッ素イオンによりボロンイオンのチャネル領域への横方向拡散を抑制して短チャネル効果の発生を防止するｐチャネル型ＭＯＳトランジスタには、フッ素イオン注入時の欠陥による影響起因のるリーク電流を減らすプロセスが必要となっている。 - 特許庁 - To solve the problem that a function which desires to be originally restricted can not be restricted although a function executable by combining a plurality of functions matches the function or the function is restricted although they do not match each other.
複数の機能の組み合わせによって実施できる機能と、本来機能制限で制限したい機能とが一致しているにも拘わらず、その機能を制限できない場合や、或はそれらが一致していないにも拘わらず、その機能が制限されてしまう場合等が発生する。 - 特許庁 - To solve such problem that, in a small-size and high definition active matrix type liquid crystal display device, the degradation of picture quality is apt to be raised because the parasitic capacitances among picture signal lines and data lines in the vicinity of a sampling circuit part are large and potential changes on the picture signal lines plunge into the data lines holding picture signal voltage.
小型高精細なアクティブマトリクス型液晶表示装置では、サンプリング回路部近傍における画像信号線とデータ線間の寄生容量が大きく、画像信号線上の電位変化が画像信号電圧を保持しているデータ線に飛び込み、画質劣化を引き起こしやすい。 - 特許庁 - To solve the problem that the connection cable receives a large tensile force and is often cut since the connection device is equipped with a lock mechanism during the daily bed transfer in a hospital or a welfare/care facility in a connection cable or a connection device of a calling out handset for the nurse call which is twisted around the bed.
病院や福祉・介護施設にて日常的に行われるベッド移動の際に、ベッドに巻き付けたナースコール用呼び出し子機の接続線又は接続装置に於いて、接続装置がロック機構付であるため接続線に強い張力が加えられ、破損することが頻発している。 - 特許庁 - The problem is solved in such a way that gaps between many main solar cells composed of small pieces in various shapes are partitioned by subsolar cells whose colors are different from those of the main solar cells, or by image display devices or the like composed of plastic plates, a fluorescent paint and many light emitting elements or that the main solar cells are buried in a group of plants.
種々の形をなす小片から成る、多数の主太陽電池の間隙を、それとは色彩が異なる副太陽電池、プラスチック板・蛍光塗料・多数の発光素子から成る映像表示装置等でしきったり、植物群の中に埋入させたりして解決する。 - 特許庁 - To solve the problem that waste water containing a suspension or the like backs into the interior of an air diffuser at the time of a pressure drop in an airpipe, causing the air diffuser, particularly, an air diffusion nozzle to be blocked to deteriorate an efficiency in operation of water treatment equipment in the air diffuser of the water treatment equipment.
水処理装置の散気装置において、送気管内の圧力低下時に、散気装置内に懸濁物等を含む汚水が逆流し、これが原因で散気装置特に散気ノヅルが閉塞し、水処理装置の運転効率が低下する問題を解決することを目的としている。 - 特許庁 - To solve the problem wherein when an object in A position is reciprocatingly moved to another B position by adding the horizontal and vertical movement to the object in the A position, the user has an uncomfortable feeling since the movement in returning to the original position is fast and the movement becomes intermittent due to the backlash of gears composing a speed reduction mechanism of an electric motor.
Ａ位置の物体に水平方向と上下方向の動きを加えて、別のＢ位置へと往復移動させる場合、元の位置に戻る際の動きが速くかつ電動モータの減速機構を構成する歯車のバックラッシュにより動きが断続的となり、使用者に違和感を与える。 - 特許庁 - To solve a problem that, when a DRM protection process is applied to an image which is generated by an image processing apparatus which does not have a communication means which allows direct communication with a PC, without being tampered, encryption of the image in the image processing apparatus and encryption of the image in the PC as an internal process of the DRM are required, resulting in poor efficiency.
PCと直接通信する通信手段を有さない画像処理装置で生成された画像に、改竄されることなく、DRM保護処理を適用する場合、画像処理装置での画像の暗号化と、DRMの内部処理としてのPCでの画像の暗号化を必要とし、効率的ではない。 - 特許庁 - To solve such a problem that a conventional self-propelled vacuum cleaner is not sure to carry out complete cleaning to the desired extent and its progress cannot be grasped when automatically carried out moving cleaning from start to finish, and maintenance such as dust disposal or electric charge is forgotten and neglected due to automation.
従来の自走式掃除機では、移動清掃の開始から終了までを自動で行った場合、必ずしも所望通りの完璧な清掃を行うとは限らないため、途中経過を知ることができず、また、自動のため、ゴミ捨てや充電などのメンテを忘れたり怠ったりしがちである。 - 特許庁 - To provide a push-down type delivery tool which can control delivery amount easily, to solve the problem that control of delivery amount is troublesome and difficult heretofore since the push-down level of a push-down head have to be adjusted according to the experiences when the delivery amount is controlled.
