To provide a substrate processing method and apparatus, capable of preventing the collapse of a pattern formed on the surface of a substrate more reliably. 基板表面に形成されたパターンの倒壊をより確実に防止することができる基板処理方法および基板処理装置を提供する。 - 特許庁
A first alignment mark 1 is formed on an n-type semiconductor layer 12, and an insulation film 13 having a trench pattern is formed on the whole surface on it. n型半導体層12に第1のアライメントマーク1を形成し、その上全面にトレンチパターンを有する絶縁膜13を形成する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a surface acoustic wave device, which can prevent warping of a piezoelectric substrate generated when forming an electrode pattern. 電極パターンを形成するときに発生する圧電基板の反りを防ぐことができる弾性表面波素子の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a substrate processing apparatus and a substrate processing method wherein a fine pattern is prevented from collapsing by reducing the surface tension of pure water. 純水の表面張力を低減することにより、微細パターン倒れを防止する基板処理装置及び基板処理方法を提供する。 - 特許庁
To correct a defect of a pattern formed on a surface of a resin substrate with high quality by laser beam irradiation without damaging the resin substrate. 樹脂基板の面上に形成されたパターンの欠陥を樹脂基板にダメージを与えることなく、レーザ光照射により高品位に修正する。 - 特許庁
To properly form a film of a mold release agent on a surface of a template so that a predetermined pattern is formed on a substrate by using a template. テンプレートを用いて基板上に所定のパターンが形成されるように、当該テンプレートの表面に離型剤を適切に成膜する。 - 特許庁
A GND conductor 5 is formed by a conductor pattern disposed on one surface of a dielectric substrate 100, and provided with openings 2 and 3. GND導体5は、誘電体基板100の一面に配置された導体パターンによって形成され、開口部2及び3が設けられている。 - 特許庁
The resin film 5 is subjected to a pressure toward the fine-grained surface 6 in a pattern corresponding to the image and pressed in among hard fine grains 6a. 樹脂フィルム5は画像に対応したパターンで微細粒子面6に向けた圧力を受け、硬質の微細粒子6aの間に押し込まれる。 - 特許庁
Then, a fine spindle pattern composed of a plurality of concentric circle-shaped grooves with different diameters is formed on the surface of the UV cured resin layer 3. そして、UV硬化樹脂層3の表面には、径の異なる同心円状の複数の溝からなる微細スピンドルパターンが形成されている。 - 特許庁
Thereby, not only the surface area of the inductor pattern but also the thickness of the inductor increases, and consequently the inductor having a high quality factor can be obtained. これにより、インダクターパターンの表面積増加だけではなく、インダクターの厚さも増加してハイクォリティーファクターのインダクターを得ることができる。 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION TO BE USED FOR ORGANIC SUBSTANCE LAYER HAVING RUGGED SURFACEPATTERN OF SUBSTRATE FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY, AND PHOTOSENSITIVE ELEMENT 液晶表示装置用基板の表面凹凸形状を有する有機物層に用いられる感光性樹脂組成物及び感光性エレメント - 特許庁
By forming a light guide 2 in a radial pattern by the first etching, there is no risk of oxidation of the surface on which the corner mirror is normally formed. 1回目のエッチングで、放射状の光導波路2を形成しておけば、本来コーナーミラーが形成される面は、酸化される心配がない。 - 特許庁
To provide a precision roll lathe capable of forming a pattern having a three-dimensional shape such as a triangular pyramid on a surface of a roll in high precision. ロールの表面に、三角ピラミッドのような立体形状パターンを高精度に加工できるようにする精密ロール旋盤を提供する。 - 特許庁
Thereby, the antenna of the prescribed pattern is easily formed on the surface of the base material for the communication medium with high accuracy at a low cost. これにより、通信媒体用基材の表面に所定パターンのアンテナを高いパターン精度で、容易に、かつ低コストで形成することができる。 - 特許庁
To provide an apparatus of manufacturing a board having a pattern on a residual stress-free board surface at a high production velocity and its manufacturing method. 生産の速度が速く、ボードに応力が残留しない表面にパターンを有するボードを製作する装置及びその方法を提供する。 - 特許庁
In another way of patterning, the stage 5 is periodically moved to shift the irradiation position and the fine pattern is formed on the surface of the substrate by laser beam machining. また、ステージ5の周期的移動により照射位置を変え、レーザ加工により基板表面に微細形状を形成することもできる。 - 特許庁
