「processing flow」を含む例文一覧(1774)
＜前へ 1 2 .... 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 次へ＞- As a result, a flow direction of the processing solution flowing through the tubular member 12 is converted, so as to be perpendicular thereto and be directed in the direction parallel to a plate surface of the substrate within the bath 1, and processing solution subjected to the direction conversion is supplied into the bath 1 through an ejection port 17 made in a flat surface 14a from a solution ejection side passage 16.
これにより、管体１２内を流れる処理液の流れ方向を、それに直交して処理槽１内の基板の板面と平行な方向に向かわせるように転換し、その方向転換された処理液を液噴出側通路１６内より平坦面１４ａに開口形成した噴出口１７から処理槽１内に供給する。 - 特許庁 - When the added value exceeds the fixed value, the network control apparatus 9 adds the notified packet flow transfer data volume and the transfer data volume of the packet processing apparatus 7 to the transmitting source subscriber user storage apparatus 1, and when an added value does not exceed a fixed value, sets a logical tunnel between the transmitting source subscriber user storage apparatus 1 and the packet processing apparatus 7.
一定値を超過する際は、通知されたパケットフローの転送データ量と、送信元加入者ユーザ収容装置１に対するパケット処理装置７の転送データ量を加算し、一定値を超過しない際は、当該送信元加入者ユーザ収容装置１と当該パケット処理装置７間に論理的なトンネルを設定する。 - 特許庁 - To obtain a decomposition processing method and apparatus wherein an exhaust gas after decomposition process is not high in temperature, and an undecomposed ethylene oxide is not discharged outside a system even if the exhaust gas containing a high concentration ethylene oxide may flow into a decomposition processing means for some reason, when the exhaust gas containing ethylene oxide discharged from a sterilization device or the like is decomposed.
滅菌装置などからのエチレンオキサイドを含む排ガスを分解処理する際、分解処理後の排出ガスが高温になることがなく、何らかの理由により高濃度のエチレンオキサイドを含む排ガスが分解処理手段に流入しても未分解のエチレンオキサイドが系外に排出されることがない分解処理方法および装置を得る。 - 特許庁 - To make such an editing as making a time when raw material are made to flow, longer than a time when all of raw materials being within a specified range are reproduced and such an editing as reproducing raw materials which are recorded with the intention of being reproduced without an effect processing by performing the effect processing to be performed without trying the recording work of original raw materials again in a nonlinear edit system.
ノンリニア編集システムにおいて、指定した範囲の素材を全て再生した際の時間よりも素材を流す時間を長くするような編集や、エフェクト処理することなく再生するつもりで記録した素材をエフェクト処理して再生するような編集を、原素材の記録作業を再度やり直すことなく行えるようにする。 - 特許庁 - A wafer support device 20 includes an electrostatic chuck 22 capable of adsorbing a silicon wafer W as an object of plasma processing, a guard ring 30 mounted on a step 26 of the electrostatic chuck 22, a cooling plate 40 placed on a backside of the electrostatic chuck 22 for cooling the electrostatic chuck 22, and a coolant gas flow path 50 arranged to supply a flow of coolant gas for cooling the guard ring 30.
ウエハ載置装置２０は、プラズマ処理を施すシリコン製のウエハＷを吸着可能な静電チャック２２と、この静電チャック２２の段差部２６に載置された保護リング３０と、静電チャック２２の裏面に配置された静電チャック冷却用の冷却板４０と、保護リング３０を冷却するための冷却用ガスを供給する冷却用ガス通路５０とを備えている。 - 特許庁 - This audio signal processing device acquires an audio signal of a predetermined frequency lower than the resonance frequency of a shielding unit out of audio signals obtained by a first sound collecting unit shielded from influence of a flow of air outside the device by the shielding unit having a predetermined resonance frequency for shielding the first sound collecting unit from the influence of the flow of the air outside the device.
装置外部の空気の流れの影響から第１の集音手段を遮蔽する所定の共振周波数を有する遮蔽手段によって装置外部の空気の流れの影響から遮蔽された第１の集音手段により得られた音声信号のうち、遮蔽手段の共振周波数より低い所定の周波数の音声信号を取得する。 - 特許庁 - An operation processing device 25 of the device body 22 is equipped with: a correlation detection part 273 for calculating autocorrelation of waveform data originated in the sound wave signal, and determining periodicity inherent in the waveform data; and a flow rate calculation part 28 for calculating the flow rate of gas passing through the gas meter 1 by estimating a generation period of sound generated by the gas meter 1 from the periodicity.
