To provide an electronic device, having a waterproof and dustproof function, and capable of being used under harsh usage environments where the waterproof and dustproof function is certainly required, by ensuring the sealing state of abutting surface between an electronic device apparatus and a power source battery. 確実に電子機器本体と電源バッテリの電極部の当接面の密閉状態を確保することにより、防水、防塵機能を有し、特にこれら防水、防塵機能が確実に要求される過酷な使用環境下において使用することができる電子機器を提供すること。 - 特許庁
Besides, the device is provided with a means (32) for moving the shutters in a plane (P) positioned between the light source and the panel, and a control means (34') for controlling the displacement of the shutter so that both shutters may pass through the panel surface in the plane P at almost the same velocity (V) and also in the same direction. また、装置は、これらシャッターを光源とパネルとの間に位置する平面(P)内で動かすための手段(32)と、シャッターの変位を、両シャッターがパネル面をほぼ同じ速度(V)でかつ同じ方向に平面P内で通過するような方法で、制御するための制御手段(34’)とを有する。 - 特許庁
The light source includes a light emitting element 10 and a photoconductive body 11 for conducting the light of the light emitting element 10 to the original image, and an arrangement of an antireflection means on the surface of the photoconductive body prevents irradiation on the original image or an approach to the imaging optical system by disturbing light, straying light, or the like. 光源は発光素子10とこの発光素子10の光を原稿へと導く導光体11を含み、この導光体上面に反射防止手段を設けることにより外乱光・迷光などの原稿への照射または結像光学系への進入を防ぐ。 - 特許庁
A hot-water floor heating device 10 is constituted of a plurality of floor mats 2A, 2B, arranged on a floor surface, a heat source machine 1, supplying hot-water into these floor mats 2A, 2B, and a plurality of wireless remote controllers 4A, 4B, controlling the heating operation of respective floor mats 2A, 2B independently and respectively. 床面に配置された複数個の床マット2A、2Bと、これら床マット2A、2Bに温水を供給する熱源機1と、各床マット2A、2Bの暖房運転を各々独立に制御する複数の無線リモコンコントローラ4A、4Bとで温水床暖房装置10を構成する。 - 特許庁
To provide a light source system for an exposure device capable of emitting scattered light such that the whole exposure surface of a substrate coated with liquid negative type photosensitive agent can be exposed with nearly the uniform integrate exposure amount of the scattered light, although the system is small in size, simply and inexpensively constituted. 小型で簡素、かつ安価な構成でありながら液状ネガタイプの感光剤を塗布された基板の露光面全面をくまなく、かつ略均一な積算露光量で露光できる発散光を照射することができる露光装置用光源システムを提供すること。 - 特許庁
Each of the field-effect transitor cells 20 has a structure of a MOSFET and a drain region 2 and a source region 3 are formed on the main surface of the P-type silicon substrate 1 with spacing and a gate electrode 16 is formed on the channel part 4 between both regions 2, 3 through a gate insulating film 5. 各電界効果型トランジスタセル20は、MOSFETの構造を有し、p形シリコン基板1の主表面側にドレイン領域2とソース領域3とが離間して形成され、両領域2,3間のチャネル部4上にゲート絶縁膜5を介してゲート電極16が形成されている。 - 特許庁
To provide a light reflection type band marker capable of allowing a driver of a car traveling on a road at night to continuously recognize that the light of a light source such as a headlight reflected by a light reflecting surface runs by fitting the marker to a columnar body of a pole, etc. 電柱などの柱体に取り付けておくことによって、夜間に道路を走行中の自動車の運転者に、光反射面で反射した前照灯などの光源の光が走るように連続して認識させることのできる光反射式バンド標識を提供する。 - 特許庁
A scanning optical system to which this multibeam optical system is applied is constituted by arraying a light source 1, a beam expander 2, the diffraction branching element 3, a converging mirror 4, a correction optical system 5, a multichannel modulator 6, a collimating lens 7, a polygon mirror 8, an fθ lens 9 and an exposure object surface 10. マルチビーム光学系が適用された走査光学系は、光源1、ビームエクスパンダー2、回折分岐素子3、収束ミラー4、補正光学系5、マルチチャンネル変調器6、コリメートレンズ7、ポリゴンミラー8、fθレンズ9、露光対象面10が配列して構成されている。 - 特許庁