In addition, a wiring pad 20 is formed on the surface of the wiring pattern 18, and a gold bump 22 is deposited on the wiring pad 20. また、配線パターン18の表面上には配線パッド20が形成されており、この配線パッド20上に金バンプ22が付着されている。 - 特許庁
To reduce a difference of contact depth regardless of the coarse-dense of a gate electrode pattern in a semiconductor device with a silicide film formed on the substrate surface. 基板表面にシリサイド膜が形成された半導体装置において、ゲート電極パターンの粗密に関わらず、コンタクトの深さの差を緩和する。 - 特許庁
A fluidity assisting pattern 10 for promoting the fluidity of resin 3 is formed on an element surface of the semiconductor element 1 facing the substrate 6. 基板6と向かい合っている半導体素子1の素子面には、樹脂3の流動を促進する流動補助パターン10が形成されている。 - 特許庁
To uniformize the contact state between a thermoplastic plate and a stamper, in hot press molding for transferring an uneven pattern to the surface of the thermoplastic plate. 熱可塑性板の表面に凹凸パターンを転写する熱プレス成形において、熱可塑性板とスタンパとの接触状態を均一化する。 - 特許庁
The grounding electrode 13 is mounted on a printed wiring board 16 and connected with a grounding (earth) pattern on the surface of the printed wiring board 16. プリント配線基板16上に搭載されて、接地電極13はプリント配線基板16の表面の接地(アース)パターンと接続される。 - 特許庁
To compound the picture of an object having a complicated curved surface with a two-dimensional background picture in a natural pattern state by a simple operation. 2次元の背景画像に複雑な曲面を有する対象物の画像を簡単な操作で自然な柄の状態に合成できるようにする。 - 特許庁
A resonance pattern (21) formed of a conductive material and having a circular plane shape is formed over the principal surface of a dielectric substrate. 誘電体基板の主表面上に導電材料で形成された円形の平面形状を持つ共振パターン(21)が形成されている。 - 特許庁
METHOD FOR FORMING PROTECTIVE FILM WHICH PROTECTS UNEVEN PATTERN-FORMED SURFACE, MOLD WITH PROTECTIVE FILM USING THE SAME, AND METHOD FOR PRODUCTION OF MOLD WITH PROTECTIVE FILM 凹凸パターン形成面を保護する保護膜の形成方法、並びに、それを利用した保護膜付モールドおよび保護膜付モールドの製造方法 - 特許庁
A dummy electrode pattern 35 is formed on the surface of a mother substrate 30 faced to wiring 42 formed on a mother substrate 40. 母基板40上に形成された配線42と対向する母基板30の表面上に、ダミー電極パターン35が形成されている。 - 特許庁
A first interlayer insulating film IL1 is formed to cover an underlying pattern layer formed on the main surface of a semiconductor substrate SUB. 半導体基板SUBの主表面に形成された下地パターン層を覆うように第1の層間絶縁膜IL1が形成されている。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a hot-dip Zn-Al-Mg alloy plated steel sheet that does not cause a polka-dot pattern and has excellent surface appearance. 水玉模様などの生じない表面外観に優れた溶融Zn−Al−Mg合金めっき鋼板の製造方法を提供する。 - 特許庁
At least a portion of the circuit pattern 2 is formed so as to have a bright surface 5 which can reflect light emitted from the light emitting element 1. 上記回路パターン2の少なくとも一部が発光素子1から発せられる光を反射可能な光沢面5として形成される。 - 特許庁
To provide a method for processing jewelry, which is capable of firmly sticking an ornamental pattern made of gold on the surface of the jewelry made of platinum. 白金からなる宝飾品の表面に金からなる装飾模様を強固に接着可能な宝飾品の加工方法を提供する。 - 特許庁
The raw material sheet 1A is placed, with its protruded pattern-formed surface down, on the upper face of a fixed mold 7 that has been formed into a smooth plane. 凸パターン22の形成面を下向きにして、平滑な平面状に形成された固定金型7の上面に素材シート1Aを載置する。 - 特許庁
To provide a holding apparatus for holding a printed circuit substrate, for a scanner system for scanning for directly writing a pattern on the surface of the printed circuit substrate. 印刷回路基板へパターンを直接書込むための走査器システムに用いる回路基板を保持するための保持装置を提供する。 - 特許庁
To improve braking performance of a pneumatic tire having a block pattern on a tread without any deterioration in driveability on a wet road surface. トレッドにブロックパターンを備えた空気入りタイヤの湿潤路面での操縦安定性を悪化させることなく制動性能を向上させる。 - 特許庁
To provide a manufacturing method by which surface roughness of a fine pattern can be controlled in a molecular level without excessively increasing complexity of manufacturing. 製造の複雑さを過度に増大させることなく、分子レベルで微細パターンの表面ラフネスを制御できる製造方法を提供すること。 - 特許庁
