「surface source」を含む例文一覧(8325)
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車両用灯具１は、略円筒形状の陽極４２と、陽極４２の内径面４２ｃ側に離間配置され、電子を放出する陰極４４と、陽極４２に設けられ蛍光物質からなる蛍光体４６と、を備えた光源ユニット３０を備えている。 - 特許庁 - The trench type MOSFET 10 is formed by laminating a P type highly-doped drain section 1, a P type lightly-doped drain section 2, an N channel body section 3, and a P type source diffusion section 4 in this order and a trench gate electrode 6 is formed in a trench reaching the lightly-doped drain section 2 from a substrate surface.
本発明のトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１０は、Ｐ型の高ドープドレイン部１、Ｐ型の低ドープドレイン部２、Ｎ型のチャネルボディ部３、Ｐ型のソース拡散部４がこの順で積層され、トレンチゲート電極６が基板表面から低ドープドレイン部２に達するトレンチに形成される。 - 特許庁 - A reflection member 10, which serves as a light shield means for preventing the entering of the incident light from a light source to a substrate 100, is formed on the surface on the side of the substrate 100 of a transparent member 70 arranged facing to the substrate 100 on which a plurality of optical modulation elements 11 are formed.
複数の光変調素子１１が形成された基板１００に対向して配置される透明部材７０の基板１００側の表面に、基板１００への光源からの入射光の侵入を防ぐための遮光手段である反射部材１０を形成する。 - 特許庁 - A control part 82 rotates the mirror 81 so that an optical axis of the light beam from the light source and a light ray of all the light beams after the deflection by the mirror 81 are contained in the same surface, and a light beam irradiating an ultraviolet curable resin 62 is scanned to a direction of x.
制御部８２は、光源からの光ビームの光軸と、ミラー８１による偏向後の全ての光ビームの光線が同一面内に含まれるように、ミラー８１を回転させることにより、紫外線硬化樹脂６２に照射される光ビームをx方向に走査する。 - 特許庁 - The sound absorbing cylindrical body 2 is formed of a sound insulating material, and comprises a base part 21 arranged opposite to the sound source to a sound insulating wall in a diagonally and upwardly expanding manner, and a sound absorbing projecting part 22 mounted on an upper surface of the base part 21 and formed of a sound absorbing material.
前記吸音筒体２は、遮音材で形成され、かつ前記防音壁に対して音源とは反対方向で斜め上方に張り出して配置されるベース部２１と、そのベース部２１の上面に取り付けられ、吸音材で形成される吸音凸部２２とから構成される。 - 特許庁 - Each of the prism lines is so formed that, in a cross section perpendicular to its extension direction, the prism surface 45 arranged on the side distant from the primary light source is formed into a recessed shape in a first part 46 close to a prism top part and formed into a projecting shape in a second part 47 distant from the prism top part.
プリズム列のそれぞれは、その延在方向と直交する断面において、一次光源から遠い側に配置されているプリズム面４５が、プリズム頂部に近い第１部分４６では凹状をなし且つプリズム頂部から遠い第２部分４７では凸状をなしている。 - 特許庁 - This liquid crystal display 1 is provided with a liquid crystal cell 4 formed by interposing a liquid crystal between a pair of substrates, a front light 5 having a light source 11 and a light guide plate 12 which are arranged on the top surface side of the cell 4 an a reflection plate 6 arranged on the undersurface of the cell 4.
本発明の液晶表示装置１は、一対の基板間に液晶が挟持された液晶セル４と、液晶セル４の上面側に設けられた光源１１と導光板１２とを有するフロントライト５と、液晶セル４の下面側に設けられた反射板６とを備えている。 - 特許庁 - When laser La from a laser beam source 6 is made incident on an asymmetric optical element 20, it is reflected at an angle equal to the incident angle to the surface normal Lna of the optical element 20, made incident on a linear track part 2b through the window part 2c of an accelerator 2, and front-collides with electron e^-.
