「solving」を含む例文一覧(6245)
＜前へ 1 2 .... 94 95 96 97 98 99 100 101 102 .... 124 125 次へ＞- To provide a thin film transistor substrate with which a fast-response display, a peripheral circuit etc., making good use of high mobility that an oxide semiconductor has are actualized by solving problems of an insulation failure and disconnection at a step part when a transparent conductive film is used as a wiring electrode.
透明導電膜を配線電極とした場合における段差部での絶縁不良や断線を解決し、酸化物半導体膜が持つ高い移動度を生かした高速応答ディスプレイや周辺回路等を実現することができる、薄膜トランジスタ基板を提供する。 - 特許庁 - To provide a method of machining sprayed coatings, wherein the sprayed coatings formed on bore surfaces, in a deck surface machining, does not receive any external force from tools or machines for machining deck surfaces, thereby effectively solving the problem of a prayed coating peeled by received external force.
デッキ面加工の際に、ボア面に形成された溶射被膜がデッキ面加工で使用される工具や機器から何等の外力も受けず、もって、外力を受けた際に溶射被膜が剥がれ落とされてしまうという課題を効果的に解消することのできる、溶射被膜の加工方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a feedback system capable of solving the problem that when noise is input to signals, a measured dose value changes and the accurate difference value between the measured dose value and a beam intensity value suited to a treatment plan cannot be output to a differential amplifier.
本発明は、信号にノイズが入力された場合、測定した線量値が変化して差動増幅器に治療計画に適うビーム強度値との正確な差分値を出力することができないという問題を解消できるフィードバックシステムを提供することを課題とする。 - 特許庁 - To provide a high-lift bucket conveyor solving the problem wherein a high-lift load concentrates to a top sprocket in a vertical conveying process, avoiding malfunction such as breakages of a transmission endless chain and the top sprocket to achieve a good conveyor service life, and expanding the vertical conveying process.
垂直搬送工程の頂部スプロケットに対する高揚負荷の集中を解消するとともに伝動用エンドレスチェーンや頂部スプロケットの破損等の不具合を回避して優れたコンベヤ寿命を達成し、垂直搬送工程が拡張可能な高揚程バケットコンベヤを提供すること。 - 特許庁 - To supply a reference signal to each part while solving problems of interference, noise, signal distortion, unwanted radiation, available frequency, and the like, and to set respective levels of a signal processed using the reference signal and a reference signal used on the post-stage side correctly.
干渉・ノイズ・信号歪み・不要輻射・使える周波数などの問題を解決しつつ、各箇所に基準信号を供給するとともに、基準信号に基づいて処理された処理済み信号と後段側で使用する基準信号の各レベルを適正に設定できるようにする。 - 特許庁 - The method includes the steps of cleaning and drying an instrument used in adjustment of the counter electrode liquid 20 for solving the problem and dehydrating chemicals previously to reduce the water content, and specifying an upper limit value having no effect on the background.
本発明は、上記目的を達成するために対極液２０の調整時に使用する器具の洗浄乾燥および使用する薬品を予め乾燥剤で脱水し水分含有量を少なくし、バックグランドに影響がない上限値を規定することにより達成される。 - 特許庁 - The functional member is constituted by blending a suspension constituted by decomposing the organic substances by the microorganisms secured in safety used for the foods in a manufacturing stage as the above members as the solving technique to the deterioration of the organic substances, the method for manufacturing the functional members is disclosed.
有機物の劣化に対する解決手法として、食品に利用されたりする安全性が担保された微生物によって有機物を分解した懸濁物を、上記部材の原料として製造段階で配合してなる機能性部材、並びに上記機能性部材の製造方法。 - 特許庁 - To provide a washing dryer with a heating function, that can be used as a heater, by solving the problem of developing uses other than washing and drying, using functional parts such as a heater and a blower, in a washing dryer capable of washing and drying.
洗濯から乾燥までを実施できる洗濯乾燥機において、ヒータと、送風機という機能部品を活かして、洗濯から乾燥まで以外の他の用途に使用可能に展開するという課題を解決して、暖房機としても使用可能な、暖房機能付きの洗濯乾燥機を得るようにする。 - 特許庁 - To provide a method of manufacturing inkjet ink to form an image which has a stable printing quality by solving the following problem: optical density of the image formed after pausing an ink discharge becomes lower than the optical density of the image formed before pausing the ink discharge and the printing quality deteriorates.
