マシーズの英語

マシーズ!例文帳に追加

Mushies! - 映画・海外ドラマ英語字幕翻訳辞書

第１のプラズマ窒化処理が終了し、処理容器１から１枚のウエハＷを搬出した後に、処理容器１内から酸素を排出させるプラズマシーズニングを行う。例文帳に追加

After first plasma nitriding treatment is completed and one wafer is carried out of the treatment container 1, plasma seasoning for discharging oxygen from the treatment container 1 is carried out. - 特許庁

プラズマシーズニングでは、ウエハＷを配置せず又はダミー基板を配置し、処理容器１内に窒素ガス／希ガスの流量比０．２以上１以下で希ガスと窒素ガスの処理ガスを導入し、第２の条件で第２の窒素プラズマを生成させ、処理容器１内の酸素を除去する。例文帳に追加

During the plasma seasoning, a dummy substrate is arranged without arranging the wafer W, and a treatment gas comprising a noble gas and a nitrogen gas is introduced into the treatment container 1 at a flow rate ratio of ≥0.2 and ≤1 of nitrogen gas/noble gas to generate second nitrogen plasma under a second condition, thereby removing the oxygen in the treatment container 1. - 特許庁