レーザ光源６からのレーザＬａが非対称光学素子２０に入射すると非対称光学素子２０の表面法線Ｌｎａに対して入射角度と等しい角度で反射して加速器２の窓部２ｃから直線軌道部２ｂ内に入射して電子ｅ^-と正面衝突する。 - 特許庁 - The exposure device 100 includes a cleaning light source CS which is provided on at least one of the optical members included in an illumination optical system 2 and an projection optical system PL and emits cleaning light CL to the reflection surface of the optical member from a plurality of directions.
照明光学系２および投影光学系ＰＬが備える光学部材の少なくとも一つに設けられ、光学部材の反射面に対して複数の方向から、洗浄光ＣＬを射出する洗浄用光源ＣＳを備える露光装置１００を提供する。 - 特許庁 - The signal corresponding to the excitation field generated on the surface of the sample 5 is detected as a change in oscillation frequency of the probe 1 or the phase change between the vibration of the probe 1 and that of the signal source 4 by means of a frequency detector/phase detector 8 and a synchronization detector 9.
周波数検出器／位相検出器８および同期検波器９により、試料５表面に発生した励起場に対応する信号を探針１の振動周波数変化として検出するか、もしくは探針１の振動と信号源４の振動との位相変化として検出する。 - 特許庁 - The semiconductor device is provided with a second capacitor which is formed by providing an upper electrode 540, on the upper side of a first electrode 520 (surface strap) electrically connecting a source diffused layer S of a MOS transistor and a storage electrode 330 of a deep trench capacitor C_DT, by means of a second insulating film 530.
ＭＯＳトランジスタのソース拡散層ＳとディープトレンチキャパシタＣ_ＤＴのストレージ電極３３０を電気的に接続する第一の電極（サーフェスストラップ）５２０上部に、第二の絶縁膜５３０を介して上部電極５４０を形成し、第二のキャパシタを備える。 - 特許庁 - Further, the monitoring means is to be installed at an opposite side of the sample to the ion source, and a scale plate with a scale of a transparent material is installed for accurately adjusting a sample position, so that it is possible to visually observe a sample surface structure and a sample position by the camera.
また、監視手段は、試料に関してイオン源とは反対側に設置するようにし、さらに、試料位置が正確に調整するためのスケール付き透明な素材のスケール板を設置して、カメラによって可視的に試料表面構造及び試料位置が目視することが可能となるようにしている。 - 特許庁 - To provide a sauna apparatus which can ease the choking condition due to hotness without impairing the sauna bath effect such as sweating in the sauna apparatus of a type using an electric heater such as a heating wire, a surface heating body or the like as a heat source, or of a type using far infrared radiation ceramics or the like.
電熱線や面状発熱体等の電気ヒーターを熱源とするサウナ装置、あるいはさらに遠赤外線放射セラミックス等を用いたサウナ装置において、発汗等のサウナ入浴効果を損なうことなく、暑さによる息苦しさを緩和することができるサウナ装置を提供する。 - 特許庁 - The semiconductor element 10 comprises a 6H-SC substrate 11 of hexagonal system, and a 3C-SiC thin film 12 of cubic system wherein a gate oxide film 13 and a gate electrode 14 are provided on the film surface of the thin film 12 and a source 15 and a drain 16 are provided on the left and right of the thin film 12.
半導体素子１０は、六方晶系の６Ｈ—ＳｉＣの基板１１と、立方晶系の３Ｃ—ＳｉＣの薄膜１２を備え、薄膜１２の膜面に、ゲート酸化膜１３とゲート電極１４とを有し、薄膜１２の左右にソース１５とドレイン１６とを有する。 - 特許庁 - At this point, excitation light is partially emitted from the fluorescent substance between the element 2 and the lead 3a, so that a white light source nearly as large in size as a light emitting element can be obtained without increasing the fluorescent substance concentration of the top surface of the element 2 to such an extent of decreasing fluorescence excitation efficiency.