インク吐出を休止した後に形成された画像の光学濃度が、吐出の休止前に形成した画像の光学濃度よりも低くなって印字品位が低下するという課題を解決し、印字品位の安定した画像形成を可能とできるインクジェット用インクの製造方法の提供。 - 特許庁 - To provide a mechanical seal excellent in durability or reliability, by lessening or solving inconvenience of increasing a friction coefficient even in severe environment such as a condition of insufficient lubrication of a sliding part with lubricating liquid or a dry condition, although the mechanical seal has a static seal ring made of an SiC sliding member.
ＳｉＣ摺動材製の静止密封環を持ちながら、摺動部に十分な潤滑液が回り込まない状況やドライ状況といった厳しい環境下においても、摩擦係数が高くなる不都合を抑制又は解消して、耐久性や信頼性に優れるメカニカルシールを提供する。 - 特許庁 - To provide a diamond field effect transistor and diamond multilayer film, solving problems such that the value of the drain current in conventional devices is practically speaking too low, and when temperature of a specimen is raised, the drain current dramatically decreases, at a certain temperature and higher and does not return to the original current which causes deterioration of the device.
本発明の目的は、従来技術のデバイスのドレイン電流値が実用的には少なすぎ、試料を昇温すると、ある温度以上でドレイン電流が劇的に減少し、元に戻らず、デバイスが劣化するという問題を解決するダイヤモンド電界効果トランジスターおよびダイヤモンド多層膜。 - 特許庁 - To provide an electron absorber which is adaptable to continuous vapor deposition on a film base material of a large area as well by solving a problem that electrons heat other parts than a vapor deposition material by the reflection phenomenon or diffusion phenomenon, and an electron beam heating type vapor deposition apparatus using the same.
電子が反射現象または拡散現象によって蒸着材料以外の箇所を加熱してしまう問題を解消し、大面積のフィルム基材への連続蒸着にも対応できる電子吸収体およびそれを用いた電子線加熱蒸着装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a production method solving peculiar problems in the production of an absorptive article provided with a folded member, stably and accurately performing the work of folding the member without the need of complicated apparatuses, and suitably coping even with the high-speed continuous production of the absorptive article.
折り返された部材を具備する吸収性物品の製造における特有の課題を解決して、部材を折り返す加工を複雑な機器を要さずに安定して精度良く行い、上記吸収性物品の高速連続生産にも好適に対応することができる製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing slag hardened body solving problems such as insufficient strength, generation of crack and expansion due to free MgO of a slag hardened body obtained by using converter slag and ladle refining slag as a part of the raw material, at a bound.
本発明は、転炉スラグ及び取鍋精錬スラグを原料の一部として使用して得たスラグ硬化体の強度不足、ひび割れの発生、遊離ＭｇＯに起因する膨張等の問題を一挙に解決可能なスラグ硬化体の製造方法を提供することを目的としている。 - 特許庁 - To provide a technique for: solving a problem of connection reliability over time, a problem of corrosiveness, and a problem of a Kirkendall void formed with time after long-period high-temperature exposure; and further leveling bump shapes and bump heights by avoiding formation of microvoids (fine air bubbles and gaps).
マイクロボイド（微小な気泡や空隙）発生を回避し、経時的接続信頼性の問題、腐食性の問題、更には長期高温暴露後に経時的に発生するカーケンダルボイドの問題を解決し、更にバンプ形状とバンプ高さの均一化を図る技術を提供する。 - 特許庁 - To provide a drain pipe joint capable of solving problems of conventional drain pipe joints, increasing the rotating force of drain water flowing down in a vertical pipeline to positively ensure the ventilation core, and reducing pressure fluctuation in the vertical pipeline due to an energy absorbing effect with rotating vanes.
従来の排水管継手の問題点を解消し、縦管路内を流下する排水の旋回力を高めることができて、通気芯を確実に確保できるとともに、旋回羽根による減勢効果によって縦管路内の圧力変動も小さくできる排水管継手を提供する。 - 特許庁 - To provide a route guidance device and method, capable of solving the problem with a conventional device, wherein a present position or the direction of a route to be traveled can be discriminated, however a traveling route of a complicated circulating route in which the same road is traveled in a plurality of times is difficult to be grasped.