従来、吐出量を調節したい場合には、押下げヘッドの押下げ量を勘によって加減するほかなく、このため吐出量の調節が面倒かつ難しいものとなっていたところ、これに鑑み本発明は吐出量の調節が容易な押下げ式吐出器を提供する。 - 特許庁 - Because the composition is thus prepared, the colorant is prevented from being transferred to paper after it is undesirably adhered to the non-image forming area on a photo-sensitized material, and a sharp image is obtained from the composition when printed, so that the image quality is improved, and further a problem that the other parts in the printer are stained is solved.
かかる構成により，着色剤が，望まない感光体上の非画像領域に付着され紙に転写されることを防止し，プリント時に鮮明な画像を得て，画像品質を向上させることを可能にすると共にプリンタ内の他の部分を汚す問題を解決する。 - 特許庁 - To solve the problem of the conventional technique for treating sulfuric acid pitch that a large-scale treatment equipment and processes are necessary, only a sulfuric acid pitch generated when oil is refined can be treated and the clumpy material and oil content obtained by treating/purifying the sulfuric acid pitch can be used limitedly as the materials to be used when cement is fired.
従来の硫酸ピッチ処理技術においては、装置および工程が大がかりとなり、さらに石油精製時に生じた硫酸ピッチのみにしか利用することができないし、処理精製された塊状物、及び油分ともにセメント焼成時の材料としての使用が限られている。 - 特許庁 - To solve the problem that, in a thin film by the conventional film deposition method, desired electric or optical characteristics have been insufficient, and, e.g. as for the electric and optical characteristics of a thin film of a fluorine compound or the like or the durability of the thin film in the case of being exposed to ultraviolet light, further improvement is required.
従来の成膜方法による薄膜は、所望の電気的又は光学的特性が未だ不十分で、例えば、フッ素化合物のような薄膜の電気的、光学的特性、或いは紫外光に晒された場合の薄膜の耐久性などは更なる改善が求められている。 - 特許庁 - To provide a capacitive-load driving circuit which suppresses the increase of power consumption even under such a condition that the power consumption is increased, even when the conventional technique to decrease power is used, with the increase of load capacitance and driving frequency in a circuit for driving a capacitive load, consequently, heat radiation from a driving circuit (drive IC) itself becomes a big problem.
容量性負荷を駆動する回路においては、その負荷容量と駆動周波数の増大に伴ない、従来の低電力化技術を用いたとしても消費電力が増大してしまい、その駆動回路（ドライブＩＣ）自身からの発熱が大きな問題になっている。 - 特許庁 - To solve the following problem with an LED light source headlight: use of only one light source is insufficient in light quantity; and use of a plurality of light sources needs to isolate the light sources for a reason of heat generation and leads to a gap unable to emit light, thereby the gap making it impossible to observe the light sources as one lamp device.
ＬＥＤ光源のヘッドライトなどでは、１個では光量不足となり、複数の光源を使用する場合、発熱などの理由により光源間を離し、光らない間隙を生じると、１灯の灯具として観視できなくなるという問題点を生じる。 - 特許庁 - To solve the problem that beveled and curved parts adjoining to one another generate recesses in adjacent parts and damage integration as combination cooking units, because of an edge of a top plate conventionally being beveled into a curved shape in a cooking unit, in the case of a plurality of the cooking units being provided in parallel.
調理ユニットは一般に天板の縁部が曲面形状に面取りされているため、複数の調理ユニットを複数併設した場合、面取りの曲面形状部分が互いに隣接することにより、隣接部分に凹部が生じ、組合式調理ユニットとしての一体感が損なわれる。 - 特許庁 - To provide a landing device of an elevator for a base isolation building provided with a getting on/off passage between a base entrance of a base construction body and a hoistway entrance of a hoistway, and making the getting on/off passage cope with the relative displacement to the direction of opening of the base entrance and the hoistway entrance without any problem in the earthquake.
基部建築体の基部出入口と昇降路の昇降路出入口の両者間に乗降通路を設け、地震時における上記両者の間口方向への相対変位に乗降通路が不具合なく対応する免震建物用エレベーターの乗場装置を得る。 - 特許庁 - To solve the problem of a machine floor becoming too high by giving allowance to the heat radiation admissibility of the lower space of the machine floor which stores a hydraulic shift type straight advancing mechanism 25 and to carry out the transmission drive of a forced differential gear 41 by a hydraulic shift type turning mechanism 45 with simple constitution.
油圧変速形直進機構２５を収める本機フロアの下部空間の放熱許容性に余裕をもたせ、本機フロアが高くなりすぎる問題を解消すると共に、油圧変速形旋回機構４５により強制デフ４１を簡潔な構成で伝動駆動させる。 - 特許庁 - To provide the sequence of a treatment method to solve a problem in that the requirement of specific chemical substance treatment or the generation cause of dioxins by the limitation of a dumping site for sludge/waste and combustion is derived from the absence of a biological treatment method for substances, including specific chemical substances, chemical substances, and the like.
