To provide a resist underlayer film material for a multilayer resist film used in lithography for forming a resist underlayer film which has very excellent dry etching resistance, highly prevents twisting during substrate etching, and avoids a poisoning problem in forming an upper layer pattern using a chemically amplified resist, a method for forming the resist underlayer film, a patterning method, and a fullerene derivative. リソグラフィーで用いられる多層レジスト膜のレジスト下層膜材料であって、ドライエッチング耐性に非常に優れ、基板エッチング中のよれの発生を高度に抑制できると共に、化学増幅型レジストを用いた上層パターン形成におけるポイゾニング問題を回避できるレジスト下層膜を形成するためのレジスト下層膜材料、レジスト下層膜形成方法、パターン形成方法、及びフラーレン誘導体を提供することを目的とする。 - 特許庁
A magneto-optical recording medium 10 comprises a substrate 1, an underlayer 2, a reproduction layer 3, an intermediate layer 4, a recording layer 5, an auxiliary recording layer 6, a protective layer 7, and the like. 光磁気記録媒体10は、基板1、下地層2、再生層3、中間層4、記録層5、記録補助層6、保護層7等を含む。 - 特許庁
As a forming method of the underlayer 2, the initial layer part is film-deposited by a lower gas pressure and the surface layer is film-deposited by a gas pressure higher than that of the initial layer part. 下地層2の形成方法としては、初期層部分は低ガス圧で成膜し、表面層は初期層部分よりも高ガス圧で成膜する。 - 特許庁
The steel sheets, after being coated with an underlayer adhesive, are coated with a finishing adhesive. 鋼板に下塗り接着剤を塗布した後上塗り接着剤を塗布し、未加硫ゴムを当接して加熱加圧することにより加硫同時接着して免震ゴムを製造する。 - 特許庁
The growth underlayer is so formed as its surface is flat in terms of atomic level while the X-ray locking curve half-value width is ≤200 seconds in a (002) plane. 成長下地層は、(002)面におけるX線ロッキングカーブ半値幅が200秒以下となるように、かつ、その表面を原子レベルで平坦に形成する。 - 特許庁
Thereby, irregularities can be formed on the surface (on the amorphous magnetic layer 4 side) of the underlayer 3 and a pinning effect is given to the amorphous magnetic layer 4. これにより、下地層3の表面(非晶質磁性層4側の面)に凸凹を形成することができ、非晶質磁性層4にピニング効果がもたらされる。 - 特許庁
To provide an underlayer member capable of being appropriately and freely fixed temporarily in a construction site and making the member irrotational ( not corotation) by fixing screws screwed from a functional member after assembling. 施工現場で適宜自由に仮止めでき、組み付け後に機能部材から螺着する固定ネジによっても回転(供回り)しない下地部材を提供する。 - 特許庁
PARTICLE ARRANGEMENT STRUCTURE AND ITS PRODUCTION METHOD, OPTICAL MEDIUM AND ITS PRODUCTION METHOD, AND UNDERLAYER PARTICLE ARRANGEMENT STRUCTURE AND ITS PRODUCTION METHOD 微粒子配列構造体及びその製造方法、光学媒体及びその製造方法、並びに下地微粒子配列構造体及びその製造方法 - 特許庁
An LED chip is mounted on the surface of a metal layer without accompanying an insulating adhesive underlayer, so that heat from the LED chip can be scattered efficiently. LEDチップは、絶縁接着下層無しに金属層の表面の上に実装されるので、LEDチップからの熱を効率的に放散することができる。 - 特許庁
To provide an inexpensive magnetic recording medium of high density wherein an underlayer and a magnetic layer are formed at room temperature and which has stably high performance and high reliability. 室温で下地層、磁性層を形成した、安定して高い性能と高い信頼性を有する、安価な高密度磁気記録媒体を提供すること。 - 特許庁
To form fine patterns through a smaller number of steps and more simply in wafer treatment of performing a plurality of resist-pattern forming processes on a predetermined underlayer film. 所定の下地膜上に複数回のレジストパターンの形成処理を行うウェハ処理において、より少ない工程でより簡単に微細なパターンを形成する。 - 特許庁
To provide a new hard mask composition for a resist underlayer film enabling antireflective properties to be effectively utilized thereby ensuring a lithographic process margin. 反射防止特性を効果的に用いてリソグラフィー工程のマージンを確保することができる新規なレジスト下層膜用ハードマスク組成物を提供する。 - 特許庁
The first layer or underlayer of the coating is prepared by mixing the polymer material and a bioactive agent with a solvent and forming a homogeneous solution. コーティングの第一層または下層は、ポリマー材料と生体活性剤を溶媒と混合し、それによって、均質溶液を形成することによって調製される。 - 特許庁