現在位置や進むべき経路の方向は区別できても、同じ道路を複数回通行するような複雑な巡回経路における走行経路を把握し難いという課題を解決することのできる経路案内装置、および経路案内方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an image formation device, and its control method and program, capable of solving a problem that printing speed deteriorates if composition processing of image data is performed at the time of printing instead of storing in advance composite image data in a storage device in order to avoid a problem that a job cannot be continued if a data amount of image data exceeds a storage capacity.
画像データのデータ量が記憶装置の記録容量をオーバーするとジョブを継続できなくなるため、合成画像データを予め記憶装置に格納するのではなく、印刷時に画像データの合成処理を行うと印刷速度が低下してしまう。 - 特許庁 - To provide a headlight bulb which can change the direction of light in upward and downward directions and which can be easily attached or detached while solving, with regard to production of a headlight bulb having, as a light source, a light emitting element such as a LED, the problem of illumination and heat release from a single light source, which causes the shortage of light quantity and is disadvantageous to light distribution.
ＬＥＤなどの発光体を光源としたヘッドライトバルブ化に対して、光量不足及び配光に対して不利な単一光源からの照射及び放熱問題を解決させて、また上下配光切替が可能になり脱着が容易なヘッドライトバルブを提供する。 - 特許庁 - To provide a system for informing configuration and growth conditions of plant solving the following problem: in recent years, particularly in the field of gardening, it is difficult for a conventional supply method served via internet or the like to respond to the needs of a user under existing circumstances where user's knowledge and the like of plant are leveled up and diversified, so that the user can not detect information she (he) requires.
近年、特にガーデニングに関する分野では、ユーザーの植物への知識等が高度化、多様化している現状に於いて、インターネット等で提供されている従来の提供方法では、ユーザーのニーズに対応することが難しく、ユーザーは求める情報が検出出来ない。 - 特許庁 - To provide a storage form of a lithium transition metal composite oxide for a nonaqueous electrolyte secondary battery active material capable of solving a problem of generating gas when used in a nonaqueous electrolyte secondary battery and realizing the nonaqueous electrolyte secondary battery having high battery characteristics such as cycle characteristics.
非水電解質二次電池に使用した際のガス発生の問題を改善することができ、サイクル特性等の電池特性に優れた非水電解質二次電池を実現し得る非水電解質二次電池活物質用リチウム遷移金属複合酸化物の保存形態を提供する。 - 特許庁 - A printed wiring board copper foil is provided with roughened surface on its one side, a nickel-zinc alloy layer is formed on the roughened surface of the copper foil used for a printed wiring board, and the printed wiring board copper foil is used for solving the problem.
片面側に粗化処理面を備えたプリント配線板用銅箔であって、当該粗化面にニッケル−亜鉛の合金層を形成したことを特徴とするプリント配線板用銅箔を用い、プリント配線板用途に用いることにより課題の解決を図るものである。 - 特許庁 - For solving the problem, the copper foil with carrier sheet is employed which has a copper foil on the surface of a carrier sheet through a joining interface layer so as to make the carrier sheet physically peelable.
前記課題を解決するために、キャリアシートの表面に接合界面層を介して銅箔層を有し、当該キャリアシートが物理的に引き剥がし可能なキャリアシート付銅箔であって、当該接合界面層は、金属層と炭素層とからなることを特徴とするキャリアシート付銅箔を採用する。 - 特許庁 - To provide a safety cover also serving for increasing propulsion for protecting a ship body and capable of solving a structural fuel problem for eliminating various obstruction caused from peripheral driftage, a wave and a structure when sailing by a ship with a submerged propelling engine.
水没型推進機関付き船舶で航行する場合、周囲の漂流物、波、構造上、等から各種障害が発生するが、これらを解消するには船舶本体を防護し、構造上からくる燃料問題も解決できる、推進力の増強を兼ねた安全カバーを提供することである。 - 特許庁 - To reduce higher harmonic components of a clock signal radiated from a clock signal line of a radio apparatus constituted to feed an IC with the clock signal over the clock signal line from another IC containing a clock generator, thereby solving the characteristics deterioration of the radio apparatus.