ここで、発光素子２とリード３ａとの間の中の蛍光体によっても一部励起光が生じるため、発光素子２の上面の蛍光体濃度を効率が低下するほど高くしなくても、略発光素子サイズの白色光源を得ることができる。 - 特許庁 - The light unit includes a light guide plate, a light emitting module including a plurality of light emitting diodes arranged on one side of the light guide plate to emit light, and a color coordinate conversion sheet arranged on the light guide plate to convert a color coordinate distribution of a surface light source to a color coordinate distribution that falls within a target distribution range.
導光板と、前記導光板の一側に配置されて光を放出する複数の発光ダイオードを含む発光モジュールと、前記導光板の上に配置されて面光源の色座標分布を目標色座標分布に移動させる色座標変換シートとを含むライトユニット。 - 特許庁 - A fluid supply source 40 is fluidly connected to the outside suction part 36, and a fluid is purged from the surface of the outside suction part 36 during grinding of the wafer 18a, thus positively blowing off silicon grains rushing in an inside suction part 34, to the outside.
た流体供給源４０を外側吸着部３６に流体的に接続し、ウェーハ１８ａの研削中に流体を外側吸着部３６の表面からパージすることにより、内側吸着部３４内に向かおうとする珪素粒を積極的に外部に飛ばすことができる。 - 特許庁 - In the fixing roller 61, the crown 61a is formed thicker than the reverse crown 61b, so that a heating temperature of the inner periphery surface of the fixing roller 61 heated by a heating source 63 is higher at the crown 61a than at the reverse crown 61b.
定着ローラ６１においてクラウン部６１ａを逆クラウン部６１ｂよりも厚くなるように形成し、加熱源６３によって加熱される定着ローラ６１の内周面の加熱温度を、逆クラウン部６１ｂよりもクラウン部６１ａにおいて高くなるように構成した。 - 特許庁 - A monocentric arrangement of optical components providing stereoscopic display of a virtual image, electronically generated, line by line, from a linear image source (36) and projected, as a real intermediate image, near the focal surface (22) of a curved mirror (24) by means of a scanning ball lens assembly (100).
電子的に、一行一行、線形画像源（３６）から生成され、スキャン・ボール・レンズ・アセンブリ（１００）を通って、湾曲鏡（２４）の焦点表層（２２）の近傍で、実像の中間画像として投射される仮想画像の、立体表示を提供する光学部品の単心構成。 - 特許庁 - To provide a highly-versatile reflection method survey system capable of enlarging vibration energy of a vibration source, simultaneously adjusting its frequency, and switching freely a longitudinal wave to/from a transversal wave, in reflection method survey capable of surveying a buried object and a stratum structure in an underground shallow part easily from the ground surface.
地中浅部の埋設物および地層構造を地表面から容易に探査できる反射法探査において、振源の振動エネルギーを大きくしつつ、その周波数を調整可能とし、縦波と横波を自由に切り替えることも可能な汎用性の高い反射法探査システムを提供する。 - 特許庁 - A shape measuring unit 130 is installed, wherein the specimen 5 measuring surface is illuminated by an illumination part 131 constituted of multilayer circular light sources, and generated circular reflected light in each light source is detected by a lens part 132 and projected onto the light receiving part, and a contour line image detection signal 19 is output.
また被検体５測定面を多層の円状光源で構成した照明部１３１で照明し、発生した光源毎の円状反射光をレンズ部１３２で検出して受光部に投影し等高線画像検出信号１９を出力する形状測定ユニット１３０を設置する。 - 特許庁 - To provide an optical sheet having a positioning part capable of keeping a position without causing distortion or crack by absorbing deformed amount even when it is expanded or contracted due to the change of environment such as temperature or humidity, and a surface light source device equipped with the optical sheet, a screen and a display device.