装置本体２２の演算処理装置２５には、前記音波信号に由来する波形データの自己相関を算出し、当該波形データに内在する周期性を求める相関検出部２７３と、前記周期性からガスメータ１が発する音の発生周期を推定して、ガスメータ１を通過するガスの流量を算出する流量算出部２８とが備えられている。 - 特許庁 - To realize estimation of the best gas solubility of a foaming resin suitable to flow analysis of a foaming resin which is injected into a die in a molding processing method using a foaming injection molding means comprising injecting a foaming resin incorporated with a foaming agent or gas, whrereby higher accurate flow analysis can be conducted.
発泡剤又は気体を添加した発泡性樹脂を金型内へ射出して、発泡体である成形品を得る発泡射出成形法を用いた成形加工において、金型の設計段階で、金型内に射出される発泡性樹脂の流体解析を行うために最適な発泡性樹脂のガス溶解度を予測し、より精度の高い発泡性樹脂の流動解析を行う。 - 特許庁 - In a regeneration tower 3 of the regeneration apparatus 1 and a processing tower 13 of the processor 2, a gas carrying fluidized bed in which the porous particles are carried by air flow by introducing high speed air flow in the porous particles from a porous particle container 7 and moisture from the porous particles is desorbed and absorbed by the gas carrying fluidized bed.
再生器１の再生塔３及び処理器２の処理塔１３においては、多孔質粒子容器７からの多孔質粒子中に高速の空気流を導入することにより、多孔質粒子が空気流に搬送される気体搬送流動層を形成し、この気体搬送流動層によって多孔質粒子から水分を脱離し、また吸湿を行うようにする。 - 特許庁 - Blood flow information is detected in an image processing part 13 from reception signals obtained by a transmission/reception part 12 from an ultrasonic probe 11, image data for which a complex vector value is the attribute of pixels are generated from the blood flow information, and also respective pixel values in a prescribed range, whose reference position is a prescribed pixel of the generated image data, are extracted to generate an input matrix.
超音波プローブ１１から送受信部１２によって得られた受信信号から、画像処理部１３にて血流情報が検出され、該血流情報から複素ベクトル値を画素の属性とする画像データが生成されると共に、生成された前記画像データの所定画素を基準位置とする所定範囲の各画素値が抽出されて入力行列が生成される。 - 特許庁 - A method of forming the fuel cell assembly includes the steps of providing the interconnection structure having at least one flow channel, depositing the sacrificial material into the flow channel, depositing an electrode or an electrode/electrolyte material upon the interconnection structure and the sacrificial material, and processing the fuel cell so as to remove the sacrificial material.
燃料電池アセンブリを形成する方法は、少なくとも１つの流路を有する相互接続部構造を提供する工程と、流路の中へ犠牲材料を付着させる工程と、相互接続部構造及び犠牲材料の上に電極又は電極／電解質材料を付着させる工程と、犠牲材料を除去するように燃料電池を処理する工程とを含む。 - 特許庁 - Image processing units 7 and 8 detect a traveling object such as a vehicle traveling side by side and an oncoming vehicle on the basis of optical flow between two images imaged with the imaging devices 5 and 6 at different timings and set representative points A of the detected traveling object on the road surface.
画像処理ユニット７，８は、撮像装置５，６により異なるタイミングで撮像した２枚の画像間のオプティカルフローに基づいて併走車や対向車等の移動物を検出し、検出した移動物の代表点Ａを路面上に設定する。 - 特許庁 - A data carrier 8 is added to a work 6 and made flow on a production line, all data generated in product processing are written and held in the data carrier 8 in one-to-one relation with a product and in the case of forwarding, the data carrier is detached and preserved in a library 10.
ワーク６にデータキャリア８を取り付けて生産ラインに流し、製品処理で発生した全てのデータを製品と１対１に関係づけられたデータキャリア８に書き込んで保持して出荷に際しては取り外してライブラリ１０に保管する。 - 特許庁 - In one embodiment, by using a calibration circuit for gas control, in particular, verification and/or calibration of the gas flow utilizedin back-side cooling, distribution for processing gas, distribution for purge gas, distribution for cleaning agent, distribution for carrier gas, and distribution for repair gas are performed.