汚泥・廃棄物の埋め立て処理場の限界や燃焼する事で発生する特定化学物質処理またはダイオキシンの原因は、特定化学物質等の物質や化学物質等の物質を生物的に処理方法が無いためであり、処理方法順位を提供する事。 - 特許庁 - To provide a color-converting light-emitting device which performs color conversion by passing light from a light-emitting element through a phosphor layer, wherein a problem of wire peeling from an electrode pad due to vibration or impact is solved and the light from the light-emitting element is effectively prevented from being emitted directly without being color-converted.
発光素子からの光を蛍光体層に通すことによって色変換する色変換発光装置において、震動や衝撃による電極パッドからのワイヤ剥離の問題を解決するとともに、発光素子からの光が色変換されずに直接出射されるのを有効に防止する。 - 特許庁 - To provide a metallized film capacitor capable of maintaining the stable quality thereof, with respect to the problem that in a metallized film capacitor having safety mechanisms and formed by dividing a metal-deposited film into fine blocks, it generates much heat, it is hard to miniaturize, and also it has large economic loss.
本発明は金属蒸着膜を微小ブロックに分割する保安機構付の金属化フィルムコンデンサにおいて、発熱が大きく、小型化が困難であり、経済的ロスも大きいといった課題に対し、安定した品質を保てる金属化フィルムコンデンサの提供を目的とする。 - 特許庁 - To expand the rear space of a revolving frame so as to house a boom external apparatus and the like in this space without causing any problem such as reduction in a lift or increase in a rear end slewing radius of a revolving superstructure on the precondition that a boom is offset from the center of rotation.
ブームが旋回中心に対してオフセットして配置された構成を前提として、揚程の減少や上部旋回体の後端旋回半径の増加等の弊害を招かないで、旋回フレームの後部空間を拡大してブーム外機器類を同空間に収容する。 - 特許庁 - To solve a problem that it is difficult to physically actualize a solid- state imaging device which has a so fast scanning speed that a sharp image can be obtained by picking up an image fast when a moving picture is photographed and an expensive dedicated video-recording device is needed to record an image of high resolution as it is.
従来、動画撮像時に高速撮像を行って鮮明な画像を得られるような走査速度が速い構成の固体撮像装置は物理的に実現が困難であり、また、高解像度の画像をそのまま録画しようとすると、高価な専用録画装置が必要である。 - 特許庁 - Since a notch part 76 is formed on the inner peripheral edge part 74 of a metallic plate 62 and a gate part is formed in the notch part 76, insertion molding of the metallic plate 62 can be performed without using a submarine gate, so that no problem is caused even when the hole part 58A of a reel hub 56 is small.
金属プレート６２の内周縁部７４に切欠き部７６を形成し、切欠き部７６内にゲート部を設けることで、サブマリンゲートによらず金属プレート６２をインサート成形することができるため、リールハブ５６の穴部５８Ａが小さくても問題は生じない。 - 特許庁 - To solve the problem wherein the time required for each batch is lengthened, since a conventional batch type weighing machine is provided with a discharge gate at the bottom part of a measuring container, to discharge objects to be measured in the measuring container by the opening and closing of the discharge gate and require waiting times for discharge.
従来のバッチ式計量機では、計量容器の底部に排出ゲートを設けて、計量容器内で計量した被計量物を排出ゲートの開閉によって排出するようにしているので、排出のための待ち時間が必要となって１バッチ当たりの所要時間が長くかかる。 - 特許庁 - To solve such a problem that in an optical pickup device mounting a frame laser, in spite of that dustproof for a semiconductor laser device is especially important, dustproof of a whole optical system is very hard, also when dustproof is performed for only the semiconductor laser device part, it becomes expensive, therefore, an appropriate dustproof method is not obtained.
フレームレーザを搭載した光ピックアップ装置では、半導体レーザ装置に対する防塵が特に重要であるにもかかわらず、光学系全体の防塵は非常に困難であり、また、半導体レーザ装置部分だけを十分に防塵しようとすると高価になり、適切な防塵方法が無い。 - 特許庁 - To solve the problem that, recent years, as a wavelength used by an exposure device becomes short, it becomes difficult to use a material which has a benzene ring in a photoresist material, since the plasma resistance of a resist is very low, and it is difficult to consider as a dry etching mask to form a deep opening using the photoresist.
近年、露光装置で用いられる波長が短くなるにつれて、フォトレジスト材料にベンゼン環をもった材料を使うことが困難となり、レジストのプラズマ耐性が極めて低く、ドライエッチングマスクとしフォトレジストを用いて深い開孔を形成することが困難である。 - 特許庁
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