温度や湿度等の環境の変化によって、膨張したり収縮したりした場合にも、変形量を吸収でき、歪んだり割れたりせずに位置を保持できる位置決め部を有した光学シート、及び、これを備えた面光源装置、スクリーン、表示装置を提供する。 - 特許庁 - A glass substrate 1 serves as both of a substrate for the touch panel and a substrate for the front light and has a function of propagating surface acoustic wave for detecting a contact position and a function of propagating light from a light source 2 to guide the light to the side of a reflection type liquid crystal display 3 together.
ガラス製の基板１は、タッチパネル用の基板とフロントライト用の基板とを兼ねており、接触位置を検出するための弾性表面波を伝播する機能と、光源２からの光を伝播して反射型の液晶ディスプレイ３側へ導出する機能とを併せて持っている。 - 特許庁 - A first isolation region 14 and a second isolation region 8 are formed inside the top surface of a P substrate 13, a source 5c, a channel 15, and a drain 5b are formed inside the first isolation region 14, and a gate 5a is arranged on the channel region 15 for formation of an NMOSFET 5.
Ｐ基板１３の上面内部に第１分離領域１４及び第２分離領域８を形成し、第１分離領域１４内にソース５ｃ、チャネル１５及びドレイン５ｂを形成してその上部にゲート５ａを配置することによりＮＭＯＳＦＥＴ５を形成する。 - 特許庁 - A surface of the lens 22 has a minimum curvature radius at a part where a boundary axis I, which links a center of the point light source 23 and an end of the illumination region 25a, passes, and has a shape in which the curvature radius increases as close to an optical axis L side from this part.
レンズ２２の表面は、点状光源２３の中心と照明領域２５ａの端とを結ぶ境界軸Ｉが通る部分の曲率半径が最小であると共に、この部分から光軸Ｌ側に向うにつれて曲率半径が大きくなる形状を有する。 - 特許庁 - A gate insulation film 22 and a gate electrode 24 are provided oppositely to the channel area 12 with the gate insulation film 22 as a boundary, on the surface of the channel area 12, the source area 14, the drain area 16, the high-concentration impurity diffused layer 18 and the high-concentration impurity diffused layer 20.
さらに、チャネル領域１２、ソース領域１４、ドレイン領域１６、高濃度不純物拡散層１８、及び高濃度不純物拡散層２０の表面上には、ゲート絶縁膜２２と、ゲート絶縁膜２２を境界として、チャネル領域１２と反対側にゲート電極２４とを有する。 - 特許庁 - A light-shielding film 2 having a mesh structure in which a light-shielding material 21 is disposed like a mesh is disposed on the main surface of an interlayer insulating film 1 corresponding to the upper portion of an n-type source region 104 and a p-type impurity region 105 which constitute a photodiode PD.
フォトダイオードＰＤを構成するＮ型ソース領域１０４およびＰ型不純物領域１０５の上部に対応する層間絶縁膜１の主面上には、遮光体２１が網目状に配設されて網目状構造を有する遮光膜２が配設されている。 - 特許庁 - The device includes a capacitive sensor 15 for measuring a capacitance of the measuring object (a resist film 12 provided on a semiconductor wafer 10), and a length measuring sensor 20 (a measuring light source 21, a light receiving part 22) for measuring a distance between the bottom surface of the measuring object and the capacitive sensor.
被測定物（半導体ウェハ１０上に設けたレジスト膜１２）の静電容量を測定する静電容量センサ１５と、前記被測定物の底面と前記静電容量センサとの間の距離を測定する測長センサ２０（測定光源２１，受光部２２）と、を備える。 - 特許庁 - The liquid crystal display device 100 is equipped with: a liquid crystal display panel 101 comprising a display region 101a and a non-display region 101b disposed outside the display region 101a; and a surface light source 110 disposed in the back side of the liquid crystal display panel 101.