In this case, the noise data processing section 106 can determine the amount of noise addition in consideration of the density of the underlayer print image of the overcoat layer and the spatial frequency. この際、ノイズデータ処理部106は、オーバーコート層の下層の印刷画像の濃度、空間周波数を考慮してノイズ加算量を決定することができる。 - 特許庁
The underlayer sheet 5 should have a paste layer 10 of a remoistening type or a redispersible type on a front surface thereof, and an adhesive paste layer 11 on a rear surface thereof. 下張りシート5は、表面側に再湿型又は再乳化型の糊層10を有し、裏面側に貼着用の糊層11を有するものを使用する。 - 特許庁
To improve uniformity of film thickness when a polymerizable resin composition is applied, and to provide a transfer material in which roughening of an underlayer is prevented. 重合性樹脂組成物を塗布した際の膜厚均一性を良好にし、下地層の荒れが防止された転写材料の提供を可能にする。 - 特許庁
The exterior wall material 3 is arranged on the underlayer material 1 in a state that a side end face 13 of the exterior wall material 3 on the side of the corner member 2 is in contact with the stopper element 5. 外壁材3のコーナー部材2側の側端面13がストッパ片5に当接した状態で、この外壁材3が下地材1に設置される。 - 特許庁
The photosensitive element for a diffuse reflecting underlayer formation is made by laminating the resin composition on a rugged surface of a temporal supporter having an irregular shape. 前記樹脂組成物が凹凸形状を有する仮支持体の凹凸形状面上に積層されている拡散反射下地層形成用感光性エレメント。 - 特許庁
To provide an underlay tape in a novel configuration capable of cutting a sheetlike object such as a wall paper with a utility knife or the like without damaging an underlayer. 壁紙などのシート状物をカッターナイフなどで切断する際に、下地を傷つけることなく、切断できる新規な構成の下敷きテープを提供する。 - 特許庁
A density correction portion 45 corrects density of the color image input data based on the quantities of underlayer removal finally determined through a series of foregoing processes. 濃度補正部45は、上記一連の処理により最終的に決定された下地除去量に基づいてカラー画像入力データの濃度補正を行う。 - 特許庁
A underlayer 12 constituting the semiconductor light-detector 20 is made of a nitride semiconductor including Al with a dislocation density 10^11/cm^2 or below. 半導体発光素子20を構成する下地層12はAlを含み、転位密度が10^11/cm^2以下の窒化物半導体から構成する。 - 特許庁
The composition for forming the resist underlayer film contains a polymer (A) having an aromatic ring, a compound (B) expressed by general formula (1) and an organic solvent (C). (A)芳香族環を有する重合体と、(B)下記一般式(1)で表される化合物と、(C)有機溶媒と、を含有するレジスト下層膜形成用組成物。 - 特許庁
The underlayer 9 consists of material where etching speed in ion beam etching is higher than that of a magnetic alloy consisting of the magnetic pole layer 10. 下地層9は、イオンビームエッチングにおけるエッチング速度が磁極層10を構成する磁性合金よりも大きい材料によって構成されている。 - 特許庁
The composition for a resist underlayer film contains (A) a siloxane compound having a mass average molecular weight of 3,000 or smaller and (B) a siloxane polymer. レジスト下層膜用組成物中に、質量平均分子量が3000以下の(A)シロキサン系化合物と、(B)シロキサン系重合体と、を含有した。 - 特許庁
The elastic paving material contains a rubber chip and/or rubber powder, aggregate and a urethane binder, and the elastic paving material is applied on the underlayer without making use of the primer. ゴムチップおよび/またはゴム粉末と、骨材と、ウレタンバインダーとを含有し、下地上に、プライマーを介することなく施工される弾性舗装材料である。 - 特許庁
The annealing is conducted, after formation of a first wiring 25 as the underlayer wiring, to intentionally generate a copper hillock 26 and it is then removed by the polishing of the CMP method. 下地配線である第1配線25の形成後にアニールを行い、銅ヒロック26を意図的に発生させ、CMP法により研磨除去する。 - 特許庁
This perpendicular magnetic recording medium has at least a base plate, an underlayer which is formed on the base plate and includes an hcp structure, a thin film diffusion preventive layer which is formed on the underlayer and includes an hcp structure, and a magnetic layer which is formed in contact with the diffusion preventive layer and includes an hcp structure. 少なくとも、基板と、この基板上に形成されたhcp構造を含む下層と、この下層上に形成されたhcp構造を含む薄膜状の拡散防止層と、この拡散防止層に接して形成されたhcp構造を含む磁性層と、を備えて構成される垂直磁気記録媒体とした。 - 特許庁