クロック発生回路を内蔵したＩＣからクロック信号ラインを介して他のＩＣにクロック信号を供給する構成の無線機器において、クロック信号ラインから輻射されるクロック信号の高調波成分を低減させて、無線機器の特性劣化を解消する。 - 特許庁 - To develop improved vibration resistant performance in both vertical and horizontal directions by incorporating a gimbal mechanism into a piston of an air spring type isolator 3 (a vibration resistant device) and to secure sufficient durability and reliability by solving the problem with outgas for allowing the use under a ultra-high vacuum.
空気ばね式アイソレータ３（除振装置）のピストンにジンバル機構を組み込んで、上下及び水平の両方向について優れた除振性能を得られるようにするとともに、アウトガスの問題を解消して超高真空下での使用を可能とし、且つ十分な耐久信頼性を確保する。 - 特許庁 - The framework has a controller element part written by a native code, and has enhanced the execution speed and the safety of the system in addition to solving the problem by adapting a method for performing management of applications by directly performing communication from the browser of an operation panel part to the controller element part.
前記フレームワークは、ネイティブコードで書かれたコントローラ要素部を有し、操作パネル部のブラウザからコントローラ要素部に直接の通信を行うことにより、アプリケーションの管理を行う方法をとることにより、問題を解決するとともに、実行の高速化、システムの安全性を高めた。 - 特許庁 - To provide a negative electrode capable of constituting a lithium secondary battery having high energy density and superior durability, by solving the problems on a lithium secondary battery using a carbon material as a negative electrode active material, which are retention, cycling deterioration and capacity decreases during high-temperature storage.
炭素材料を負極活物質とするリチウム二次電池が抱えるリテンション、サイクル劣化および高温保存における容量低下の問題を解決し、エネルギー密度が高くかつ耐久性に優れたリチウム二次電池を構成することのできる負極を提供する。 - 特許庁 - To provide a Pachinko ball passage chute capable of solving problems of a ball circulation system installed in a game island such as attachment work of a downfall hose, a falling accident of an outlet itself of the Pachinko ball passage chute and static electricity generated in the downfall hose.
遊技島に設置した玉循環システムで生じていた課題である、流下ホースを取付け作業や、パチンコ玉流路樋の排出口自体の落下事故や、流下ホース内で生じる静電気の課題を解決することを目的としたパチンコ玉流路樋を提供する。 - 特許庁 - To provide a more excellent urethane roller which is free of roller chipping, and is good in releasing properties in molding and workability, such as machinability, and does not have the defects of a silicone roller by improving the conventional low-hardness urethane roller and solving the problem of a coefficient of friction.
従来の低硬度ウレタンローラを改良して摩擦係数の問題を解消することにより、ローラ削れがなく、成型における離型性、研削性等の加工性が良好で、かつ、上記のシリコンローラの欠点をも有しない、より優れたウレタンローラと、それを用いた電子写真装置を提供する。 - 特許庁 - To provide communication equipment and a communication method capable of realizing a more efficient use of a frequency band being a valid and precious resource, and solving demodulation error or the generation of retransmitted packet due to the detection error of a synchronizing signal.
有限かつ貴重な資源である周波数帯域のより効率の良い利用を実現しつつ、同期信号の検出誤りによる復調誤り、あるいは再送パケットの発生を解決することができる通信装置および通信方法を提供することを課題とする - 特許庁 - To provide a fuel cell that supplies liquid fuel directly to an anode, especially, a direct methanol fuel cell solving problems of crossover ensued, can achieve a high output, and further, can promptly follow output fluctuation, in spite of itself.
液体燃料を直接アノードに供給する燃料電池、特に直接メタノール形燃料電池でありながら、付随するクロスオーバーの問題を解消し、高出力を実現でき、さらには出力変動にも即座に追随できる燃料電池、特に直接メタノール形燃料電池を提供する。 - 特許庁 - To provide a lithium secondary battery which has a large discharge capacity, excels in coulomb efficiency and cycle characteristics, and contains an electrode material for batteries with a small irreversible capacity, thereby solving a problem encountered when high crystallinity graphite is used and a problem encountered when an amorphous carbon layer is included.
高結晶性黒鉛を用いた場合の問題点及び非晶質炭素層を設けた場合の問題点を解消した、放電容量が大きく、クーロン効率、サイクル特性に優れ、不可逆容量の小さい電池用電極材料を含むリチウム二次電池を提供すること。 - 特許庁 - To provide a synthetic quartz glass fiber, yarn and cloth which are used for multilayer printed wiring boards, especially for ultra-high-frequency circuits of over 1GHz, by solving the problems concerning the processibility of a quartz glass fiber and the thread and cloth prepared using the fiber.