液晶表示装置１００は、表示領域１０１ａと、表示領域１０１ａの外側に設けられた非表示領域１０１ｂとが構成された液晶表示パネル１０１と、液晶表示パネル１０１の背面側に設けられた面光源１１０とを備える。 - 特許庁 - The back light device has the optical waveguide 13 which emits light made incident from the side from the surface and a reflector 12A which is arranged along the side of the optical waveguide 13, reflects light from a light source 11 stored inside to guide the light from an aperture to the side of the optical waveguide 13.
バックライト装置は、側面から入射した光を表面から放出する導光板１３と、導光板１３の側面に沿って配置され、内部に収容した光源１１からの光を反射して開口部から導光板１３の側面に導くリフレクタ１２Ａとを有する。 - 特許庁 - To suppress blurring of a moving image displayed by a liquid crystal display and to increase the luminance of the screen of the display in which a light source device with a discharge tube disposed opposite to the principal surface of a liquid crystal display panel and switched on by an AC electric field is intermittently driven (burst-driven).
液晶表示パネルの主面に対向して設けられ且つ交流電界により点灯される放電管を有する光源装置を間欠的に駆動（バースト駆動）させる液晶表示装置にて、これに表示される動画像のボヤケを抑え且つ画面の輝度を上げる。 - 特許庁 - A laser printer is provided with: the semiconductor laser array optical source 1 constructed of many semiconductor laser elements (light emitting elements) 1a arrayed in a straight line; and the imaging lens 3 to provide images not only on the photoreceptor surface 2 but also in a straight line, with the optical beams from the light emitting elements 1a respectively.
このレーザプリンタ装置は多数の半導体レーザ素子（発光素子）１ａを直線状に配列してなる半導体レーザアレイ光源１と、これら各発光素子１ａからの光束を各々感光面２上にしかも直線的に結像せしめる結像レンズ３とを備えている。 - 特許庁 - The method for manufacturing a silicon carbide single crystal is carried out by a sublimation recyrstallization method using a seed crystal (a silicon carbide single crystal) 1, wherein a silicon carbide powder having a specific surface area of 0.001 m^2/g to 0.05 m^2/g during packing is used as a source material 2.
種結晶（炭化珪素単結晶）１を用いた昇華再結晶法により炭化珪素単結晶を製造する方法において、充填時の比表面積が０．００１ｍ^２／ｇ以上０．０５ｍ^２／ｇ以下である炭化珪素粉末を原料２として用いる。 - 特許庁 - To provide a low-resistance and inexpensive thermoelectric module which has the flexibility capable of being mounted on the outer surface of a drain pipe through a low contacting thermal resistance and are adapted to a power generation using a warm drain water as the heat source thereof, to provide a manufacturing method thereof, and to provide a power generating system having the plurality of modules.
排水パイプ外面に低接触熱抵抗で装着できるフレキシブル性を有する、温排水を熱源とする発電に適した、低抵抗で低コストの熱電変換モジュールならびにその製造方法、および複数のモジュールを具備した発電システムを提供する。 - 特許庁 - A laser beams is emitted from a laser beams source 21, reflected by a polygon mirror 26 and transmitted through fθ lenses 27a and 27b is reflected by a separation polygon mirror 28 having reflection surface 28a and 28b, reflected by first to fourth guiding mirrors 31 to 34, reflected by first to fourth cylindrical mirrors 36 to 39 and made incident on the image forming position 20 of an image carrier.
レーザー光源21から発せられ、ポリゴンミラー26で反射されて、ｆθレンズ27a、27bを透過したレーザービームは反射面28a、28bを有する分離多面鏡28で反射して、第１〜第４案内鏡31〜34で反射し、第１〜第４シリンドリカルミラー36〜39で反射して像担持体の像形成位置20に入射する。 - 特許庁 - An angle α relative to a horizontal surface 31 of a slope 29a on the point-like light source 7 side, between the slopes 29a and 29b forming the V-shape groove 29, is set to be 30°-40° where more light reflected on the slope 29a travels in the plate-like lightguide direction (lower side in figure).