一実施形態において、ガス制御のための較正回路を用いて、特に、裏側冷却、処理ガス分配、パージガス分配、クリーニング剤分配、キャリアガス分配及び修復ガス分配に利用されるガスフローを検証及び／又は較正する。 - 特許庁 - To provide a method and a device for plating to attain the shortening of a lead time from the beginning to the end of processing of a substrate corresponding to a production method where each product (or half-finished goods) is completed one after another in succession (one product flow).
一つの製品（若しくは半完成品）を順次一つづつ完成させる生産方式（１個流し）に対応させ、一つの基板の処理開始から終了までのリードタイムの短縮を図ったメッキ方法及びメッキ装置を提供する。 - 特許庁 - To provide an electromagnetic flowmeter which enhances its differentiation noise/fluid noise removal performance, is hard to allow saturation of a signal processing circuit occur, and moreover is capable of determining emptiness of a fluid to be measured in the course of flow rate measurement.
本発明は、微分ノイズや、流体ノイズの除去性能を向上させるとともに、信号処理回路の飽和が起き難い、さらに、流量測定中に被測定流体の空判定が可能な電磁流量計を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To obtain a processing flow controller which improves the productivity and quality of software and also improves the expandability of a system and maintenance easiness by simplifying a program structure in a task and improving the independence of each program.
タスク内のプログラム構造の単純化、各プログラムの独立性の向上を図ることで、ソフトウェアの生産性と品質の向上と共に、システムの拡張性や保守の容易性をも向上させることが可能な、処理フロー制御装置を提供する。 - 特許庁 - To provide an ultrasonic diagnostic apparatus acquiring diagnostic information indicating a blood flow rate from ultrasonic doppler spectrum images as uniform data in a simple manner and in a short period of time, and to provide a data processing program of the ultrasonic diagnostic apparatus.
超音波ドプラスペクトラム画像から血流量を表す診断情報をより簡易かつ短時間で画一的なデータとして取得することが可能な超音波診断装置および超音波診断装置のデータ処理プログラムを提供することである。 - 特許庁 - To provide a jellyfish-catching, processing, and recovering system which can efficiently catch, process, recover, and exterminate Echizen jellyfish massively growing in Japan Sea, flow in ocean currents, fill up sea areas, and move northward, from summer to autumn, and can give large effects.
夏から秋にかけて、日本海に大量発生を行い海流に乗って海域を埋め尽くし、北上する越前クラゲを捕獲処理回収駆除が効率よく行えて、大きな効果が出るクラゲ捕獲処理回収システムの提供を行う。 - 特許庁 - To provide a new construction of flow monitor, which is simply, easily, and highly accurately manufactured and machined and easily decomposed to be maintained in cleaning, and easily replaced in parts replacement, and capable of processing with fluororesin, and therewith prevented from solving out of impurity and mixing of micro dust.
製造加工が簡単かつ容易で精度が高く、分解して洗浄等のメンテナンスや部品交換も容易で、フッ素系樹脂による加工も可能で、加えて不純物の溶出や微塵の混入がない新規な構造のフローモニターを提供する。 - 特許庁 - To provide a packet transfer system or the like capable of properly monitoring a flow of packets at low cost without increasing the processing load even in the case of adopting the observation type reception control under the leadership of terminals for transferring test and preferential packets whose priorities differ from each other.
互いに優先度の異なる試験パケット及び優先パケットの転送が行われる端末主導の観測型受付制御の場合においても、処理負荷を増大させることなく、かつ適正に安価にパケットの流量を監視する。 - 特許庁 - To detect, in a servo type static capacitance sensor device, the presence or absence of disconnection of any signal line on which servo signals to be supplied from a signal processing circuit to a sensor element flow, including cases in which servo force to cancel vibration of a structural body is zero.
サーボ型静電容量式センサ装置において、構造体の振動を打ち消すサーボ力がゼロであるときを含めて、信号処理回路からセンサ素子へ供給されるサーボ信号が流通する信号線の断線有無を検出する。 - 特許庁 - To surely prevent the performance deterioration dispensing with a large storage capacity for instruction control by temporarily stopping the whole flow of the instruction processing in a processor in regard to an instruction control method and the processor.