The backlight unit and the display device using the same are structured of an optical member, a reflector arranged in separation from the optical member and having an inclined surface at a part of it, a fixed section connected with one side of the reflector and fixing the reflector, and a light source arranged between the optical member and the reflector. 光学部材と、光学部材から離隔して配置され、一部に傾斜面を有するリフレクタと、リフレクタの一方の側に連結され、リフレクタを固定する固定部と、光学部材とリフレクタとの間に配置される光源とを含んでバックライトユニット及びそれを用いたディスプレイ装置を構成する。 - 特許庁
A heat treatment process is introduced for making the surface of a silicon wafer coarse before forming a titanium film 12' for silicide, a crystal core is increased by making coarse the outermost layers of a gate electrode 17 and a source/drain region 15, and the phase transition of the formed titanium film 12' is made easy to occur. シリサイド用チタン膜12’を形成する前に、シリコン基板の表面を粗面化させる熱処理工程を導入し、ゲート電極17及びソース/ドレイン領域15の表層を粗面化することによって結晶核を増加させ、形成したチタン膜12’の相転移を起こしやすくする。 - 特許庁
To preclude unnecessary electromagnetic radiation from being leaked to an outside only by a metal shield plate, without conducting surface treatment such as plating on an inside of a resign-made encapsulating case, and to make heat radiation cooled even when an electric power source is stored inside sealed structure. 樹脂製の外装ケースの内側にメッキ等の表面処理を施さずに、金属製シールド板だけで不要電磁輻射を外部に漏洩させないようにするとともに電源部を密閉構造内に収納しても熱輻射を冷却できるようにしたPOS端末装置を提供する。 - 特許庁
A cell 160 includes a substrate 104, a drain electrode 180, a source electrode 182, and a gate electrode 184 that are formed on the substrate 104, and the insulating layer 142 which is formed on the substrate 104 and the electrode 180, and has the opening 220 which exposes the surface of the drain electrode 180. セル160は、基板104と、基板104上に形成されるドレイン電極180、ソース電極182、及びゲート電極184と、基板104及び各電極上に形成され、ドレイン電極180の表面を露出する開口部220が形成された絶縁層142とを含む。 - 特許庁
In a facing surface 59 in the light source module 35, a sub-wavelength grating 57 which reduces reflection of light is formed, wherein the formation density of the subwavelength trellis 57 changes according to the location so that the emission intensity distribution in the inversion image projected ahead changes. 光源モジュール35における対向面59には、光の反射を低減させるサブ波長格子57が形成されており、このサブ波長格子57の形成密度が、前方に投影される反転像中の発光強度分布が変化するように場所により異なっている。 - 特許庁
After forming a side wall insulation film in the common contact section 11A and second gate electrode 11B, a titanium film is formed over the entire surface, and then is heat-treated to form a titanim silicide film on the common contact section 11A, on the second gate electrode 9, and on the source and drain formation region. そして、前記共通コンタクト部11Aと第2のゲート電極11Bに側壁絶縁膜を形成した後、全面にチタン膜を形成し熱処理することで、共通コンタクト部11A上と第2のゲート電極9上及びソース・ドレイン形成領域上にチタンシリサイド膜を形成する。 - 特許庁
In the optical scanner, a laser beam radiated from a light source is deflected to perform scanning by the polygon mirror, and condensed toward a surface to be scanned by a scanning image-formation optical system and further a laser beam transmission member is provided in the optical path of the scanning image-formation optical system. 本発明の光走査装置は、光源から放射されたレーザビームをポリゴンミラーによって偏向走査し、走査結像光学系により被走査面に向かって集光し、更に走査結像光学系の光路間にレーザビーム透過部材を設けることが特徴である。 - 特許庁
To provide a circuit board with a heat sink in which a conductor layer for a ground or a power source coating on the lower surface of an insulating base is electrically and mechanically rigidly connected to the heat sink made of metal, and a semiconductor element to be placed can be normally operated for a long period. 絶縁基板の下面に被着させた接地または電源用導体層と金属製の放熱板とが電気的・機械的に強固に接合され、搭載する半導体素子を長期間にわたり正常に作動させることが可能な放熱板付き配線基板を提供すること。 - 特許庁
A region just under a charge holding part, of the bottom surface of both sides of the projection of a semiconductor substrate having a projection step in the cross-section in the direction perpendicular to the gate electrode is formed as a part of the diffusion layer region completely working as the source/drain on the active region. ゲート電極に垂直な方向の断面において、凸部の段差を有する半導体基板の凸部両側底面であって電荷保持部の直下である領域が、活性領域上では、全てソース/ドレインである拡散層領域の一部である構造にした。 - 特許庁