The landmark is a nearly hemispherical structure and on its spherical surface, a specific color or/and a specific pattern in combination are formed. ランドマークは略半球型の構造体であり、球面には所定の色又は模様、あるいは色と模様の組み合わせが形成されている。 - 特許庁
Similarly, a conductive plate 37 is connected by soldering the copper foil surface forming the pattern of the board 24 with a leading end part 37a. 同様に導電板37は、プリント基板24のパターンを形成する銅箔面と、先端部37aがハンダ付けされることにより接続される。 - 特許庁
A resist film having a specified pattern is formed on a conductive film provided on at least one surface of an insulative substrate through heat transfer printing. 絶縁性の基体の少なくとも一面上に設けた導電膜上に熱転写により所定のパターンを有するレジスト膜を形成する。 - 特許庁
A lamp is provided on a front surface of a game machine body and blinks in a prescribed lighting pattern to perform presentation of the game machine body. ランプは、遊技機本体の前面に設けられ、所定の点灯パターンで点滅することによって当該遊技機本体の演出を行う。 - 特許庁
To provide a pattern correction device capable of precisely correcting a defective part with simple structure even when a substrate surface is charged. 基板表面が帯電している場合でも、簡単な構成で欠陥部を正確に修正することが可能なパターン修正装置を提供する。 - 特許庁
To impart peculiar changeability to a decorative printing layer of an article with a complicated surface so as to create a pattern which varies depending on a viewing direction. 複雑な表面を有する物品の装飾用印刷層に見る向きによって異なる模様となるように特異な変化性を付与する。 - 特許庁
Transferring to a board is performed by feeding a pattern forming ink to the ends of the relief surfaces 3 of the relief printing plate under the condition that a plurality of recesses 4 are provided on the relief surface 3 of the relief printing plate. 凸版のレリーフ表面3に複数の窪み4を設け、先端にパターン形成用インクを供給し基板へ転写する。 - 特許庁
To provide an illuminating unit capable of showing a complicated pattern in the casing of a game machine and responding to the outer wall surface of the case with a complicated shape. ゲーム機の筐体に複雑な模様を表したり、複雑な形状の筐体外壁面にも対応可能なイルミネーション装置を提供する。 - 特許庁
The planar plate or the curved plate for forming the reflecting surface of the reflector is arbitrarily set, and hence a radiating pattern of a desired beam is formed. 当該反射器の反射面を形成する平面板または曲面板を任意に設定して、所望のビームの放射パターンを形成する。 - 特許庁
A part of the conductive pattern 17 of the flexible printed circuit board 16 is exposed to the outside, namely to the upper surface as the conductive portion 17a. 可撓性プリント基板16の導電パターン17の一部は外部、つまり上面に露出されており、導電部17aとなっている。 - 特許庁
To provide an optical scanner which can prevent the deviation in the scanning pattern of a laser beam on a surface to be scanned by preventing mispositioning of a cylindrical mirror. シリンドリカルミラーの位置ずれを防止し、被走査面上におけるレーザ光の走査パターンのずれを防止可能な光走査装置を提供する。 - 特許庁
A heating resistor section 31, an interbedded insulation film 36, a metallic pattern layer 38 and a surface protection film 41 are formed on an Si substrate in the above order. Si基板上に発熱抵抗体部31、層間絶縁膜36、金属配線層38、表面保護膜41をこの順で形成する。 - 特許庁
A block is constituted of a central block B1, an intermediate block B2 and an edge part block B3 in a state of developing a block pattern on a flat surface. ブロックパターンを平面に展開した状態において、ブロックは、中央ブロックB1と中間ブロックB2と端部ブロックB3とからなる。 - 特許庁
To provide a method for forming a thinned conductive pattern on a substrate surface with high adhesion without carrying out liquid-repellent treatment. 撥液処理を施すことなく、基板表面に細線化した導電性パターンを高い密着性を以って形成する方法を提供する。 - 特許庁
To obtain an ink jet recording material having high ink absorptivity, no problem such as a surface defect such as a craze, a wave-like pattern made on and by wind or the like and high gloss. インク吸収性が高く、ひび割れ、風紋等の表面欠陥の問題の無い、高光沢のインクジェット用記録材料が得られる。 - 特許庁
The circuit device, i. e. a combined integrated circuit 10, has a conductive pattern 18 including pads formed on the surface of a substrate 16. 本発明の回路装置である混成集積回路装置10は、パッドを含む導電パターン18が基板16の表面に形成されている。 - 特許庁
A regular pattern is formed by alternately finely roughening and flatly smoothing a seal operating surface of the heat seal blade. ヒートシール刃のシール作用面に対して微細な凸凹粗面加工と平滑面加工を交互に施すことにより規則性の模様が形成される。 - 特許庁