本発明は、命令制御方法及びプロセッサに関し、命令制御に大きな記憶容量を必要とせず、且つ、プロセッサ内の命令処理の全体の流れが一時的に停止されることを抑止して性能低下を確実に防止することを目的とする。 - 特許庁 - The processing time in the control flow is much shorter than the transmitting time till the start of vibrating from when the force due to the motion of a car body mounting member is transmitted to the car body, and the control can be made before the car body receives influence of the vibration.
車体取付部材の運動による力が車体に伝達されて振動し始めるまでの伝達時間に対して、制御フローにおける処理時間は極めて短く、車体が上記振動の影響を受ける前に制御することができる。 - 特許庁 - Meter electronics 20 includes an interface 201 for receiving a vibrational response of a flow material including at least a first sensor signal 210 and a second sensor signal 211, and a processing system 203 in communication with the interface 201.
計測器電子機器２０は、少なくとも第１のセンサ信号２１０及び第２のセンサ信号２１１を含む流体物質の振動応答を受信するためのインターフェイス２０１及びインターフェイス２０１と通信する処理システム２０３を備える。 - 特許庁 - On the condition that the traveling condition of the vehicle is in a deceleration condition, processing for stopping an electric pump 34 is performed so that a flow rate of cooling water circulating between the intercooler 18 and an LT radiator 32 is made 0 forcibly.
車両の走行状態が減速状態であること等を条件として、インタークーラ１８とＬＴラジエータ３２との間を循環する冷却水の流量を強制的に０とすべく電動ポンプ３４を停止させる処理を行う。 - 特許庁 - To provide: a gas control device capable of preventing gas from rushing into a chamber where a mass flow controller is securely in a completely closed state at time of an open processing; a method of controlling the gas control device; and an ion implantation device using them.
開処理時において確実にマスフローコントローラが全閉状態となっており、チャンバー内へガスが突入するのを防ぐことができるガス制御装置、ガス制御装置の制御方法、及びそれらを用いたイオン注入装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a network management means and a packet switching apparatus for reducing a delay and delay fluctuation with data transfer while avoiding a delay time caused by connection setting and for efficiently processing a connectionless data flow in a large-scale data network.
コネクション設定によって起こる遅延時間を避けて、データ転送に伴う遅延と遅延変動を小さくすると共に、大規模データネットワークにおけるコネクションレスデータフローの処理を効率良く行う網管理手段及びパケットスイッチ装置を提供する。 - 特許庁 - In each server contained in a system which performs job processing, a utilization resource information acquisition section 34 extracts a resource which each job uses based on a job flow which a user registers in a job registration section 32, and creates a table of utilization resource information.
ジョブ処理を行うシステムに含まれる各サーバにおいて、利用リソース情報取得部３４は、ジョブ登録部３２においてユーザが登録したジョブフローに基づき、各ジョブが利用するリソースなどを抽出して、利用リソース情報のテーブルを作成する。 - 特許庁 - In a multi-layer network, in which the router of a packet network NW3 and the switch of a circuit-exchange network NW2 cooperate and communicate data, a traffic information processing device 1 creates a traffic matrix composed from traffic quantities which flow between arbitrary routers.
パケットネットワークＮＷ３のルータと、回線交換ネットワークＮＷ２のスイッチとが連携してデータを通信するマルチレイヤネットワークにおいて、トラヒック情報処理装置１が、任意のルータ間を流れるトラヒック量から構成されるトラヒックマトリックスを作成する。 - 特許庁 - The detecting sensor 20 lies on the upstream side regarding the direction of the flow of a tray T to the laser marking device 40, and, prior to the carrying of the unprocessed ICs to the processing position, detects the shortage of ICs.
検出センサ２０はレーザマーキング装置４０に対しトレイＴの流れ方向に関する上流側にあって、未加工のＩＣが加工位置に搬送されるのに先立って、トレイＴ上におけるＩＣの欠品の有無を検出するものである。 - 特許庁 - To provide a transaction processing system capable of improving a cash flow of a member store of executing card transactions using a credit card, and capable of preventing the occurrence of the situation of becoming difficult for management by lacking in operation funds of the store by executing the card transactions.