A layer for ohmic contact layer formation composed of n-type amorphous silicon between a source electrode 17 and the drain electrode 18 is removed by performing just etching by dry etching, and the ohmic contact layers 15 and 16 are formed on both sides of the upper surface of the semiconductor thin film 14 for the device composed of true amorphous silicon. ソース電極17とドレイン電極18との間のn型アモルファスシリコンからなるオーミックコンタクト層形成用層をドライエッチングによりジャストエッチングして除去し、真性アモルファスシリコンからなるデバイス用半導体薄膜14の上面の両側にオーミックコンタクト層15、16を形成する。 - 特許庁
To provide a light diffusion film which can efficiently remove luminance irregularity and has both of high uniformity ratio and high luminance characteristics, and to provide a surface light source which unites both characteristics of high luminance and high uniformity ratio and can be used as a novel direct type backlight. 本発明は、輝度ムラを効率良く解消し、画面上の均斉度と高輝度特性を両立することができる光拡散フィルムと、それを用いた高輝度かつ高均斉度を兼ね備えた新規な直下型バックライトとなり得る面光源を提供せんとするものである。 - 特許庁
While disposing a first shutter 10A so that the first region of the principal surface of a substrate 200 contained in a vacuum vessel 50 is exposed to a vapor deposition source 60 and the second region is shielded, a first thin film is deposited on the first region by first deposition conditions. 真空容器50内に収められた基板200の主面の第1の領域を蒸着源60へ露出しかつ第2の領域を遮蔽するように第1のシャッター10Aを配置しながら、第1の成膜条件によって第1の領域の上に第1の薄膜が成膜される。 - 特許庁
Thus, the aberration is reduced in the diffraction surface provided as the first means in the optical system in the case of the wavelength fluctuation, and the aberration is reduced in a wide short wavelength range by the second means for adjusting the distance from the light source in the optical axis direction of the coupling optical system in the case of the wavelength variance. よって、波長変動は、光学系に第1手段として設けた回折面で、波長バラツキは、カップリング光学系の光軸方向で光源との距離を調整する第2手段により、短波長の広い範囲において、収差を小さくすることができる。 - 特許庁
In a method for irradiating the mask pattern of a photomask with light from an exposure light source and projection-aligning the image of the mask pattern on the surface to be exposed of a substrate to be treated by a projection optical system, the photomask is housed in a casing and scanned to be projection-aligned together with this housing. 露光光源からの光でフォトマスクのマスクパターンを照射して、マスクパターンの像を、投影光学系により被処理基板の被露光面に投影露光する方法において、前記フォトマスクを筐体に収容し、この筐体ごと走査して投影露光を行う。 - 特許庁
The light guide matter 12 has light outgoing mechanism of fine uneven structure outgoing incident light from the linear light source through light outgoing surface 12-3 and a light focusing means acting upon the light so that the light passed through the light guide matter 12 and the prism sheet 20 is outgone in focusing condition. 導光体12は線状光源からの入射光を光出射面12−3から出射させる微小凹凸構造の光出射機構を有し、導光体12及びプリズムシート20を経た光が集束状態で出射するように光に作用する光集束手段を有する。 - 特許庁
In the manufacturing method of the semiconductor device; an inter-layer insulating film 9 is formed on the entire surface on a semiconductor substrate 1, the inter-layer insulating film 9 is selectively etched thereafter, and contact holes 10 and 11 are formed for respectively partially exposing a polysilicon resistance layer 4, a source region 7 and a drain region 8. 半導体基板1上の全面に層間絶縁膜9を形成し、その後当該層間絶縁膜9を選択的にエッチングし、ポリシリコン抵抗層4,ソース領域7及びドレイン領域8をそれぞれ一部露出させるコンタクトホール10,11を形成する。 - 特許庁
Luminous flux emitted from a laser beam source 10 and reflected successively on 1st, 2nd, 3rd and 4th curved surface mirrors 21, 22, 31 and 32 is made incident on a diffraction branching element 40 as parallel beams and branched into plural beams, and made incident on the 5th curved mirror 51 of a propagation optical system 50. レーザー光源10から発し、第1、第2、第3、第4の曲面ミラー21,22,31,32により順に反射された光束は、平行光として回折分岐素子40に入射して複数本に分岐され、伝搬光学系50の第5の曲面ミラー51に入射する。 - 特許庁