石英ガラス繊維、及びその繊維を使用して作製した石英ガラス糸及び布の加工性の問題を改善することを課題としてなされたもので、特に１ＧＨｚを超える高周波回路に用いられる多層プリント基板用の合成石英ガラス繊維、糸及び布を提供する。 - 特許庁 - To provide an optical modulator capable of solving the problem of impedance inconsistency common to optical modulators having a structure wherein a plurality of signal electrodes branch from one signal electrode, and having excellent optical modulation characteristics such as reduction of driving voltage and enhancement of frequency characteristics.
１本の信号電極を複数の信号電極に分岐する構造を持つ光変調器に共通するインピーダンス不整合に係る問題を解消し、駆動電圧の低下、周波数特性の向上など優れた光変調特性を有する光変調器を提供すること。 - 特許庁 - To provide a method that can determine asbestos easily, accurately and quickly in a short time without needing complicated operation and expertise by solving problems such as artificial errors, difficulty in determining asbestos, troublesome processing or time related to measurement and measuring accuracy.
人為的な誤差、アスベスト判定の困難さ、計測に係る煩雑な処理または手間、及び測定精度等の問題点を解決し、複雑な操作及び専門知識が不要で、容易かつ短時間で迅速かつ正確にアスベストが判定できるアスベスト判定方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a solid electrolyte fuel battery capable of efficiently extracting power even if fuel gas is not evenly supplied to all fuel battery cells, and solving a problem of temperature distribution even in case solid electrolyte fuel battery cells are laminated.
燃料ガスがすべての燃料電池セルに対し均一に供給されなくても効率よく電力を取り出すことができるとともに、固体電解質形燃料電池セルを積層した場合でも、温度分布の問題を解決することができる固体電解質形燃料電池を提供すること。 - 特許庁 - To provide a highly reliable joined product obtained by superimposing the planar parts of a plurality of members to be joined in stepped shape and subjecting the superimposed part to friction stir joining, in which a firm joint is realized by solving the problem on the fatigue fracture thereof.
複数の被接合部材の板状部を段付き形状において重ね合わせ、その重合せ部分を摩擦撹拌接合して得られる接合製品において、その疲労破壊の問題を解消して、強固な接合部を実現した、信頼性の高い接合製品を提供すること。 - 特許庁 - To provide a coating apparatus capable of solving the following problem: the initial composition of coating liquid changes during a coating process and hence physical properties and quality change due to sedimentation, aggregation or poor dispersion of particles during coating, in a roll coater that applies coating liquid to continuously running band-shaped base.
連続走行している帯状の基材に塗液を塗工するロールコーターにおいて、塗液中の粒子の沈降や凝集または分散不良などによって、塗液の初期組成が塗工途中に変化して、物性や品質が変化する課題を解決できる塗布装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method for an ALC member with a long-sized element capable of substantially solving or relaxing at least one kind of the problem that pull-out strength is insufficient and looseness is generated in mounting and the problem that the beauty of the internal surface of the ALC member is damaged.
引き抜き強度が十分でなく、取り付けに緩みが生ずるという問題及びＡＬＣ部材の内面の美観が損われるという問題の少なくとも一種を実質的に解消し又は緩和し得る、長尺要素を有するＡＬＣ部材の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an electrode for an electric double-layer capacitor which is superior in oxidation and reduction resistance, solvent resistance, and heat resistance, and a nonaqueous or aqueous electric double-layer capacitor by solving the problems of moldability, bindability, electrical characteristics, and chemical stability of electrode paste for the electric double-layer capacitor.
電気二重層コンデンサ用電極ペーストの成型性、結着性や電気特性、化学的安定性の問題を解消し、耐酸化還元性、耐溶剤性、耐熱性に優れる電気二重層コンデンサ用電極、非水系、または水系電気二重層コンデンサを提供することを目的とする。 - 特許庁 - To improve service efficiency by solving the problem that the situation frequently occurs that a failure has been already eliminated in such a manner that the user turns OFF/ON the power supply or the like to restore the device when a serviceperson arrives at the user's place and reducing useless dispatch of the serviceperson.