クレジットカード等を使用したカード取引を行った加盟店のキャッシュフローを向上させ、カード取引を行うことで、店舗の運営資金が不足し、経営が困難になるという事態が生じるのを防止できる取引処理システムを提供する。 - 特許庁 - To provide a flow line observation system for detecting the position of a mobile body with high accuracy and capable of recognizing the moving history of each mobile body using the same transmitter without the need for particular processing in an observation area even when the same transmitter is repetitively used.
移動体の位置を精度良く検出するとともに、同一の発信機を繰り返し使用しても、観測エリア内で特別な処理をせずに、同一の発信機を使用した各移動体の移動履歴を認識できる動線観測システムを提供する。 - 特許庁 - When the failure in shutting-off a flow passage with fluid flowing therein by the shut-off valve is determined to be possible, forcible open/close processing is carried out for forcing the shut-off valve to be in an opening state, then, in a closing state.
流体が流れる流路を遮断する遮断弁による遮断の不具合の可能性有りとの判定がなされた場合に、前記遮断弁を強制的に開状態にさせ、その後、閉状態にさせる強制開閉処理を実行する。 - 特許庁 - The bulge processing device comprises a die 1, a work 3 mounted in a cavity 2 in the die 1, a hydraulic pressure feed mechanism 4 having the function of changing the hydraulic pressure, and a closed annular flow passage 5 including the hydraulic pressure feed mechanism and the work 3.
金型１、金型1内の空孔２に装着される被加工材３、流体圧を変化させる機能を有する流体圧供給機構４、流体圧供給機構４と被加工材３を含む閉環状流路５から構成されるバルジ加工装置。 - 特許庁 - To provide an energy-saving type air flow crushing and drying device for turning various kinds of foods (wastes of leftover rice, green vegetable, fish, bread and the like) thrown away from homes, restaurants, stores, processing plants and the like into granular dry solids in a short period of time.
家庭、食堂や商店、加工場等で廃棄される各種の食品類（残飯や生野菜、魚、パン等の廃棄物）を、短時間で顆粒状の乾燥固形物にすることができる省エネルギー型の気流式粉砕・乾燥装置を提供する。 - 特許庁 - To accurately judge and detect the presence/absence and passing of a mobile object without being affected by the flow of air or the like by performing image processing to an image in which an area where the mobile object such as a vehicle passes through is photographed with an image pickup sensor is presented.
車両等の移動物体の通過する領域を撮像センサによって撮影した画像に対して画像処理を行うことにより、空気の流れ等に影響されることなく、移動物体の有無、通過を正確に判定し、検知すること。 - 特許庁 - To provide a spinning method capable of adjusting a cooled air flow velocity of a filament to a predetermined velocity and obtain a polyester fiber showing no reduction in residual elongation even when the spinning is carried out at a high speed and high tension in a DTY processing, and a spinning machine.
フィラメントへの冷却気流速度を所定の速度に調節できる紡糸方法及び紡糸装置の提供と、ＤＴＹ加工において高速化、高張力化を行っても残留伸度の低下がないポリエステル繊維を得ることである。 - 特許庁 - Fluid such as a refrigerant whose cleanliness is enhanced by processing through a filter or the like is fed into a can 13 at pressure higher than pressure in the can 13 through a fluid tube 30, separately from a normal fluid flow path such as a refrigeration cycle.
フィルタ等の処理で清浄度が高められた冷媒等の流体が、冷凍サイクル等の通常の流体流路とは別に、流体管３０を通じて、キャン１３内の圧力よりも高められた圧力でキャン１３内に送り込まれる。 - 特許庁 - Since the placement of a consistent amount of fluid on a slide is required in the processing of the biological reaction system, a distributing chamber is arranged in line with a reservoir chamber, and a piston of the distributing chamber is removed to simplify a flow of the fluid passing through the dispenser.
生物反応システムの処理において、スライド上に流体を一貫した量で置く必要があり、分配チャンバーはリザーバーチャンバーと直列であり、リザーバーチャンバーのピストンが取り出され、ディスペンサーを通る流体流は単純化される。 - 特許庁 - Then, a determination section 8 compares processing procedures (order) with each other between a step name of a step ID in the extracted production condition flow and a step name of a step rule stored in a step rule storage section 3, and it judges whether or not they match each other.