The liquid crystal display device comprises a liquid crystal display panel 1, the back light 2 composed of a light source body having the mount substrate having the LED unit 7 mounted on one main surface, and exterior covering members G1 and G2 housing the liquid crystal display panel 1 and back light 2. 本発明の液晶表示パネル1と、LEDユニット7が一方主面に実装された実装基板を有する光源体とからなるバックライト2と、前記液晶表示パネル1とバックライト2とを収容するとともに外装部材G1、G2とから構成される液晶表示装置である。 - 特許庁
To provide a liquid crystal display device of good image quality while obtaining a narrow frame and having simple structure and high productivity and moreover to provide a light reflecting sheet and a surface light source device that are used as components of the liquid crystal display device for realizing a liquid crystal display device. 狭額縁化を図りながらも画像品質が良く、構造が簡素で且つ生産性の高い液晶ディスプレイ装置を提供すると共にこの液晶ディスプレイ装置を実現するためこの液晶ディスプレイ装置の構成要素として用いる光反射シート及び面光源装置を提供すること。 - 特許庁
A laser beams generated by a laser beam source 10 is branched into two beams with different polarization faces by a polarization beam splitter 21, and the two beams are modulated at respective different frequencies by acoustic optical elements 22A and 22B, to be emitted to a reflecting mirror 20 or a surface of a magnetic disk 1. レーザー光源10が発生したレーザー光は、偏光ビームスプリッタ21で偏光面が異なる2つの光に分岐され、音響光学素子22A,22Bでそれぞれ異なる周波数で変調されて、反射鏡20又は磁気ディスク1の表面へ照射される。 - 特許庁
To provide an electrophotographic device which resolves instability of a light source regardless of write with a high resolution and gives a high stability to a surface potential of a photoreceptor and maintains a high sensitivity peculiar to titanyl phthalocyanine even in using a non-halide solvent as a charge transport layer coating liquid. 高解像度で書き込みを行なっても、光源の不安定さを解消し、かつ感光体の表面電位の安定性の高くまた、電荷輸送層用塗工液に非ハロゲン系溶媒を用いた場合においても、チタニルフタロシアニン固有の高感度を維持した電子写真装置を提供する。 - 特許庁
Thus, such an operation phase as the receiving, the carrying, the exposing and the previous processing of an unexposed substrate material and that of the substrate material, whose one surface is exposed, can be deviated, so that the loss time for exposure waiting can be prevented from occurring even in the case of only one light source. このようにすれば、未露光の基板材の受取りや移送と露光及びその事前処理等の動作位相と、片面露光済みの基板材の移送や露光及びその事前処理等の動作位相とをずらせることができるので、光源が1つでも、露光待ちのロスタイムが生じるのを防止できる。 - 特許庁
The lighting device 10 includes: a semiconductor light-emitting element 11 serving as a light source; a light-guide 12 having an incident surface 12a facing the light-emitting unit 11e of the semiconductor light-emitting element 11; and a lens 13 controlling emitting light from the light-guide mainly in a parallel direction. 光源となる半導体発光素子11と;半導体発光素子の光出射部11eと対向した入射面12aを有する導光体12と;導光体からの出射光を主として平行方向に制御するレンズ体13と;を具備する照明装置10を構成する。 - 特許庁
Moreover, the apparatus can determine whether a flaw is a protruded flaw or a recessed flaw from the surface, by detecting and determining if there is a shadow of the flaw on the opposite direction to the incident light from the light source to the test object. また、被検査物表面の傷部分の周囲において、被検査物への光源からの光の入射方向と反対方向に傷部分の影が生じているか否かを検知、判定することにより、傷部分が表面から出っ張った傷なのか、引っ込んだ傷なのかを判断することができる。 - 特許庁
A power source device for a vehicle is equipped with two or more batteries 1 arranged in multiple steps up and down and driving the vehicle; a battery holder 2 arranging each battery 1 in a prescribed position; and a temperature sensor 3 thermally connected to the surface of the battery 1 and detecting temperature of the battery 1. 車両用の電源装置は、上下多段に配設されて、車両を走行させる複数の電池1と、各々の電池1を定位置に配置する電池ホルダー2と、電池1の表面に熱結合されて電池1の温度を検出する温度センサ3とを備える。 - 特許庁