To provide a resist underlayer film material of a multilayer resist film used in lithography, for forming a resist underlayer film capable of reducing reflectance, having high etching resistance, high heat resistance and solvent resistance, and free of the occurrence of twist particularly in the etching of a substrate; and to provide a pattern forming method using the same. リソグラフィーで用いられる多層レジスト膜のレジスト下層膜材料であって、反射率を低減でき、エッチング耐性が高く、高い耐熱性、耐溶媒性を有し、特に基板のエッチング中によれの発生がないレジスト下層膜を形成するためのレジスト下層膜材料及びこれを用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁
The annular electrode 11 includes an underlayer 12, formed on the main surface 1a of the piezoelectric substrate 1 by a metal material with Al as the main constituent; an adhesive electrode layer 13, formed at a position of covering the underlayer 12; and a barrier metal electrode layer 14 formed on the adhesive electrode layer 13. 環状電極11は、圧電基板1の主面1aに、Alを主成分とする金属材料で形成されている下地層12と、下地層12を覆う位置に形成されている密着電極層13と、密着電極層13上に形成されているバリアメタル電極層14とを含んでいる。 - 特許庁
In the receiving body for thermal ink-transfer recording successively providing an underlayer and a receiving layer on a substrate consisting of a plastic film, the underlayer comprises a thermosetting resin and a pigment, and the receiving layer comprises a polyethylene-imine derivative, a salt of an ethylene-methacrylic acid copolymer and a crosslinking agent. プラスチックフィルムからなる支持体上に、アンダー層及び受容層を順次設けた熱転写記録用受容体において、アンダー層が熱硬化型樹脂及び顔料を含有し、受容層がポリエチレンイミン誘導体、エチレン−メタクリル酸共重合体の塩及び架橋剤を含有することを特徴とする熱転写記録用受容体。 - 特許庁
To provide a low odor type FRP water-proofing structure which suppresses the vaporization of an odor component such as an organic solvent from a water-proofing material generated during construction, prevents the penetration and adsorption of the odor component from an FRP water-proofing material into an underlayer material at the same time, and is excellent in followability to the movement of the underlayer material. 施工時に発生する防水材からの有機溶剤等の臭気成分の揮散を抑制し、同時に下地材内へのFRP防水材からの臭気成分の浸透、吸着をも防止し、かつ下地材の動きに対する追従性にも優れた低臭型FRP防水構造を提供する。 - 特許庁
To provide a perpendicular medium in which an isolation structure of an underlayer is formed using a simple method as in a conventional manufacturing process for a medium of continuous films, while suppressing dispersion of alignment and reducing magnetic cluster size in a magnetic recording layer, and exhibiting high recording density owing to thin film thickness of the underlayer. 従来の連続膜媒体の作製プロセスに近い簡便な方法を用い、磁気記録層において配向分散を抑制しつつ磁気クラスターサイズを減少させることができる下地層の分離構造を形成し、かつ下地層の薄膜化による記録性能の高性能化が可能な垂直媒体の提供。 - 特許庁
The extraction electrodes (31B, 32B) include an underlayer formed in the piezoelectric frame and a first metal layer formed from a material differing from that of the underlayer on an upper surface of the underground layer, and the first metal layer is formed from the same material as the sealing material (70) from a position connected to the through hole wiring to a prescribed position. そして引出電極(31B、32B)は、圧電フレームに形成される下地層と該下地層とは異なる材料で下地層の上面に形成される第1金属層とを含み、第1金属層はスルーホール配線に接続される位置から所定の位置まで封止材(70)と同じ材料で形成されている。 - 特許庁
This method comprises a step for performing a surface reforming process to expose the underlayer film surface including the basic substance to the plasma of gas including carbon gas, a step for coating the chemically amplified resist film of the underlayer film, and a step for patterning the chemically amplified resist through the exposing and development processes thereof. 塩基性物質を含む下地膜表面をカーボンガスを含むガスによるプラズマを晒す表面改質処理を行う工程と下地膜上に化学増幅型レジスト膜を塗布する工程と化学増幅型レジストに露光および現像処理を行って化学増幅型レジストをパターニングする工程とを備えるようにしたものである。 - 特許庁