Ｖ形状溝部２９を形成する斜面２９ａ、２９ｂのうち点状光源７側の斜面２９ａの水平面３１に対する角度αを、斜面２９ａで反射した光が板状導光体方向（図の下側）により多く進行する３０°〜４０°の範囲に設定する。 - 特許庁 - To provide a surface light source device capable of emitting light of multiple colors with a simple configuration and a backlight for a liquid crystal display or the like requiring a background color switch function.
従来多用されている放電灯を光源とした直下型の面光源装置を得ようとした場合、その光が均一に拡散するようにしなければならないため、光源と光出射面との距離を大きくとる必要があり、大型化し、薄型の面光源装置化することは難しい。 - 特許庁 - Then, a source-drain electrode 5 is provided to the pair of p^+-type contact layers 4 in ohmic contact, and a gate electrode 6 is provided on the exposure surface of an n^+-type contact layer 2, provided on the lower side of the channel layer 3 in ohmic contact, thus forming the junction FET.
そして、一対のｐ^+型コンタクト層４上にオーミックコンタクトするようにソース・ドレイン電極５が設けられ、チャネル層３の下側に設けられるｎ^+型コンタクト層２の露出面上にオーミックコンタクトするようにゲート電極６が設けられることにより、接合型ＦＥＴが形成されている。 - 特許庁 - A plurality of types of mask patterns for determining the beam shape of a laser beam are formed on a plate by etching, the plate is moved along a surface orthogonally crossing the light axis of the laser beam by a moving mechanism, and one of the mask patterns is positioned on the light axis of the laser beam from a laser light source.
レーザー光のビーム形状を決定するための複数種類のマスクパターンをプレートにエッチングにより形成し、このプレートをレーザー光の光軸に直交する面に沿って移動機構により移動させて、いずれかのマスクパターンをレーザー光源部からのレーザー光の光軸上に位置させる。 - 特許庁 - A first groove 31 positioned in the vicinity of the light source 4 within multiple grooves formed on the back face of a light guide body 3 is formed into a rounded groove shape with its wall surface 31a smoothly continued, and its groove depth is set smaller than those of cross-sectionally triangular second grooves 30.
導光体３の背面に設ける多数の条溝のうち、光源４の近傍に位置する第１の条溝３１を、その壁面３１ａが滑らかに連続する丸みを帯びた溝形状とし、かつ溝の深さをそれ以外の断面三角形状の第２の条溝３０よりも浅くした。 - 特許庁 - To provide a surface light source device which uses as an optical reflecting plate a synthetic resin foam body that is superior in processability and shape retentivity, and can have high reflectance with a thin shape, by giving diffusion effect to this reflecting plate, as well as improving the unevenness in luminance.
加工性や形状保持性に優れた合成樹脂発泡体を光反射板として用い、かつこの反射板に拡散効果を持たせることにより、薄型で高い反射率を有するだけでなく、輝度むらを改善することができる面光源装置を提供する。 - 特許庁 - The transistor QR as a pair n+-type semiconductor areas (a source area and a drain area) 13 and 13 formed on the main surface of a substrate 1, and first gate electrodes 5a formed on the paths of the areas 13 and 13 through first gate insulating films 4.
読み出しＭＩＳトランジスタＱ_Rは、基板１の主面に形成された一対のｎ^+型半導体領域（ソース領域、ドレイン領域）１３、１３と、ｎ^+型半導体領域１３、１３のパス上に第１ゲート絶縁膜４を介して形成された第１ゲート電極５ａとを有している。 - 特許庁 - A projection lens according to the present invention includes, in order from a projection surface side towards a light source side, a first lens group having a negative refractive power, a second lens group having a positive refractive power, and a third lens group having a positive refractive power.