続いて、判定部８が、抽出された製造条件フローにおける工程ＩＤの工程名と、工程ルール格納部３に格納された工程ルールの工程名との処理手順（並び順）を比較し、一致しているか否かを判断する。 - 特許庁 - When a series of processes are conducted to a substrate W in the substrate processing equipment, process history data composed of items such as a carrier time, a process time, the temperature of a plate, the number of revolution of a spin motor, the flow rate of a liquid or the like, are gained previously at every substrate W.
基板処理装置にて基板Ｗに一連の処理を行っているときに、搬送時間、処理時間、プレート温度、スピンモータの回転数、液の流量等の項目からなる処理履歴データを基板Ｗごとに取得しておく。 - 特許庁 - To obtain a new vinyl chloride-based copolymer resin that is produced in excellent productivity and has excellent impact resistance of a molding and melt flow properties in molding and processing, to provide a method for producing the same and to obtain its resin composition.
生産性良く製造可能で、成形体の耐衝撃性及び成形加工時の溶融流動特性に優れた、新規な塩化ビニル系共重合樹脂及びその製造方法並びにその樹脂組成物を提供することを課題とする。 - 特許庁 - To provide a plant operation support device equipped with an interface capable of briefly describing only by performing component wiring the same as a conventional flow chart form or a logic chart form without depending on an external function for complicated arithmetic processing or matrix operation.
複雑な演算処理や行列演算を外部機能に依存することなく、従来のフローチャート形式・ロジックチャート形式と同じ部品配線を行うだけで簡単に記述できるインターフェースを備えるプラント運転支援装置を実現する。 - 特許庁 - Also, for instance a resistance is provided so as to detect a current made to flow through the current path, and the resistance of the recording material is estimated from the potential difference caused between the terminals of the resistance so that a change is made in an image forming processing condition in accordance with it.
さらに、前記電流経路を流れる電流を検出するために例えば抵抗を設け、その抵抗の端子間に生じる電位差から記録材の抵抗を推定し、それに応じて画像形成プロセス条件に変更を加える。 - 特許庁 - The network relay apparatus receives sub data different from main data by data transmission/reception processing parts 120 and 120a of a working system and a spare system and, when communication paths of the working system and the spare system both work normally, has the sub data flow through the communication path of the spare system.
主データとは異なる副データを現用系および予備系のデータ送受信処理部１２０、１２０ａで受信し、現用系および予備系の通信経路がともに正常である場合には、当該副データを予備系の通信経路に流す。 - 特許庁 - The vapor phase growth apparatus includes a substrate supporting member 23a for supporting a substrate 31 so as to arrange a processing surface in a gas flow passage, a first heater 1, and a second heater 3a arranged separate from the first heater with respect to the substrate 31.
気相成長装置は、処理面をガス流路に配置するように被処理基板３１を支持するための基板支持部材２３ａと、第１ヒータ１と、被処理基板３１に対して第１ヒータよりも離れて配置された第２ヒータ３ａとを含む。 - 特許庁 - The bioinformation monitoring system 300 monitors bioinformation using measured values of biotissue of the head part and biotissue of either part of four limbs using blood flow values obtained by processing signals from laser rheometers 10 and 20 as the measured value.
レーザー血流計１０，２０からの信号を処理して得られる血流計を計測値として、頭部の生体組織と、四肢の何れかの部位の生体組織と、の計測値を用いて生体情報を監視する生体情報監視システム３０である。 - 特許庁 - Calculation of the cooling water flow rate distribution is performed for each fuel assembly (Step 53), and hot-water power calculation processing, including calculation of void ratio distribution in the fuel assembly (Step 54) and calculation of void ratio in the SSR (Step 55), is executed.
燃料集合体毎の冷却水流量配分計算が行われ（ステップ５３）、燃料集合体内のボイド率分布計算（ステップ５４）及びＳＳＲ内のボイド率分布計算（ステップ５５）を含む熱水力計算処理が実行される。 - 特許庁 - An information processing device 9 calculates the passage resistance in the layer of the abrasive pad 3 from a nozzle opening section pressure signal 15 and a flow signal 14 obtained by the sensor 1 and converts the calculated passage resistance into polishing efficiency by using a prescribed table.
情報処理装置９は、センサ１から得たノズル開口部圧力信号１５と流量信号１４から研磨パッド３の層内の流路抵抗を算出し、算出された流路抵抗を所定のテーブルを用いて、研磨能率に変換する。 - 特許庁
- 特許庁
- Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved.