On the upper surface corresponding to a just overhead part of a pat range of the separation passage 4 on the bonded plate 3, a cylindrical leas 11 for incidence of light for allowing light emitted from a light source 12 to enter and converging light to the sample part on the separation passage 4 is formed integrally with the bonded plate 3. また、前記接合板3において、前記分離流路4の一部範囲の真上に対応する上面には、光源12から発光した光を入射して前記分離流路4の試料部分に集光させる入射用シリンドリカルレンズ11が接合板3と一体に形成される。 - 特許庁
The plating apparatus has a plurality of plating tanks 414a, 414b and 414c, and the plated film is formed on a surface of a substrate sequentially in different plating tanks, while a single plating power source 416 passes an electric current between the substrate and an anode of the plating tank in which the substrate has been stored. 複数のめっき槽414a,414b,414cを備え、基板の表面に異なるめっき槽で順次めっきを行うめっき装置において、基板と該基板が入れられためっき槽のアノードとの間で単一のめっき電源416から通電してめっきを行う。 - 特許庁
A vacuum deposition device is equipped with a wafer support substrate, a lamp heater, and a first and a second evaporation source that are all installed in the same vacuum device, and three processes of forming the barrier metal layer of the Schottky barrier diode, carrying out an annealing process, and forming a surface electrode are continuously carried out in the same vacuum device. 同一真空装置内にウェハ支持基板、ランプヒーター、第1および第2の蒸発源を設置した真空蒸着装置を用い、ショットキーバリアダイオードのバリアメタル層形成、アニール処理、表面電極形成の3工程を同一真空装置内で連続して行う。 - 特許庁
In a rock bolt drive method for driving a rock bolt to the inner peripheral surface of a tunnel, a hydraulic cylinder mechanism for rock bolt driving is attached to a heavy machine in a detachable manner, and the rock bolt is driven by the rock bolt driving hydraulic cylinder mechanism by utilizing a hydraulic drive source built in the heavy machine. トンネルの内周面にロックボルトを打ち込むロックボルト打込工法において、ロックボルト打込用油圧シリンダー機構を重機に着脱可能に取り付け、重機に備えられている油圧駆動源を利用して上記ロックボルト打込用油圧シリンダー機構によってロックボルトを打ち込むようにしたもの。 - 特許庁
A substrate 8 constituting the operation part 5 for receiving input from a user is installed in the upper space inside the case 3, and a temperature sensor 9 is installed on the lower surface side of the substrate 8 and detects and measures temperature rise at the light emitting time of the light source lamp 13. また、筐体3内部の上部空間に、ユーザからの入力を受け付ける操作部5を構成する基板8を設置し、該基板8の下面側に温度センサ9を設置して、該温度センサ9が光源ランプ13の発光時の温度上昇を検知し、計測する。 - 特許庁
At this time, in the observation condition altering part 15, the light source 11 or the imaging element are cyclically moved in a sub-scanning direction steadily in order to realize definite detection sensitivity with respect to the fluctuations of the bright line 12a in a reflecting direction caused by the rotary deflection or surface shape conversion of the photosensitive drum 12. その際、観察条件変更部15は、感光体ドラム12の回転振れや表面形状変換による反射方向の輝線12aの変動に対して、一定の検出感度を実現するために、定常的に副走査方向に光源11や撮像素子を周期的に移動させる。 - 特許庁
The retroreflective sign 100 is formed of a plate-like substrate 1 and a selectively retroreflective sheet 2 which is arranged on one surface of the substrate 1 so as to form a first character or figure, and functions to reflect light falling on the same at an incident angle in a predetermined range, in a light source direction. 板状の基板1と、基板1の一の面に第1の文字又は図形を形成するように配設される、特定の範囲の入射角で入射した光を光源方向に反射する選択再帰性反射シート2とを備える再帰性反射標識100。 - 特許庁
Consequently, an optical axis of the objective lens does not change with respect to the slider even though the device is used in a long period of time under the environment of large temperature range, then the reliability of the slider is improved since the light from a light source can be converged on a recording surface of the recording medium with the specified condition. したがって対物レンズの光軸は、広い温度範囲の環境で長時間用いてもスライダに対して変化せず、光源からの光を記録媒体の記録面に一定の状態で集光することができるので、スライダの信頼性を高めることができる。 - 特許庁
Light (2) in an arbitrary path which is emitted by a light source (1) of the image projection device, light-beam scanner, etc., impinges on one point on the concave screen (3) formed of a rough surface with high reflectivity and becomes scattered light (4) with directivity to efficiently enter the eye (5) of a user. 画像投影装置や光線走査装置等の光源(1)から発される任意の経路の光(2)が反射率の高い粗面でつくられた凹面スクリーン(3)上の一点に当たり、これが指向性を持った散乱光(4)となって効率良く使用者の目(5)に入る様にしたものである。 - 特許庁
