プロセスシミュレーターの英語

プロセスシミュレーター５１０は、所定の製造プロセス条件に基づいて半導体素子の製造工程をシミュレーションして半導体の設計を支援するものであって、製造工程のうち自己整合的に前記半導体素子の構造を形成する工程についてシミュレーションする演算手段５１２と、半導体素子の構造のうち、自己整合的に形成される部分の形成後の情報を入力する入力手段５１１とを有する。例文帳に追加

For a process simulator 510 to support the design of a semiconductor by simulating the production process of a semiconductor device based on prescribed production process conditions, this process simulator has an arithmetic means 512 for simulating the process for forming the structure of the semiconductor device self-matchingly in the production process and an input means 511 for inputting information, after the formation of a section formed self-matchingly in the structure of the semiconductor device. - 特許庁