本発明のプロジェクションレンズは、投影面側から光源側に向かって順番に配列される負の屈折力を有する第一レンズ群、正の屈折力を有する第二レンズ群及び正の屈折力を有する第三レンズ群を備え、以下の条件式を満足する。 - 特許庁 - A substrate heater 108 includes a vessel 200 having an upper member 204 including an upper surface for supporting a substrate 106 at the upper part, liquid 210 placed in the vessel and filling the vessel partially, and a heat source 208 for boiling the liquid 210 by imparting heat sufficiently.
基板ヒータ１０８は、基板１０６を上部で支持する上面を含む上部部材２０４を有する容器２００と、該容器内に配置され、かつ該容器を部分的に満たしている液体２１０と、該液体に十分な熱を与えて該液体を沸騰させる熱源２０８とを含む。 - 特許庁 - A composite reflection mirror provided with a first reflection mirror 1a having an ellipsoid and a second reflection mirror 1b which is deposed in a light-going-direction side of the first reflection mirror and has a spherical surface is used as a reflection mirror for use in a light source 2 which radiates white light.
白色光を放射する光源２に用いられる反射鏡として、楕円面を有する第１の反射鏡１ａと、該第１の反射鏡の光進行方向側に配置された球面を有する第２の反射鏡１ｂとを備えた複合反射鏡とした。 - 特許庁 - A magnetron sputtering source has a means for generating a coating plasma, and at least one magnet arrangement 7 for generating a magnetic field for the purpose of influencing the coating plasma such that at least one plasma channel 8 is generated above one section of the surface 4' of the target 4.
マグネトロンスパッタリング源はコーティング用プラズマを発生させるための手段と、磁場を発生させることでコーティング用プラズマに影響を与え、少なくとも１つのプラズマチャネル８をターゲット４の一部４´上方で発生させるための少なくとも１つの磁石配列７を備える。 - 特許庁 - By forming pad layers and raising the height of an intrinsic base layer relative to the source and drain of preexisting CMOS devices and by forming an extrinsic base through selective epitaxy, the effect of surface variations is minimized during a lithographic patterning of the extrinsic base.
パッド層を形成して、先在するＣＭＯＳデバイスのソースおよびドレインに対して真性ベース層の高さを隆起させることにより、かつ選択的エピタキシを介して外因性ベースを形成することにより、表面の凹凸の影響は、外因性ベースのリソグラフィによるパターン形成時に最小になる。 - 特許庁 - The first radiation source 244 and the first detector 242 are arranged adjacently to a first wall 508 between the two opposite walls 506, 508, and the surface 194 for reflecting the radiation is arranged adjacently to a second wall 506 between the two opposite walls 506, 508.
前記第１の放射源２４４と第１の検出器２４２とは、前記２つの対向する壁５０６，５０８の第１の壁５０８に隣接して配置され、前記放射を反射する表面１９４は、前記２つの対向する壁５０６，５０８の第２の壁５０６に隣接して配置される。 - 特許庁 - The apparatus has a frame 3 for fixing relative positions of a light source 1 and a CCD type solid-state image sensing device (CCD) 2, scans a surface to be inspected W_S of the substrate W while fixing the relative positions by using the frame 3, and inspects the existence of the foreign matter on the substrate W.
光源１とＣＣＤ型固体撮像素子（ＣＣＤ）２との相対的な位置を固定するフレーム３を備え、そのフレーム３によって上述した相対的な位置を固定しながら基板Ｗの検査面Ｗ_S上を走査して、基板Ｗ上の異物の有無を検査する。 - 特許庁 - A detecting means 30 is provided, so constituted as to be moved up and down relative to a frame 10 by an elevating means 20, and linked with a level meter 40 for maintaining a constant distance between the water surface and the light source even in the presence of large-scale water level fluctuations.
検出手段３０は水面との距離を一定にするため架台１０に対して昇降手段２０により上下に移動出来る構造とすると共に水位計４０と連動させることにより水位変動が大きくても水面と光源との距離を一定に保つことができる。 - 特許庁
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