To provide a defect correction method by a laser beam in which a compound substrate disposed with a resin section of a correction object and an underlayer composed of ITO which is the underlayer thereof, successively from the surface side of a substrate on the substrate can be readily and surely subjected to correction of a projection defect of the resin section. 基材上に、その表面側から順に、修正対象の樹脂部とその下地であるITOからなる下地層を配設した複合基材において、下地層を損傷することなく、簡単に、且つ、確実に、樹脂部の突起欠陥の修正を行える、レーザ光による欠陥修正方法を提供する。 - 特許庁
To provide a perpendicular medium in which an isolation structure of an underlayer is formed wherein a magnetic cluster size can be reduced while orientation dispersion is suppressed in a magnetic recording layer and high recording performance by the thin film thickness of the underlayer is made possible using a simple method as in a conventional manufacturing process for a medium of continuous films. 従来の連続膜媒体の作製プロセスに近い簡便な方法を用い、磁気記録層において配向分散を抑制しつつ磁気クラスターサイズを減少させることができる下地層の分離構造を形成し、かつ下地層の薄膜化による記録性能の高性能化が可能な垂直媒体の提供。 - 特許庁
To provide a resist underlayer film material having an optimum n value and k value in exposure to short-wavelength light, excellent also in etching resistance under substrate etching conditions, and having promise as a resist underlayer film for a multilayer resist process such as a silicon-containing two-layer resist process or a three-layer resist process using a silicon-containing intermediate layer film. 短波長の露光において、最適なn値、k値を有し、かつ基板エッチング条件でのエッチング耐性にも優れ、例えば、珪素含有2層レジストプロセス、あるいは珪素含有中間層膜による3層レジストプロセスといった多層レジストプロセス用レジスト下層膜として有望なレジスト下層膜材料を提供する。 - 特許庁
The laminated film has an SiO_x film formed as an underlayer on a transparent base material film and has the transparent electrode layer having conductive oxide layers and metallic layers repeatedly laminated on the underlayer is used, and at least the image display layer and the cover film are laminated on the laminated film in this order. 透明基材フィルム上に、下地層としてSiOx膜を形成し、該下地層上に導電酸化物層と金属層が繰り返し積層された透明電極層を設けたことを特徴とする積層フィルムを用い、該積層フィルム上に少なくとも画像表示層、カバーフィルムを順に積層することを特徴とする。 - 特許庁
To provide an iron oxide powder for forming an underlayer of a coating type magnetic recording medium having a multilayered structure, having excellent dispersibility, capable of forming the underlayer having surface smoothness, high strength, low light transmittance and low specific resistance and capable of suppressing deterioration of a metal powder for magnetic recording in a magnetic layer. 分散性に優れ、表面が平滑で強度の大きい下地層を形成でき、光透過率及び比抵抗が小さく、且つ磁性層中の磁気記録用金属粉末の劣化を抑制し得る、重層構造を有する塗布型磁気記録媒体の下地層形成用酸化鉄粉末を提供すること。 - 特許庁
The soft magnetic underlayer 13 has a first soft magnetic layer 131, a second soft magnetic layer 133 and a non-magnetic layer 132 formed between the first and the second soft magnetic layers, the first and the second soft magnetic layers are anti-ferromagnetically bonded to each other and a magnetization easy axis of the soft magnetic underlayer turns to a radial direction of the substrate. 軟磁性下地層13は、第一の軟磁性層131と、第二の軟磁性層133と第一の軟磁性層と第二の軟磁性層との間に形成された非磁性層132を有し、第一の軟磁性層と第二の軟磁性層とが、互いに反強磁性的に結合し、磁化容易軸が径方向を向いている。 - 特許庁
