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sulfur-34とは 意味・読み方・使い方
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The apparatus 30 for forming and supplying the gaseous fluorine disposed in the gas supply system 20 of the semiconductor treating system includes an electrolytic cell 34 for forming the gaseous fluorine and a cylinder 62 for storing the substitute gas selected from the group consisting of nitrogen fluoride, sulfur fluoride and chlorine fluoride.例文帳に追加
半導体処理システムのガス供給系２０に配設されたガス生成及び供給装置３０は、フッ素ガスを生成する電解槽３４と、フッ化窒素、フッ化イオウ、フッ化塩素からなる群から選択された代替ガスを貯蔵するボンベ６２とを含む。 - 特許庁
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