To provide a light scattering type glass substrate inspecting apparatus for detecting the number, position and size of the foreign matter or flaw present only on the upper surface of a glass substrate by the kind of the foreign matter or flaw, by arranging a moving mechanism, a drive source or a detection part under the glass substrate. 移動機構・駆動源・検出部などをガラス基板の下側に配置してガラス基板の上面のみに存在する異物または欠陥の個数、位置、大きさについて、異物または欠陥の種類別に検出する光散乱方式ガラス基板検査装置を提供する。 - 特許庁
This lighting optical device is equipped with a light conversion means (2) that converts light ejected from an optical source(1) at a maximum angle to the optical axis (AX) to light nearly parallel to the axis in order to obtain parallel flux of light having a cross-section of a desired size in the predetermined surface (7a). 所定面(7a)において所望の大きさの断面を有する平行光束を得るために、光軸(AX)に対して最大の角度で光源(1)から射出される光線を光軸に対してほぼ平行に変換する光線変換手段(2)を備えている。 - 特許庁
A total reflection prism to transmit light emitted from a light source device as it is, with a light valve 50 being irradiated with the light and reflect the light reflected by the light valve 50 on a total reflection surface 41 so as to make it incident on a projection optical system 60 can rotate around a Y-axis and a Z-axis. 光源装置から出射された光をそのまま透過させてライトバルブ50に照射させ、ライトバルブ50によって反射された光を全反射面41で反射して投射光学系60に入射させる全反射プリズムが、Y軸回り及びZ軸回りに回転可能である。 - 特許庁
In the projector provided with a sample base for placing the metal sample, a lens for projecting the light from a light source to the surface of the sample to enlarge the reflected light, and the screen for focusing the reflected light, the screen is formed in a three-layer structure of a ground glass, a transparent glass and a Fresnel lens. 金属試料を載置する試料台と、光源からの光を該金属試料の表面に投射し、その反射光を拡大するレンズと、反射光を結像するスクリーンとを備えた投影器において、前記スクリーンを、擦りガラス、透明ガラス及びフレンネルレンズの3層構造とした。 - 特許庁
Well regions 11 and well isolating regions 12 are made in parallel with each other and besides alternately, and the first active regions 17S to serve as source regions and the second active regions 17D to serve as drain regions are made alternately on the surface of the wall regions 11. 互いに平行に且つ交互にウェル領域11及びウェル分離領域12が形成され、ウェル領域11の表面には、ソース領域となる第1の活性領域17S及びドレイン領域となる第2の活性領域17Dが交互に形成されている。 - 特許庁
A hot-water floor heating device 10 is constituted of a plurality of pieces of floor mats 2A, 2B arranged on a floor surface, a heat source machine 1 supplying hot-water to the floor mats 2A, 2B, and a plurality of remote controllers 4A, 4B controlling the heating operation of respective floor mats 2A, 2B independently and respectively. 床面に配置された複数個の床マット2A、2Bと、これら床マット2A、2Bに温水を供給する熱源機1と、各床マット2A、2Bの暖房運転を各々独立に制御する複数のリモートコントローラ4A、4Bとで温水床暖房装置10を構成する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a semiconductor device, which is capable of forming a side wall without producing a dent on the surface of a substrate at the side wall of a gate electrode so as to stabilize the formation positions of diffusion layer regions, such as a source region, a drain region, etc., and to obtain a semiconductor device uniform in element characteristics. ゲート電極側壁の基板表面に掘れを発生させることなくサイドウォールを形成することが可能で、これによりソース/ドレインなどの拡散層領域の形成位置が安定化して素子特性が均一な半導体装置を得ることが可能な製造方法を提供する。 - 特許庁
A dichroic mirror 3 separates B illumination light from G illumination light and R illumination light in the illumination light composed of p- polarized light from a light source part, and the B illumination light is passed through a polarizing surface 4a of a 1st PBS4 and reflected to B-LCD7B to obtain s-polarized light. 光源部からのp偏光光からなる照明光はダイクロイックミラー3でB照明光をG照明光及びR照明光から分離させ、B照明光は第1PBS4の偏光面4aを透過させた上で、B−LCD7Bに反射させ、S偏光光とする。 - 特許庁