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集束イオンビーム露光装置の英語
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英訳・英語 focused ion beam exposure
「集束イオンビーム露光装置」の部分一致の例文検索結果
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本発明の課題は、電子ビーム露光用マスクにおける貫通構造のパターン欠陥を修正加工する際に、あらゆる方向を取り得るパターン面を無理無く正確に垂直に加工することができる集束イオンビーム装置を提供することにある。例文帳に追加
To provide a focusing ion beam device that is capable of working precisely perpendicularly without difficulty, the pattern face capable of taking all directions in the remody process case of the defects of patterns having a penetration structure in the electron beam exposure mask. - 特許庁
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1
focused ion beam exposure
英和専門語辞典
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