Deformation of the perpendicular recording layer 16 due to slide and contact of a head can be prevented by making the Young's modulus of the soft magnetic underlayer 13 equal to or more than the Young' moduli of the non-magnetic intermediate layer 15 and the perpendicular recording layer 16 and making the yield stress of the soft magnetic underlayer smaller than the yield stress of the perpendicular recording layer 16. 軟磁性下地層13のヤング率を非磁性中間層15及び垂直記録層16と同等以上にし、降伏応力を垂直記録層16の降伏応力より小さくすることにより、ヘッドの摺動や接触に対して垂直記録層16が変形するのを防ぐことができる。 - 特許庁
To automatically remove an abnormal protrusion on an underlayer while a highly accurate flat surface on the underlayer composed of a Ni-P based alloy is secured and to form suitable texture trace so that magnetic orientation in a perpendicular direction is made easy without receiving adverse influence on magnetic orientation in a perpendicular magnetic recording medium. Ni−P系合金からなる下地層における高精度の平坦面を確保しつつ、下地層における異常突起を自動的に除去でき、しかも、垂直磁気記録媒体における磁気配向に悪影響を及ぼすことがなく、垂直方向の磁気配向が容易となるような適度なテクスチャ痕を形成できること。 - 特許庁
In the perpendicular magnetic recording medium 100 including at least the soft magnetic layer 14, an orientation control layer 16, an underlayer 18 and the magnetic recording layer 22 for recording a signal deposited in this order on a disk base body 1, the orientation control layer 16 is made of a Cu alloy and the underlayer 18 is made of ruthenium. ディスク基体1上に少なくとも軟磁性層14と、配向制御層16と、下地層18と、信号を記録する磁気記録層22とを、この順に成膜する垂直磁気記録媒体100において、配向制御層16は、Cu合金から成り、下地層18は、ルテニウムから成ることを特徴とする。 - 特許庁
In the second step, the cold spray device 30 jets second copper powder 42 having a particle diameter R2 greater than the particle diameter R1 of the first copper powder, and smaller than a dimension V2 from the surface of the underlayer 21 to an interface between the aluminum film 12 and the silicon layer 11, and thereby a thick film layer 22 is formed overlaid on the underlayer 21. 第2工程では、コールドスプレー装置30が、第1銅粉末の粒径R1より大きく且つ下地層21の表面からアルミ膜12とシリコン層11との境界面までの寸法V2より小さい粒径R2の第2銅粉末42を噴射することにより下地層21に重ねて厚膜層22を形成する。 - 特許庁
To perform recording with a steeper magnetic field of a head by reducing the thickness of an underlayer to obtain a favorable magnetic characteristic, and reducing the gap between a magnetic head and a soft magnetic layer. 下地層の膜厚を薄くしても良好な磁気特性が得るようにし、磁気ヘッドと軟磁性層間の距離を小さくし、より急峻なヘッド磁界で記録すること。 - 特許庁
The plated layer is formed by stacked plated films of a tensile-stress plated layer 3a and a compressive-stress plated layer 3b, to constitute an underlayer 3 or a precious metal layer 4. 引張り応力めっき層3aと、圧縮応力めっき層3bの積層めっき膜によりめっき層を形成して、下地層3あるいは貴金属めっき層4とする。 - 特許庁
An unvulcanized rubber is contacted with the coated steel sheets, heated, and pressurized to be vulcanized and bonded simultaneously to produce the quake-absorbing rubber, The underlayer adhesive does not contain a halogenated polymer and contains an epoxy resin or an epoxy group-containing polymer. 下塗り接着剤としてハロゲン化ポリマーを含まず、かつ、エポキシ樹脂あるいはエポキシ基を含有するポリマーを含む下塗り接着剤を用いる。 - 特許庁
Thereby, the magnetic recording layer 4 can be film-deposited in a stress free state and the magnetic recording medium 10 having high magnetic characteristics can be manufactured even by using a material other than Ru for the underlayer 3. これにより磁気記録層4をストレスフリーで成膜でき、下地層3にRu以外の材料を用いても特性の高い磁気記録媒体10を作製できる。 - 特許庁
The perpendicular magnetic recording medium is constituted by layering a soft magnetic underlayer 13, a non-magnetic intermediate layer 15, a perpendicular recording layer 16 and a protective layer 17 on a substrate 11. 垂直磁気記録媒体は、基板11上に軟磁性下地層13、非磁性中間層15、垂直記録層16、保護層17が積層されて構成される。 - 特許庁
To enhance an SNR characteristic and to improve recording density by making the grain refining of crystal grain sizes and crystallinity compatible with each other by providing a novel underlayer structure. 新しい下地層構造を提供することによって、結晶粒径の微細化と結晶性を両立させることでSNR特性を高め、記録密度を向上させること。 - 特許庁