サービスマンがユーザ先に到着してみるとユーザによる電源のＯＦＦ／ＯＮ等のオペレーションにより既に障害が解消されデバイスが復旧していることが頻繁に発生している課題を解決し、無駄なサービスマンの派遣を減らしサービス効率の向上を目的とするものである。 - 特許庁 - To provide an image-forming device capable of preventing sideways thinning, trailing end void or the like from occurring, and preventing the void of an isolated dot image caused by uneven contact of a magnetic brush or the roughness of the halftone image, and solving the problems accompanying a detection patch.
横ラインの細りや後端白抜けなどは発生せず、更に、磁気ブラシの不均一当接によって発生する孤立ドット画像の抜けやハーフトーン画像のざらつき感悪化が起こらず、また検知用パッチに伴う問題も解決することが可能な画像形成装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for producing a health food solving such a problem that many of vegetable or microbial natural food materials for producing health foods making users have uncomfortable taste when eaten because of their peculiar grassy or microbial smell and thereby such a defect largely hinders continuous intake of the material.
健康食品を作るための植物系あるいは微生物系の天然食品素材には、特有の青くさ臭や微生物臭を有するものが多く、このために食用に際して風味的に抵抗感があり、継続的に摂取することの大きな妨げとなっている。 - 特許庁 - To provide an elastic pavement material solving the problem that the durability of a surface layer for stress is low, the finish of the surface layer is difficult to be held constant, workability of a mixture for forming the surface layer is low, and the working life of the mixture is short.
応力に対する表面層の耐久性が低い、表面層の仕上げを一定に保つことが困難である、表面層を形成するための混合物の作業性が低い及びその混合物の可使時間が短いという問題が緩和される弾性舗装材を提供する。 - 特許庁 - To provide a method of manufacturing a CF (color filter), having excelling performance in image characteristics, including fine resolution of pixels and sharpness of a pixel, solving the problems such as complicatedness of processes and shortening of the operation time, and easily and economically coping with enlargement and miniaturization of a liquid crystal display.
画素の微細さ、シャープさなどの画像特性に優れた性能を有するＣＦの製造において、工程の煩雑さ、作業時間の短縮化などの問題点を解決し、容易にかつ経済的に、液晶ディスプレーの大型化にも、小型化にも対応できるＣＦを製造する方法の提供。 - 特許庁 - To secure control accuracy by solving the problem of a conventional technique for estimating and controlling heat loss (or heat load) generated in a duct by including a correction value into a reference control value or by selecting a correction value.
従来技術として、補正値として標準制御値に盛り込む方法や補正値を選択方式にする方法などにより、ダクトにて発生する熱損失（または熱負荷）を推定して制御する技術が知られているが、制御精度確保に対して十分な方法ではない。 - 特許庁 - To provide a collection delivery system of home delivery service, a collection delivery method of the home delivery service, an information management server and a program for the information management server, capable of solving the problem wherein a cargo collection-delivery is frequently caused to a collection delivery destination of the home delivery service by different home delivery agencies.
宅配便の集配先に対して、異なる宅配業者による集荷、配達が頻繁に発生するという問題点を解決した宅配便の集配システム、宅配便の集配方法、情報管理サーバおよび情報管理サーバ用プログラムを提供する。 - 特許庁 - To provide a method and an instrument for measuring a surface shape of a sample, capable of lowering a needle pressure of a probe to avoid deformation of the measured sample, and capable of solving the problem of deformation, moreover, even if the scanning speed of the probe is set high, and allowing accurate measurement in a short time.
探針の針圧を低くして被測定試料の変形を避け、しかも探針の走査速度を高くしても上記の問題を解決して正確な測定を比較的短い時間で行うことのできる試料の表面形状の測定方法及び装置を提供する。 - 特許庁 - To fabricate a transistor in which reverse short channel effect does not take place by suppressing formation of a recess through etching of the sidewall part of an isolation pattern formed on a semiconductor pattern when a pad oxide film, a sacrifice oxide film, and the like, are removed by etching thereby solving the problem in an STI(shallow trench isolation) technology.
パッド酸化膜、犠牲酸化膜等のエッチング除去時に半導体基板に形成した素子分離パターンの側壁部がエッチングされて窪みが形成されるのを抑制してＳＴＩ技術の課題を解決し、逆狭チャネル効果を生じないトランジスタの形成を可能にする。 - 特許庁
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